JP2001216931A - 像観察方法および走査電子顕微鏡 - Google Patents
像観察方法および走査電子顕微鏡Info
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- JP2001216931A JP2001216931A JP2000024949A JP2000024949A JP2001216931A JP 2001216931 A JP2001216931 A JP 2001216931A JP 2000024949 A JP2000024949 A JP 2000024949A JP 2000024949 A JP2000024949 A JP 2000024949A JP 2001216931 A JP2001216931 A JP 2001216931A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 視野探し等の動作の際に画質を向上させるこ
とができる像観察方法およびディジタル式の走査電子顕
微鏡を実現する。 【解決手段】 視野探しを行う場合、ポインタ２０によ
りステージ制御ユニット２３を介してステージ制御器８
が制御される。この制御によりステージ１０はＸ，Ｙ方
向に駆動され、試料４は移動させられる。この際、ポイ
ンタ２０によって陰極線管１８における画像表示領域の
設定が行われる。この画像表示領域の設定に合わせて、
電子ビームＥＢの走査領域も狭められる。更に、積算制
御ユニット２３を介して画像積算ユニット１６が制御さ
れ、画像積算の回数が増やされる。この結果、より画質
の優れた像が観察できる。
とができる像観察方法およびディジタル式の走査電子顕
微鏡を実現する。 【解決手段】 視野探しを行う場合、ポインタ２０によ
りステージ制御ユニット２３を介してステージ制御器８
が制御される。この制御によりステージ１０はＸ，Ｙ方
向に駆動され、試料４は移動させられる。この際、ポイ
ンタ２０によって陰極線管１８における画像表示領域の
設定が行われる。この画像表示領域の設定に合わせて、
電子ビームＥＢの走査領域も狭められる。更に、積算制
御ユニット２３を介して画像積算ユニット１６が制御さ
れ、画像積算の回数が増やされる。この結果、より画質
の優れた像が観察できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、像の視野探しやフ
ォーカス合わせの際に像質の優れた像を表示することが
できる像観察方法および走査電子顕微鏡に関する。
ォーカス合わせの際に像質の優れた像を表示することが
できる像観察方法および走査電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、電子銃から発生し
加速された電子ビームをコンデンサレンズや対物レンズ
で試料上に細く集束すると共に、この電子ビームの走査
にともなって発生した２次電子や反射電子を検出し、こ
の検出信号を画像信号として電子ビームの走査と同期し
た陰極線管に供給するようにしている。この結果、残光
性のある陰極線管上には、試料の２次元像が表示される
ことになる。
加速された電子ビームをコンデンサレンズや対物レンズ
で試料上に細く集束すると共に、この電子ビームの走査
にともなって発生した２次電子や反射電子を検出し、こ
の検出信号を画像信号として電子ビームの走査と同期し
た陰極線管に供給するようにしている。この結果、残光
性のある陰極線管上には、試料の２次元像が表示される
ことになる。
【０００３】このような走査電子顕微鏡において、検出
信号であるアナログ画像信号をそのまま陰極線管に供給
するアナログ式の走査電子顕微鏡と、検出信号をディジ
タル化し、ディジタル画像信号をフレームメモリーに記
憶させ、フレームメモリーの信号を読み出してＤＡ変換
し、変換された信号を陰極線管に供給するようにしたデ
ィジタル式の走査電子顕微鏡とが存在する。
信号であるアナログ画像信号をそのまま陰極線管に供給
するアナログ式の走査電子顕微鏡と、検出信号をディジ
タル化し、ディジタル画像信号をフレームメモリーに記
憶させ、フレームメモリーの信号を読み出してＤＡ変換
し、変換された信号を陰極線管に供給するようにしたデ
ィジタル式の走査電子顕微鏡とが存在する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記アナログ式の走査
電子顕微鏡では、１視野に対しての電子ビームの２次元
走査と、陰極線管の１画面の表示時間は一対一に対応し
ている。また、観察用陰極線管は、表面の蛍光塗料を陰
極線管内の電子線でなぞる形式のものであるため、試料
上の電子ビームの２次元走査範囲は一定とし、表示画面
上の表示領域を狭くしていくと、観察画面上の画像表示
