JPS58146348U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS58146348U JPS58146348U JP4299582U JP4299582U JPS58146348U JP S58146348 U JPS58146348 U JP S58146348U JP 4299582 U JP4299582 U JP 4299582U JP 4299582 U JP4299582 U JP 4299582U JP S58146348 U JPS58146348 U JP S58146348U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning electron
- electron microscope
- support
- sample
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例装置の構成を示す図であり、
第２図は試料部分の断面図である。 １ニスライドガラス、２：透明導電膜、３：試料、４：
電子銃、１４：光学顕微鏡、１５：対物レンズ、１７：
マイクロスイッチ、１８：’Ｉ源。
第２図は試料部分の断面図である。 １ニスライドガラス、２：透明導電膜、３：試料、４：
電子銃、１４：光学顕微鏡、１５：対物レンズ、１７：
マイクロスイッチ、１８：’Ｉ源。
Claims (1)
- 支持体上に載置された試料に電子線を細く集束して照射
すると共に二次元的に走査し、試料より発生する情報信
号を検出して表示手段へ送るようにした走査電子顕微鏡
と、上記試料を観察するために上記支持体の下方に配置
された光学顕微鏡とを備えた装置において、前記支持体
が電子線通路上に挿入されているか否かを検出する手段
と、該検出手段の出力信号に基づいて電子線照射を停止
させる手段を設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4299582U JPS58146348U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4299582U JPS58146348U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58146348U true JPS58146348U (ja) | 1983-10-01 |
Family
ID=30054091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4299582U Pending JPS58146348U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58146348U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51132757A (en) * | 1975-05-14 | 1976-11-18 | Hitachi Ltd | Optical observation device |
-
1982
- 1982-03-26 JP JP4299582U patent/JPS58146348U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51132757A (en) * | 1975-05-14 | 1976-11-18 | Hitachi Ltd | Optical observation device |
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