JPS58148867U - ２次電子検出装置 - Google Patents

２次電子検出装置

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JPS58148867U
JPS58148867U JP4675282U JP4675282U JPS58148867U JP S58148867 U JPS58148867 U JP S58148867U JP 4675282 U JP4675282 U JP 4675282U JP 4675282 U JP4675282 U JP 4675282U JP S58148867 U JPS58148867 U JP S58148867U
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JP
Japan
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electron
secondary electron
detection device
electron detection
optical system
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Application number
JP4675282U
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English (en)
Inventor
啓義 副島
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は通常の走査型電子顕微鏡における２次電子検出
装置の側面図、第２図は高分解能が要求される場合の２
次電子検出装置の従来構成の側面　　　　　“図、第３
図は本考案の一実施例装置の側面図、第４図は本考案の
他の実施例を示し、同図Ａはその一つの側面図、Ｂ、　
Ｃ，Ｄは夫々異る他の実施例の平面図である。 １・・・対物レンズのポールピース、２・・・試料照射
用電子ビーム或は電子光学系の光軸、３・・・試料、４
・・・２次電子、５・・・２次電子収集電極、７・・・
電子検出器、８・・・電子吸収体。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）対物レンズのポールピースの上側において、電子
    光学系の光軸の周囲に同光軸を中心に対称的に２次電子
    収集電極を配置し、同電極の後方に電子検出器を配置し
    た２次電子検出装置。
  2. （２）２次電子収集電極が電子光学系の光軸を中心とす
    る環状である実用新案登録請求の範囲第１項記載の２次
    電子検出装置。
  3. （３）電子光学系の光軸を中心として放射状に２次電子
    収集電極と電子検出器との組合せを複数組配置した実用
    新案登録請求の範囲第１項記載の２次電子検出装置。
JP4675282U 1982-03-30 1982-03-30 ２次電子検出装置 Pending JPS58148867U (ja)

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JPS58148867U true JPS58148867U (ja) 1983-10-06

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