JPS5966853U - 面積走査角度走査両用電子線走査型分析装置 - Google Patents

面積走査角度走査両用電子線走査型分析装置

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JPS5966853U
JPS5966853U JP16277882U JP16277882U JPS5966853U JP S5966853 U JPS5966853 U JP S5966853U JP 16277882 U JP16277882 U JP 16277882U JP 16277882 U JP16277882 U JP 16277882U JP S5966853 U JPS5966853 U JP S5966853U
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JP
Japan
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scanning
electron beam
area
analyzer
angle
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Application number
JP16277882U
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Inventor
村山　善美
和夫 小柳
平居　暉士
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図Ａは角度走査を説明する斜視図、第１図Ｂは角度
走査によって得られるパターン、第２図Ａは従来の走査
型電子顕微鏡の要部側面図、第２図Ｂ、　Ｃは上記装置
で角度走査を行っている状態の要部側面図、第３図は本
考案の一実施例の要部側面図、第４図Ａは上記装置によ
り面積走査を行っている状態、同Ｂは角度走査を行って
いる状態の要部側面図である。 ｃｌ、ｃ２・・・走査コイル、Ｌ・・・対物レンズ、Ｆ
・・・対物絞り、Ｓ・・・試料。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズの上方に電子線を偏向させる走査コイルを有
    する構成で、上記走査コイルの上方に対物絞りを配置し
    、上記走査コイルに試料面の一定面積を走査する走査信
    号と試料面の一点にお０て電子線の入射角を２次元的に
    変化させる走査信号とが切換え選択して供給できるよう
    にしたことを特徴とする電子線走査型分析装置。
JP16277882U 1982-10-26 1982-10-26 面積走査角度走査両用電子線走査型分析装置 Granted JPS5966853U (ja)

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JP16277882U JPS5966853U (ja) 1982-10-26 1982-10-26 面積走査角度走査両用電子線走査型分析装置

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Publication Number Publication Date
JPS5966853U true JPS5966853U (ja) 1984-05-04
JPH0243089Y2 JPH0243089Y2 (ja) 1990-11-16

Family

ID=30357355

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JP (1) JPS5966853U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01105444A (ja) * 1987-10-16 1989-04-21 Jeol Ltd Ｘ線分析電子顕微鏡

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5481063A (en) * 1977-12-12 1979-06-28 Jeol Ltd Electron-beam equipment

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5481063A (en) * 1977-12-12 1979-06-28 Jeol Ltd Electron-beam equipment

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH01105444A (ja) * 1987-10-16 1989-04-21 Jeol Ltd Ｘ線分析電子顕微鏡

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JPH0243089Y2 (ja) 1990-11-16

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