JPS5917553U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5917553U JPS5917553U JP11260882U JP11260882U JPS5917553U JP S5917553 U JPS5917553 U JP S5917553U JP 11260882 U JP11260882 U JP 11260882U JP 11260882 U JP11260882 U JP 11260882U JP S5917553 U JPS5917553 U JP S5917553U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- electron beam
- electron
- microscope
- scanning signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の構成を示す図、第２図はタ
ーレット部分の拡大図、第３図は光学顕微鏡像と走査電
子顕微鏡像を示す図である。 １ニスライドガラス、２：試料、３：電子銃、９：走査
回路、１０：偏向コイル、１１：検出器、１３：表示装
置、１４． １８：対物レンズ、１７：接眼レンズ、１
９：ターレット、２１：マイクロスイッチ、２２：可変
減衰器、２３：固定減衰器、２４． ２６゜２８：スイ
ッチ、２５：判別回路、２７：プランキング回路。
ーレット部分の拡大図、第３図は光学顕微鏡像と走査電
子顕微鏡像を示す図である。 １ニスライドガラス、２：試料、３：電子銃、９：走査
回路、１０：偏向コイル、１１：検出器、１３：表示装
置、１４． １８：対物レンズ、１７：接眼レンズ、１
９：ターレット、２１：マイクロスイッチ、２２：可変
減衰器、２３：固定減衰器、２４． ２６゜２８：スイ
ッチ、２５：判別回路、２７：プランキング回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 電子銃と、該電子銃で生成された電子線を支持体上
に載置された試料に細く集束して照射するための電子レ
ンズと、電子線を試料上で二次元的に走査するための電
子線偏向手段と、試料より発生する情報信号を検出する
ための検出手段と、該検出手段から得られた検出信号が
供給される表示手段とから成る走査電子顕微鏡及び上記
試料を観察するために上記支持体の走査電子顕微鏡とは
別方向に配置された光学顕微鏡を備えた装置において、
前記電子線偏向手段へ可変振幅の走査信号を供給するた
めの第１の走査信号発生手段と、前記電子線偏向手段へ
固定振幅の走査信号を供給するための第２の走査信号発
生手段と、上記第１及び第２の走査信号発生手段からの
走査信号を選択的に前記電子線偏向手段へ送るための選
択手段を設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 ２ 前記固定振幅の走査信号には、光学顕微鏡によって
得られる像の視野と略等しい視野の走査電子顕微鏡像を
得るのに必要な振幅が与えられる実用新案登録請求の範
囲第１項記載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11260882U JPS5917553U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11260882U JPS5917553U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5917553U true JPS5917553U (ja) | 1984-02-02 |
Family
ID=30260992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11260882U Pending JPS5917553U (ja) | 1982-07-23 | 1982-07-23 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5917553U (ja) |
-
1982
- 1982-07-23 JP JP11260882U patent/JPS5917553U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4091374A (en) | Method for pictorially displaying output information generated by an object imaging apparatus | |
| JPS6246943B2 (ja) | ||
| JPS63318052A (ja) | 直接的画像化式の単色光電子顕微鏡 | |
| JPS5917553U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS6449196A (en) | Method and apparatus for reading electronic signal pattern stored in movable image recording plane | |
| US3278679A (en) | Electron-optical readout of latent electrostatic image | |
| US2348030A (en) | Scanning type of electron microscope | |
| US2348031A (en) | Method of focusing electron microscopes | |
| JPS5912461U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS582856U (ja) | 透過走査像観察装置 | |
| JPS59103360U (ja) | 複合顕微鏡 | |
| JPS58135860U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS616252U (ja) | 電子線装置 | |
| JPS6352427B2 (ja) | ||
| JPS58146348U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS58148866U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS6065966U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| SU1763883A1 (ru) | Способ слежени за перемещением на стенде издели с контрастной границей | |
| JPS58154555U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS58174857U (ja) | 立体走査型電子顕微鏡 | |
| JPH05118843A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JPS59134366U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS58173160U (ja) | 透過形電子顕微鏡 | |
| JPS6194707U (ja) | ||
| JPS58137949A (ja) | 走査電子顕微鏡による立体像表示方法 |