JPH02133859U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02133859U JPH02133859U JP4233389U JP4233389U JPH02133859U JP H02133859 U JPH02133859 U JP H02133859U JP 4233389 U JP4233389 U JP 4233389U JP 4233389 U JP4233389 U JP 4233389U JP H02133859 U JPH02133859 U JP H02133859U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- electron beam
- passage hole
- annular
- surface facing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
Description
第１図は本考案の実施例を説明するための図、
第２図は第１図の要部拡大図、第３図は他の実施
例を説明するための図、第４図及び第５図は従来
例を説明するための図である。 １：走査電子顕微鏡の対物レンズ、２：試料、
３：電子プローブ、４：第１の環状検出器、５：
第２の環状検出器、６：第３の環状検出器、８：
加算器。
第２図は第１図の要部拡大図、第３図は他の実施
例を説明するための図、第４図及び第５図は従来
例を説明するための図である。 １：走査電子顕微鏡の対物レンズ、２：試料、
３：電子プローブ、４：第１の環状検出器、５：
第２の環状検出器、６：第３の環状検出器、８：
加算器。
Claims (1)
- 電子線光軸上に配置された試料と、その検出面
を前記試料に対向して配置された電子線通過孔を
有する第１の環状検出器と、前記試料と前記第１
の環状検出器との間に前記第１の環状検出器の電
子線通過孔より大なる通過孔を有する第２検出器
とその検出面を前記第１の検出器側に向けて設け
たことを特徴とする荷電粒子線装置における検出
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4233389U JPH02133859U (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4233389U JPH02133859U (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02133859U true JPH02133859U (ja) | 1990-11-07 |
Family
ID=31553787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4233389U Pending JPH02133859U (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02133859U (ja) |
-
1989
- 1989-04-11 JP JP4233389U patent/JPH02133859U/ja active Pending
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