JPS60167863U - 真空装置 - Google Patents
真空装置Info
- Publication number
- JPS60167863U JPS60167863U JP5645184U JP5645184U JPS60167863U JP S60167863 U JPS60167863 U JP S60167863U JP 5645184 U JP5645184 U JP 5645184U JP 5645184 U JP5645184 U JP 5645184U JP S60167863 U JPS60167863 U JP S60167863U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum equipment
- pipe
- vacuum container
- exhaust
- aperture mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図〜第３図は本考案の実施例を示す図で第１図は、
本考案の装置を装着した装置の一部断面図、第２図、第
３図は第１図の要部拡大図、第４図は、従来例を示す縦
断面図である。 １０・・・真空容器、１１・・・吸引装置、１２・・・
パイプ、１３・・・カメラの絞り機構。
本考案の装置を装着した装置の一部断面図、第２図、第
３図は第１図の要部拡大図、第４図は、従来例を示す縦
断面図である。 １０・・・真空容器、１１・・・吸引装置、１２・・・
パイプ、１３・・・カメラの絞り機構。
Claims (1)
- 真空容器と排気装置とをパイプで連結し、該パイプにカ
メラの絞り機構を設けたことを特徴とする排気系のコン
ダクタンス調節装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5645184U JPS60167863U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5645184U JPS60167863U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60167863U true JPS60167863U (ja) | 1985-11-07 |
| JPH0222537Y2 JPH0222537Y2 (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=30580054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5645184U Granted JPS60167863U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60167863U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60227066A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-12 | Daido Steel Co Ltd | 開口面積調節装置 |
| JP2023536734A (ja) * | 2020-08-05 | 2023-08-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 真空下でフローコンダクタンスを変化させるためのバルブ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5586978A (en) * | 1978-12-22 | 1980-07-01 | Toshiba Corp | Motor switchgear |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP5645184U patent/JPS60167863U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5586978A (en) * | 1978-12-22 | 1980-07-01 | Toshiba Corp | Motor switchgear |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60227066A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-12 | Daido Steel Co Ltd | 開口面積調節装置 |
| JP2023536734A (ja) * | 2020-08-05 | 2023-08-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 真空下でフローコンダクタンスを変化させるためのバルブ |
| TWI895464B (zh) * | 2020-08-05 | 2025-09-01 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於半導體處理腔室的閥 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0222537Y2 (ja) | 1990-06-18 |
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