JPS59120453U - サンプルホルダ− - Google Patents

サンプルホルダ−

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Publication number
JPS59120453U
JPS59120453U JP1302883U JP1302883U JPS59120453U JP S59120453 U JPS59120453 U JP S59120453U JP 1302883 U JP1302883 U JP 1302883U JP 1302883 U JP1302883 U JP 1302883U JP S59120453 U JPS59120453 U JP S59120453U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample holder
sputtering
ion beam
radial magnet
focused
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1302883U
Other languages
English (en)
Inventor
林　賢次郎
Original Assignee
セイコーエプソン株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by セイコーエプソン株式会社 filed Critical セイコーエプソン株式会社
Priority to JP1302883U priority Critical patent/JPS59120453U/ja
Publication of JPS59120453U publication Critical patent/JPS59120453U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図１・・・従来のサンプルホルダーの断面図、図２・・
・本考案のサンプルホルダーの断面図。 ｂ・・・ラジアル磁石。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. スパッタリングイオンビームの進路に、ラジアル磁石を
    設け、該スパッタリングイオンビームを、該ラジアル磁
    石により収束して、イオンスパッタすることを特徴とす
    るサンプルホルダー。
JP1302883U 1983-02-01 1983-02-01 サンプルホルダ− Pending JPS59120453U (ja)

Priority Applications (1)

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JP1302883U JPS59120453U (ja) 1983-02-01 1983-02-01 サンプルホルダ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1302883U JPS59120453U (ja) 1983-02-01 1983-02-01 サンプルホルダ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59120453U true JPS59120453U (ja) 1984-08-14

Family

ID=30144422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1302883U Pending JPS59120453U (ja) 1983-02-01 1983-02-01 サンプルホルダ−

Country Status (1)

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JP (1) JPS59120453U (ja)

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