密度が蜜になり、画質（コントラスト）の良い画像表示
を行うことができる。
電子顕微鏡では、１視野に対しての電子ビームの２次元
走査と、陰極線管の１画面の表示時間は一対一に対応し
ている。また、観察用陰極線管は、表面の蛍光塗料を陰
極線管内の電子線でなぞる形式のものであるため、試料
上の電子ビームの２次元走査範囲は一定とし、表示画面
上の表示領域を狭くしていくと、観察画面上の画像表示
密度が蜜になり、画質（コントラスト）の良い画像表示
を行うことができる。
【０００５】そのため、電子ビームのフォーカス合わせ
や視野探しの際には、試料上の電子ビームの走査範囲を
変えずに、観察画面上の像表示領域を狭くし、より画質
を向上させた状態で、それらの動作を行っている。
や視野探しの際には、試料上の電子ビームの走査範囲を
変えずに、観察画面上の像表示領域を狭くし、より画質
を向上させた状態で、それらの動作を行っている。
【０００６】一方、ディジタル式の走査電子顕微鏡にお
いては、走査画像表示はディジタル表示となり、観察デ
ィスプレイの表示画素数によって画像の表示密度が決ま
る。そのため、上記アナログ式の場合のように、画像の
表示領域を狭くしても、画質が向上することはない。
いては、走査画像表示はディジタル表示となり、観察デ
ィスプレイの表示画素数によって画像の表示密度が決ま
る。そのため、上記アナログ式の場合のように、画像の
表示領域を狭くしても、画質が向上することはない。
【０００７】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、視野探し等の動作の際に画質を向
上させることができる像観察方法およびディジタル式の
走査電子顕微鏡を実現するにある。
もので、その目的は、視野探し等の動作の際に画質を向
上させることができる像観察方法およびディジタル式の
走査電子顕微鏡を実現するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１の発明に基づく像観
察方法は、電子ビームを試料上に集束するための集束レ
ンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査するため
の走査手段と、試料への電子ビームの照射によって得ら
れた信号を検出する検出器と、検出器の検出信号をディ
ジタル信号に変換するＡＤ変換器と、ディジタル化され
た信号を積算処理する積算手段と、積算された画像信号
に基づいて試料像を表示する表示手段とを備えた走査電
子顕微鏡において、表示手段上の表示画面の像表示領域
と試料上の電子ビームの走査範囲を狭め、積算手段にお
ける信号の積算回数を増やすようにして試料像を観察す
るようにしたことを特徴としている。
察方法は、電子ビームを試料上に集束するための集束レ
ンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査するため
の走査手段と、試料への電子ビームの照射によって得ら
れた信号を検出する検出器と、検出器の検出信号をディ
ジタル信号に変換するＡＤ変換器と、ディジタル化され
た信号を積算処理する積算手段と、積算された画像信号
に基づいて試料像を表示する表示手段とを備えた走査電
子顕微鏡において、表示手段上の表示画面の像表示領域
と試料上の電子ビームの走査範囲を狭め、積算手段にお
ける信号の積算回数を増やすようにして試料像を観察す
るようにしたことを特徴としている。
【０００９】第１の発明では、試料上の視野探しや電子
ビームのフォーカス合わせの際に、表示手段上の表示画
面の像表示領域と試料上の電子ビームの走査範囲を狭
め、積算手段における信号の積算回数を増やすようにし
て試料像を観察するようにしたので、優れた像質の像を
観察しながら視野探しや電子ビームのフォーカス合わせ
を行うことができる。
ビームのフォーカス合わせの際に、表示手段上の表示画
面の像表示領域と試料上の電子ビームの走査範囲を狭
め、積算手段における信号の積算回数を増やすようにし
て試料像を観察するようにしたので、優れた像質の像を
観察しながら視野探しや電子ビームのフォーカス合わせ
を行うことができる。
【００１０】第２の発明に基づく走査電子顕微鏡は、電
子ビームを試料上に集束するための集束レンズと、試料
上の電子ビームの照射位置を走査するための走査手段
と、試料への電子ビームの照射によって得られた信号を
検出する検出器と、検出器の検出信号をディジタル信号
に変換するＡＤ変換器と、ディジタル化された信号を積
算処理する積算手段と、積算された画像信号に基づいて
試料像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡に
おいて、表示手段上の表示画面の像表示領域を指定する
