JPS59187069U - 荷電粒子線分析装置 - Google Patents
荷電粒子線分析装置Info
- Publication number
- JPS59187069U JPS59187069U JP8378683U JP8378683U JPS59187069U JP S59187069 U JPS59187069 U JP S59187069U JP 8378683 U JP8378683 U JP 8378683U JP 8378683 U JP8378683 U JP 8378683U JP S59187069 U JPS59187069 U JP S59187069U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- beam analyzer
- optical system
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例の縦断側面図である。
１・・・電子銃、２・・・コンデンサレンズ、３・・・
対物レンズ、４・・・試料、５・・・光学顕微鏡の対物
凹面鏡、Ｄ・・・半導体検出器。
対物レンズ、４・・・試料、５・・・光学顕微鏡の対物
凹面鏡、Ｄ・・・半導体検出器。
Claims (1)
- 荷電粒子線光学系に併設された反射光学顕微鏡の光学系
を構成する反射鏡のうち試料に対向する面を有する鏡の
鏡面を反射電子等に対する半導体検出器の入射面によっ
て形成した荷電粒子線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8378683U JPS59187069U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 荷電粒子線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8378683U JPS59187069U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 荷電粒子線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59187069U true JPS59187069U (ja) | 1984-12-12 |
| JPH0342609Y2 JPH0342609Y2 (ja) | 1991-09-06 |
Family
ID=30213743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8378683U Granted JPS59187069U (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 荷電粒子線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59187069U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011108042A1 (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-09 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡画像と光学画像を重ねて表示する方法 |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP8378683U patent/JPS59187069U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011108042A1 (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-09 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡画像と光学画像を重ねて表示する方法 |
| JP2011187192A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡画像と光学画像を重ねて表示する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0342609Y2 (ja) | 1991-09-06 |
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