JPS59134366U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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Publication number
JPS59134366U
JPS59134366U JP2948583U JP2948583U JPS59134366U JP S59134366 U JPS59134366 U JP S59134366U JP 2948583 U JP2948583 U JP 2948583U JP 2948583 U JP2948583 U JP 2948583U JP S59134366 U JPS59134366 U JP S59134366U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scanning
signal
area
electron beam
switching
Prior art date
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Pending
Application number
JP2948583U
Other languages
English (en)
Inventor
島山　八郎
利治 小林
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP2948583U priority Critical patent/JPS59134366U/ja
Publication of JPS59134366U publication Critical patent/JPS59134366U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、高倍像と低倍像の同時表示を説明するための
図、第２図は水平同期信号に基づ（切換走査と垂直同期
信号に基づく切換走査を説明するための図、第３図は従
来の欠点を説明するための図、第４図は本考案の一実施
例を委すための図、第５図は第４図に示した一実施例装
置の各回路よりの出力信号を例示するための図である。 ゛Ｓ：試料、１：鏡筒、２：偏向コイル、３：走査信号
発生回路、３ａ二周波数調節器、４Ｈ，４Ｖ：除算回路
、５Ｈ，５Ｖ：加算増幅器、５Ｈ，６Ｖ：選択回路、７
：倍率制御回路、８：切換回路、９：切換制御信号発生
回路、９ａＨ周波数−電圧変換器、９ｂ：比較器、１０
：フリップフロップ、１１．１２：緯極線管、１３：反
転器、１４：二次電子検出器、１５：増幅器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子線を試料上に照射する手段と、該電子線を偏向する
    ための偏向器と、該電子線により試料上の広領域を二次
    元的に走査するための広領域走査信号と狭領域を走査す
    るための狭領域走査信号とを発生するための手段と、該
    広領域走査信号と狭領域走査信号の内からいずれか一方
    を選択して該偏向手段に供給するための走査信号選択手
    段と、該選択手段による選択を切換えるた吟の切換信号
    を発生する切換信号発生手段と、該電子線の試料上にお
    ける走査と同押走養され該走査に伴なって得られる検出
    信号の供給に基づいて前記広領域と狭領域の像を同時に
    表示するための表示手段とを備えた装置において１．前
    記切換信号発生手繰より発生する切換信号の周期を電子
    線の試料上における走査速度に連動して切換える手段を
    具備していることを特徴とする走査電子顕微鏡。　　゛
JP2948583U 1983-02-28 1983-02-28 走査電子顕微鏡 Pending JPS59134366U (ja)

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JP2948583U JPS59134366U (ja) 1983-02-28 1983-02-28 走査電子顕微鏡

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JPS59134366U true JPS59134366U (ja) 1984-09-08

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