領域指定手段と、指定された領域に基づいて積算手段に
おける信号の積算回数を制御する手段とを備えたことを
特徴としている。
子ビームを試料上に集束するための集束レンズと、試料
上の電子ビームの照射位置を走査するための走査手段
と、試料への電子ビームの照射によって得られた信号を
検出する検出器と、検出器の検出信号をディジタル信号
に変換するＡＤ変換器と、ディジタル化された信号を積
算処理する積算手段と、積算された画像信号に基づいて
試料像を表示する表示手段とを備えた走査電子顕微鏡に
おいて、表示手段上の表示画面の像表示領域を指定する
領域指定手段と、指定された領域に基づいて積算手段に
おける信号の積算回数を制御する手段とを備えたことを
特徴としている。
【００１１】第２の発明では、表示手段上の表示画面の
像表示領域を指定する領域指定手段と、指定された領域
に基づいて積算手段における信号の積算回数を制御する
手段とを備えたので、優れた像質の像を観察しながら視
野探しや電子ビームのフォーカス合わせを行うことがで
きる。
像表示領域を指定する領域指定手段と、指定された領域
に基づいて積算手段における信号の積算回数を制御する
手段とを備えたので、優れた像質の像を観察しながら視
野探しや電子ビームのフォーカス合わせを行うことがで
きる。
【００１２】第３の発明では、試料移動に連動して表示
画面の像表示領域が指定され、指定された領域に基づい
て積算手段における信号の積算回数を制御する手段とを
備えたので、試料移動中であっても、優れた像質の像を
観察することができる。
画面の像表示領域が指定され、指定された領域に基づい
て積算手段における信号の積算回数を制御する手段とを
備えたので、試料移動中であっても、優れた像質の像を
観察することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の一例を示しており、図中１は電子銃であ
る。電子銃１から発生した電子ビームＥＢは、コンデン
サレンズ２と対物レンズ３によって試料４上に細く集束
される。また、電子ビームＥＢは、走査コイルや静電偏
向器のごとき偏向器５によって偏向され、試料４上の電
子ビームの照射位置は走査される。
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の一例を示しており、図中１は電子銃であ
る。電子銃１から発生した電子ビームＥＢは、コンデン
サレンズ２と対物レンズ３によって試料４上に細く集束
される。また、電子ビームＥＢは、走査コイルや静電偏
向器のごとき偏向器５によって偏向され、試料４上の電
子ビームの照射位置は走査される。
【００１４】偏向器５には走査信号発生回路６から２次
元的な走査信号が、走査駆動回路７を介して供給され
る。また、試料４は試料ステージ制御器８によって駆動
されるモータ９により、Ｘ，Ｙの２次元方向に移動させ
られる移動ステージ１０上に載せられている。
元的な走査信号が、走査駆動回路７を介して供給され
る。また、試料４は試料ステージ制御器８によって駆動
されるモータ９により、Ｘ，Ｙの２次元方向に移動させ
られる移動ステージ１０上に載せられている。
【００１５】試料４への電子ビームＥＢの照射によって
発生した２次電子は、２次電子検出器１１によって検出
される。検出器１１の検出信号は、増幅器１２によって
増幅された後、ＡＤ変換器１３によってディジタル信号
に変換される。
発生した２次電子は、２次電子検出器１１によって検出
される。検出器１１の検出信号は、増幅器１２によって
増幅された後、ＡＤ変換器１３によってディジタル信号
に変換される。
【００１６】ＡＤ変換器１３によってディジタル化され
た信号は、第１のフレームメモリー１４と第２のフレー
ムメモリー１５よりなる画像積算ユニット１６に供給さ
れる。画像積算ユニット１６においては、第２のフレー
ムメモリーに記憶された各画素の信号を読みだし、第１
のフレームメモリー１４に供給された各画素の信号と第
１のフレームメモリー１４上で加算処理し、加算された
各画素の信号を第２のフレームメモリー１５に記憶させ
るように構成されている。
た信号は、第１のフレームメモリー１４と第２のフレー
ムメモリー１５よりなる画像積算ユニット１６に供給さ
れる。画像積算ユニット１６においては、第２のフレー
ムメモリーに記憶された各画素の信号を読みだし、第１
のフレームメモリー１４に供給された各画素の信号と第
１のフレームメモリー１４上で加算処理し、加算された
各画素の信号を第２のフレームメモリー１５に記憶させ
るように構成されている。
【００１７】第２のフレームメモリー１５に記憶された
各画素の信号は、読み出されてＤＡ変換器１７に供給さ
れてアナログ信号に変換される。ＤＡ変換器１７からの
アナログ画像信号は、陰極線管１８に供給され、陰極線
