JPS619761U - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPS619761U JPS619761U JP9477484U JP9477484U JPS619761U JP S619761 U JPS619761 U JP S619761U JP 9477484 U JP9477484 U JP 9477484U JP 9477484 U JP9477484 U JP 9477484U JP S619761 U JPS619761 U JP S619761U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- beam device
- ring
- optical axis
- beam equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図は従来装置を説明するための図、第３
図及び第４図は本考案の一実施例の概略図である。 １：電子線、２：磁極片、３：試料、４：シンチレータ
ー、５：ライトガイド、６：光ｔ子増倍管、７：シール
ド筒、８：リング状電極。
図及び第４図は本考案の一実施例の概略図である。 １：電子線、２：磁極片、３：試料、４：シンチレータ
ー、５：ライトガイド、６：光ｔ子増倍管、７：シール
ド筒、８：リング状電極。
Claims (3)
- （１）電子線を対物レンズの下に設置された試料に照射
し、該試料よりの２次電子をシンチレータ、リング状電
極、ライトパイプ、光電子増倍管等より成る２次電子検
出器により検出する装置において、前記２次電子検出器
を該レンズの側面に沿って光軸に対して傾斜して配置し
たことを特徴とする電子線装置。 - （２）前記リング電極をそのリング面が光軸に垂直にな
るように配置したことを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載の電子線装置。 - （３） 前記ライトガイドの先端部を傾斜してカット
したことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項乃
至第２項記載の電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9477484U JPS619761U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9477484U JPS619761U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS619761U true JPS619761U (ja) | 1986-01-21 |
| JPH0236207Y2 JPH0236207Y2 (ja) | 1990-10-02 |
Family
ID=30653533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9477484U Granted JPS619761U (ja) | 1984-06-25 | 1984-06-25 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS619761U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961794A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-09 | Shimadzu Corp | Ｅｄｘ冷却用液体窒素容器の取付構造 |
-
1984
- 1984-06-25 JP JP9477484U patent/JPS619761U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5961794A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-09 | Shimadzu Corp | Ｅｄｘ冷却用液体窒素容器の取付構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0236207Y2 (ja) | 1990-10-02 |
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