JPS5859159U - 凹面鏡を有するカソ−ドルミネツセンス検出器 - Google Patents
凹面鏡を有するカソ−ドルミネツセンス検出器Info
- Publication number
- JPS5859159U JPS5859159U JP15421181U JP15421181U JPS5859159U JP S5859159 U JPS5859159 U JP S5859159U JP 15421181 U JP15421181 U JP 15421181U JP 15421181 U JP15421181 U JP 15421181U JP S5859159 U JPS5859159 U JP S5859159U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concave mirror
- detector
- cathodoluminescence
- cathodoluminescence detector
- electron microscope
- Prior art date
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は走査電子顕微鏡試料室の説明図である。
Claims (1)
- 走査形電子顕微鏡に取付するカソードルミネッセンス検
出器に、試料から発生した信号を多く集めるために、検
出器の前面に可変可能な凹面鏡を設けることを特徴とす
る凹面鏡を有するカソードルミネッセンス検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15421181U JPS5859159U (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 凹面鏡を有するカソ−ドルミネツセンス検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15421181U JPS5859159U (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 凹面鏡を有するカソ−ドルミネツセンス検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5859159U true JPS5859159U (ja) | 1983-04-21 |
Family
ID=29946810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15421181U Pending JPS5859159U (ja) | 1981-10-19 | 1981-10-19 | 凹面鏡を有するカソ−ドルミネツセンス検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5859159U (ja) |
-
1981
- 1981-10-19 JP JP15421181U patent/JPS5859159U/ja active Pending
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