管１８上には試料の走査像が表示される。
各画素の信号は、読み出されてＤＡ変換器１７に供給さ
れてアナログ信号に変換される。ＤＡ変換器１７からの
アナログ画像信号は、陰極線管１８に供給され、陰極線
管１８上には試料の走査像が表示される。
【００１８】１９はコンピュータのごとき制御装置であ
り、制御装置１９内には、マウスのようなポインタ２０
によって制御される表示領域指定ユニット２１、走査信
号発生回路６を制御する走査制御ユニット２２、画像積
算ユニット１６における画像積算回数を制御する積算制
御ユニット２３、移動ステージ１０の移動を制御するス
テージ制御ユニット２４等が含まれている。
り、制御装置１９内には、マウスのようなポインタ２０
によって制御される表示領域指定ユニット２１、走査信
号発生回路６を制御する走査制御ユニット２２、画像積
算ユニット１６における画像積算回数を制御する積算制
御ユニット２３、移動ステージ１０の移動を制御するス
テージ制御ユニット２４等が含まれている。
【００１９】画像積算ユニット１６は、フレームメリー
１４の各画素に検出信号を記憶させたり、フレームメモ
リー１５から信号を取り出す際、記憶画素の座標の選択
を行うためのアドレス発生器を含んでおり、この発生器
は走査制御ユニット２２から積算制御ユニット２３を介
して供給される電子ビームＥＢの走査信号に応じた信号
により、アドレス信号を作成する。このような構成の動
作を次に説明する。
１４の各画素に検出信号を記憶させたり、フレームメモ
リー１５から信号を取り出す際、記憶画素の座標の選択
を行うためのアドレス発生器を含んでおり、この発生器
は走査制御ユニット２２から積算制御ユニット２３を介
して供給される電子ビームＥＢの走査信号に応じた信号
により、アドレス信号を作成する。このような構成の動
作を次に説明する。
【００２０】２次電子像を観察する場合、試料４上で電
子ビームＥＢの２次元走査が行われる。試料４への電子
ビームＥＢの照射に基づいて発生した２次電子は、検出
器１０によって検出される。検出信号は増幅器１２によ
って増幅され、ＡＤ変換器１３を介して画像積算ユニッ
ト１６内の第１のフレームメモリー１４に供給されて記
憶される。
子ビームＥＢの２次元走査が行われる。試料４への電子
ビームＥＢの照射に基づいて発生した２次電子は、検出
器１０によって検出される。検出信号は増幅器１２によ
って増幅され、ＡＤ変換器１３を介して画像積算ユニッ
ト１６内の第１のフレームメモリー１４に供給されて記
憶される。
【００２１】この記憶の際、各画素信号は第２のフレー
ムメモリー１５に記憶されている対応する画素の信号と
積算処理が行われる。積算処理された各画素の信号は、
第２のフレームメモリー１５の該当番地に格納される。
積算制御ユニット２３から指定された回数の積算処理が
された後、第２のフレームメモリー１５に格納されてい
る各画素信号は、読み出されてＤＡ変換器１７に供給さ
れる。ＤＡ変換器１７の出力信号は陰極線管１８に供給
されることから、陰極線管１８上には積算処理されてＳ
Ｎ比が向上した像が表示されることになる。
ムメモリー１５に記憶されている対応する画素の信号と
積算処理が行われる。積算処理された各画素の信号は、
第２のフレームメモリー１５の該当番地に格納される。
積算制御ユニット２３から指定された回数の積算処理が
された後、第２のフレームメモリー１５に格納されてい
る各画素信号は、読み出されてＤＡ変換器１７に供給さ
れる。ＤＡ変換器１７の出力信号は陰極線管１８に供給
されることから、陰極線管１８上には積算処理されてＳ
Ｎ比が向上した像が表示されることになる。
【００２２】ここで、視野探しを行う場合、ポインタ２
０によりステージ制御ユニット２４を介してステージ制
御器８が制御される。この制御によりステージ１０は
Ｘ，Ｙ方向に駆動され、試料４は移動させられる。この
際、ポインタ２０によって陰極線管１８における画像表
示領域の設定が行われる。
０によりステージ制御ユニット２４を介してステージ制
御器８が制御される。この制御によりステージ１０は
Ｘ，Ｙ方向に駆動され、試料４は移動させられる。この
際、ポインタ２０によって陰極線管１８における画像表
示領域の設定が行われる。
【００２３】この設定は、表示領域指定ユニット２１を
用いて行われ、例えば、図２に示すように縦（垂直）方
向、横（水平）方向共に１／２、面積比では１／４の領
域が設定される。この場合、陰極線管１８上で使用され
る領域Ｒ１の画素数は、全画面Ｒ０の画素数に比べて１
／４となる。
用いて行われ、例えば、図２に示すように縦（垂直）方
向、横（水平）方向共に１／２、面積比では１／４の領
域が設定される。この場合、陰極線管１８上で使用され
る領域Ｒ１の画素数は、全画面Ｒ０の画素数に比べて１
／４となる。
