KR940007963A - 판그물 및 투과형 전자현미경용 시료의 연마방법 - Google Patents

판그물 및 투과형 전자현미경용 시료의 연마방법 Download PDF

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KR940007963A
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transmission electron
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유지 이케다
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오오가 노리오
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Abstract

본 발명은 시료에 조사되는 이온빔을 균일하게 하고, 광범위의 연마를 가능하게 하는 판그물을 제공하는 것을 목적으로 한다.
그 구성을 보면, 원판형태의 판그물(11)의 중앙개구부(11a)에지에 테이퍼부(11b)를 형성하고, 이온빔(B)이 에지에 닿지 않도록 함으로써, 광범위한 시료면이 연마되고, 더구나 빔 난류의 발생을 방지하여 균일한 연마를 가능하게 하는 구성으로 되어 있다.

Description

판그물 및 투과형 전자현미경용 시료의 연마방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 판그물의 실시예를 나타내는 단면도이다.
제2도는 본 발명의 판그물의 실시예를 나타내는 단면도이다.
제3도는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.

Claims (6)

  1. 중앙에 개구부를 가짐 이 개구부를 덮는 것 같이 투과형 전자현미경용 시료를 재치한 상태에서 이 시료를 지지하는 판그물에 있어서, 상기 개구부의 에지부를 테이퍼형태로 형성한 것을 특징으로 하는 판그물.
  2. 제1항에 있어서, 상기 에지부의 테이퍼를 시료연마용 에너지선의 입사각과 같은 각도로 한 판그물.
  3. 중앙에 개구부를 가지며, 이 개구부를 덮는 것 같이 투과형 전자현미경용 시료를 재치한 상태에서 이 시료를 지지하는 판그물에 있어서, 상기 시료를 지지하는 영역에 오목부를 형성하고, 이 오목부에 상기 시료를 끼워 넣는 것을 특징으로 하는 판그물.
  4. 중앙에 개구부를 가지며 이 개구부의 에지부를 테이퍼상태로 형성한 판그물에 시료를 지지하고, 에너지선에 의해 이 시료를 연마하는 것을 특징으로 하는 투과형 전자현미경 시료의 연마방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 에지부의 테이퍼를 상기 에너지선의 입사각과 같은 각도로 한 판그물을 사용하는 투과형 전자현미경 시료의 연마방법.
  6. 중앙에 개구부를 가지며, 시료를 지지하는 영역에 오목부를 형성한 판그물의 오목부에 상기 시료를 끼워넣고, 에너지선에 의해 이 시료를 연마하는 것을 특징으로 하는 투과형 전자현미경 시료의 연마방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019930016528A 1992-09-03 1993-08-25 판그물 및 투과형 전자현미경용 시료의 연마방법 KR940007963A (ko)

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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR940007963A (ko) * 1992-09-03 1994-04-28 오오가 노리오 판그물 및 투과형 전자현미경용 시료의 연마방법
BE1007675A3 (nl) * 1993-10-28 1995-09-12 Philips Electronics Nv Werkwijze voor het vervaardigen van preparaten voor een elektronenmicroscoop.
KR100227825B1 (ko) * 1996-09-19 1999-11-01 윤종용 투과전자현미경(tem) 분석시료 제조 방법
JP2000035390A (ja) * 1998-07-16 2000-02-02 Seiko Instruments Inc 薄片化加工方法
US6140652A (en) * 1998-09-09 2000-10-31 Intersil Corporation Device containing sample preparation sites for transmission electron microscopic analysis and processes of formation and use
TW494449B (en) * 2001-02-06 2002-07-11 United Microelectronics Corp Method for fabricating test piece of transmission electron microscope
US6537848B2 (en) 2001-05-30 2003-03-25 St. Assembly Test Services Ltd. Super thin/super thermal ball grid array package
US6576894B1 (en) * 2001-06-25 2003-06-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Structure for FIB based microanalysis and method for manufacturing it
KR100476886B1 (ko) * 2001-12-06 2005-03-17 삼성전자주식회사 투과전자현미경 분석시료의 제작방법
US6995380B2 (en) * 2003-03-13 2006-02-07 Ascend Instruments, Llc End effector for supporting a microsample
US7112790B1 (en) * 2003-08-13 2006-09-26 Cypress Semiconductor Corp. Method to prepare TEM samples
JP2006202354A (ja) * 2005-01-18 2006-08-03 Shinka Jitsugyo Kk 表面形成方法及び装置、磁気ヘッド及びその製造方法
US7713053B2 (en) * 2005-06-10 2010-05-11 Protochips, Inc. Reusable template for creation of thin films; method of making and using template; and thin films produced from template
US8058627B2 (en) * 2008-08-13 2011-11-15 Wisys Technology Foundation Addressable transmission electron microscope grid
EP2755226B1 (en) * 2013-01-15 2016-06-29 Fei Company Sample carrier for an electron microscope
CN109254025B (zh) * 2018-11-02 2023-09-22 内蒙古工业大学 一种用于透射电镜样品粘贴环形载网的装置及方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4128765A (en) * 1976-10-29 1978-12-05 Joseph Franks Ion beam machining techniques and apparatus
JPS58169762A (ja) * 1982-03-30 1983-10-06 Internatl Precision Inc 電子線装置
US4618767A (en) * 1985-03-22 1986-10-21 International Business Machines Corporation Low-energy scanning transmission electron microscope
IE58049B1 (en) * 1985-05-21 1993-06-16 Tekscan Ltd Surface analysis microscopy apparatus
JPS62274237A (ja) * 1986-05-23 1987-11-28 Fujitsu Ltd 電子顕微鏡用試料作成方法
US4992661A (en) * 1987-08-20 1991-02-12 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for neutralizing an accumulated charge on a specimen by means of a conductive lattice deposited on the specimen
JPH0692927B2 (ja) * 1988-02-26 1994-11-16 シャープ株式会社 微小領域断面観察用試料作成法
DE3914065A1 (de) * 1989-04-28 1990-10-31 Leybold Ag Vorrichtung zur durchfuehrung von plasma-aetzverfahren
JPH0340353A (ja) * 1989-07-05 1991-02-21 Jeol Ltd 電子顕微鏡または類似装置
US5009743A (en) * 1989-11-06 1991-04-23 Gatan Incorporated Chemically-assisted ion beam milling system for the preparation of transmission electron microscope specimens
JP2860578B2 (ja) * 1990-03-02 1999-02-24 キヤノン株式会社 露光装置
JPH03263746A (ja) * 1990-03-14 1991-11-25 Hitachi Ltd 走査電子顕微鏡
FR2662024B1 (fr) * 1990-05-10 1992-10-23 Spiral Rech & Dev Installation pour l'etude ou la transformation de la surface d'echantillons places dans le vide ou dans une atmosphere controlee.
US5225683A (en) * 1990-11-30 1993-07-06 Jeol Ltd. Detachable specimen holder for transmission electron microscope
EP0504972A1 (en) * 1991-03-18 1992-09-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Specimen holder for use in a charged particle beam device
US5289005A (en) * 1992-05-29 1994-02-22 Jeol Ltd. Electron microscope
KR940007963A (ko) * 1992-09-03 1994-04-28 오오가 노리오 판그물 및 투과형 전자현미경용 시료의 연마방법

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US5572026A (en) 1996-11-05
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