JPS5985569U - 電子ビ−ム軸合せ装置 - Google Patents

電子ビ−ム軸合せ装置

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JPS5985569U
JPS5985569U JP18141282U JP18141282U JPS5985569U JP S5985569 U JPS5985569 U JP S5985569U JP 18141282 U JP18141282 U JP 18141282U JP 18141282 U JP18141282 U JP 18141282U JP S5985569 U JPS5985569 U JP S5985569U
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JP
Japan
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electron beam
aperture plate
alignment device
beam alignment
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Application number
JP18141282U
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English (en)
Inventor
喬 伊藤
Original Assignee
日本電子株式会社
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は電子ビーム軸合せ装置の従来装置の概略図、第
２図は従来装置を説明するための図、第３図は本考案の
一実施例装置の概略図、第４図、第５図は本考案を説明
するための図である。 １：電子銃、２：電子線、計加速電極、４ｘ。 ４Ｙ、　　５Ｘ、　　５Ｙ：偏向コイル、６，７：偏向
コイル用電源、９ニメータ、１０：集束レンズ、１１：
試料、１２：鏡筒、８，１３：絞り板、１４：Ｘ線検出
器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃と、該電子銃からの電子線の中心を光軸と一致さ
    せるための偏向手段と、該偏向手段の下方に設けられた
    第１の絞り板と、該絞り板を照射する電子線の電流を測
    定する電流検出手段と、前記第１の絞り板の下方に設け
    られ原子番号の異る複数の部材で形成された第２の岐り
    板と、該第２の絞り板から発生するＸ線を検出する手段
    を備えた電子ビーム軸合せ装置。
JP18141282U 1982-11-30 1982-11-30 電子ビ−ム軸合せ装置 Pending JPS5985569U (ja)

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JP18141282U JPS5985569U (ja) 1982-11-30 1982-11-30 電子ビ−ム軸合せ装置

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