JPS614348U - カソ−ドルミネツセンス装置 - Google Patents
カソ−ドルミネツセンス装置Info
- Publication number
- JPS614348U JPS614348U JP8805184U JP8805184U JPS614348U JP S614348 U JPS614348 U JP S614348U JP 8805184 U JP8805184 U JP 8805184U JP 8805184 U JP8805184 U JP 8805184U JP S614348 U JPS614348 U JP S614348U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassodoluminescence
- ellipsoidal mirror
- abstract
- cathodoluminescence device
- cathodoluminescence
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の動作鵬理説明図、第２図は本考案の一
実施例を示す平面図である。 １・・・入射電子ビーム、２・・・対物レンズ、−３・
・・試料、４・・・ライトパイプ、５・・・立体角、６
・・・ホトマル、７・・・楕円面鏡、８・・・ハンドル
、９・・・親、ジ、１０・・・プリアンプ、１１・・・
試料室。
実施例を示す平面図である。 １・・・入射電子ビーム、２・・・対物レンズ、−３・
・・試料、４・・・ライトパイプ、５・・・立体角、６
・・・ホトマル、７・・・楕円面鏡、８・・・ハンドル
、９・・・親、ジ、１０・・・プリアンプ、１１・・・
試料室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料から発生するカソ一ドルミネツセンスを検出す
る走査形電子顕微鏡のカソ一ドルミネツセンス装置にお
いて、カソ一ドルミネツセンスをホトマルに導木するラ
イトパイプの先端に楕円面鏡を設けた一造を有すること
を特徴とする−カソ一ドルミネツセンス装置。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項において、楕円面鏡
は真空外より移動できる構造を有することを特徴とする
カソ一ドルミネツセンス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8805184U JPS614348U (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | カソ−ドルミネツセンス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8805184U JPS614348U (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | カソ−ドルミネツセンス装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS614348U true JPS614348U (ja) | 1986-01-11 |
Family
ID=30640826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8805184U Pending JPS614348U (ja) | 1984-06-15 | 1984-06-15 | カソ−ドルミネツセンス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS614348U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004503062A (ja) * | 2000-07-07 | 2004-01-29 | エルエーオー・エレクトローネンミクロスコピイ・ゲーエムベーハー | 変化する圧力領域のための検出器、およびこのような検出器を備える電子顕微鏡 |
| JP2016054152A (ja) * | 2010-05-27 | 2016-04-14 | サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・シャンティフィクＣｅｎｔｒｅ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｄｅ Ｌａ Ｒｅｃｈｅｒｃｈｅ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｑｕｅ | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ |
-
1984
- 1984-06-15 JP JP8805184U patent/JPS614348U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004503062A (ja) * | 2000-07-07 | 2004-01-29 | エルエーオー・エレクトローネンミクロスコピイ・ゲーエムベーハー | 変化する圧力領域のための検出器、およびこのような検出器を備える電子顕微鏡 |
| JP2016054152A (ja) * | 2010-05-27 | 2016-04-14 | サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・ルシェルシュ・シャンティフィクＣｅｎｔｒｅ Ｎａｔｉｏｎａｌ Ｄｅ Ｌａ Ｒｅｃｈｅｒｃｈｅ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｑｕｅ | 順応性のあるカソードルミネッセンス検出システム及びそのようなシステムを採用したマイクロスコープ |
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