JPS5917556U - 光学顕微鏡を具えた電子線装置 - Google Patents
光学顕微鏡を具えた電子線装置Info
- Publication number
- JPS5917556U JPS5917556U JP8737883U JP8737883U JPS5917556U JP S5917556 U JPS5917556 U JP S5917556U JP 8737883 U JP8737883 U JP 8737883U JP 8737883 U JP8737883 U JP 8737883U JP S5917556 U JPS5917556 U JP S5917556U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- electron
- optical microscope
- lens
- equipment equipped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を説明するための
略図である。 ２・・・・・・試料、４・・・・・・電子線、６・・川
・最終段電子レンズ、７・・・・・・Ｘ線、９・・・・
・・凹面鏡、１ｏ・・川・凸面鏡、１１・・・・・・光
束、１２・・・・・・反射鏡、１３・・間光学観察部、
１４・・・・・・絞り板。
略図である。 ２・・・・・・試料、４・・・・・・電子線、６・・川
・最終段電子レンズ、７・・・・・・Ｘ線、９・・・・
・・凹面鏡、１ｏ・・川・凸面鏡、１１・・・・・・光
束、１２・・・・・・反射鏡、１３・・間光学観察部、
１４・・・・・・絞り板。
Claims (1)
- 電子銃より発生した電子線を電子レンズにより細く集束
させた状態で試料上に照射するための電子光学系と、該
電子光学系の光軸方向に向けて前記試料から発生又は反
射する光線を前記光軸外に設けられた光学顕微鏡方向へ
向ける手段と、該手段及び前記電子線を集束する最終段
の電子レンズの上方に設けられた前記試料照射電子線の
開き角αを制限するための電子線通過絞り板と、該絞り
板と最終段電子レンズのレンズ中心との間に設けられた
２段の電子線偏向系を具備することを特徴とする光学顕
微鏡を具えた電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8737883U JPS5917556U (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 光学顕微鏡を具えた電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8737883U JPS5917556U (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 光学顕微鏡を具えた電子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5917556U true JPS5917556U (ja) | 1984-02-02 |
Family
ID=30217292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8737883U Pending JPS5917556U (ja) | 1983-06-08 | 1983-06-08 | 光学顕微鏡を具えた電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917556U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02212044A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-23 | Mitsubishi Motors Corp | マシニングセンタのワーク機種判別方法及びワーク機種検知ツール |
-
1983
- 1983-06-08 JP JP8737883U patent/JPS5917556U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02212044A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-23 | Mitsubishi Motors Corp | マシニングセンタのワーク機種判別方法及びワーク機種検知ツール |
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