【００２４】この画像表示領域の設定に合わせて、電子
ビームＥＢの走査領域も狭められる。すなわち、走査制
御ユニット２２により走査信号発生回路６が制御され、
電子ビームＥＢの試料４上の２次元走査領域は１／４に
縮小される。この結果、電子ビームＥＢの１画面分の２
次元走査時間は１／４に短縮されることになる。
ビームＥＢの走査領域も狭められる。すなわち、走査制
御ユニット２２により走査信号発生回路６が制御され、
電子ビームＥＢの試料４上の２次元走査領域は１／４に
縮小される。この結果、電子ビームＥＢの１画面分の２
次元走査時間は１／４に短縮されることになる。
【００２５】更に、積算制御ユニット２３を介して画像
積算ユニット１６が制御され、画像積算の回数が変更さ
れる。すなわち、試料上の電子ビームの走査領域と２次
元走査時間とが１／４になったことにともない、画像積
算回数は４倍に増やされる。この結果、陰極線管１８上
では、１／４の領域に積算回数が増やされた各画素信号
に基づいた像が表示されるので、より画質の優れた像が
観察できる。
積算ユニット１６が制御され、画像積算の回数が変更さ
れる。すなわち、試料上の電子ビームの走査領域と２次
元走査時間とが１／４になったことにともない、画像積
算回数は４倍に増やされる。この結果、陰極線管１８上
では、１／４の領域に積算回数が増やされた各画素信号
に基づいた像が表示されるので、より画質の優れた像が
観察できる。
【００２６】このように、視野探しの際には、試料４上
の電子ビームＥＢの２次元走査領域が、例えば１／４に
制限されるので１画面分の走査時間を短くすることがで
き、その分画像積算回数を増やし、陰極線管１８上の表
示領域を狭めるように構成したので、走査時間を増やす
ことなく像質の優れた像を観察することができる。
の電子ビームＥＢの２次元走査領域が、例えば１／４に
制限されるので１画面分の走査時間を短くすることがで
き、その分画像積算回数を増やし、陰極線管１８上の表
示領域を狭めるように構成したので、走査時間を増やす
ことなく像質の優れた像を観察することができる。
【００２７】なお、上記した実施の形態で、陰極線管１
８上の表示領域を設定したら、それに連動させて試料上
の電子ビームの走査領域を制御し、また画像の積算回数
を制御しても良く、また、視野探しモードの設定によ
り、試料の移動を指示した場合、それらを自動的に制御
するように構成しても良い。その場合、試料が移動して
いる途中であっても、優れた像質の像を観察することが
できる。更に、陰極線管の表示領域、電子ビームの走査
領域、画像の積算回数をそれぞれ独立に制御できるよう
に構成しても良い。
８上の表示領域を設定したら、それに連動させて試料上
の電子ビームの走査領域を制御し、また画像の積算回数
を制御しても良く、また、視野探しモードの設定によ
り、試料の移動を指示した場合、それらを自動的に制御
するように構成しても良い。その場合、試料が移動して
いる途中であっても、優れた像質の像を観察することが
できる。更に、陰極線管の表示領域、電子ビームの走査
領域、画像の積算回数をそれぞれ独立に制御できるよう
に構成しても良い。
【００２８】以上本発明の実施の形態を詳述したが、本
発明はこの形態に限定されない。例えば、２次電子を検
出したが、反射電子を検出してもよい。また、試料の視
野探しを例に説明したが、電子ビームのフォーカス合わ
せの際に本発明を用いても良い。
発明はこの形態に限定されない。例えば、２次電子を検
出したが、反射電子を検出してもよい。また、試料の視
野探しを例に説明したが、電子ビームのフォーカス合わ
せの際に本発明を用いても良い。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、第１の発明では、
試料上の視野探しや電子ビームのフォーカス合わせの際
に、表示手段上の表示画面の像表示領域と試料上の電子
ビームの走査範囲を狭め、積算手段における信号の積算
回数を増やすようにして試料像を観察するようにしたの
で、優れた像質の像を観察しながら視野探しや電子ビー
ムのフォーカス合わせを行うことができる。
試料上の視野探しや電子ビームのフォーカス合わせの際
に、表示手段上の表示画面の像表示領域と試料上の電子
ビームの走査範囲を狭め、積算手段における信号の積算
回数を増やすようにして試料像を観察するようにしたの
で、優れた像質の像を観察しながら視野探しや電子ビー
ムのフォーカス合わせを行うことができる。
【００３０】第２の発明では、表示手段上の表示画面の
像表示領域を指定する領域指定手段と、指定された領域
に基づいて積算手段における信号の積算回数を制御する
手段とを備えたので、優れた像質の像を観察しながら視
野探しや電子ビームのフォーカス合わせを行うことがで
きる。
像表示領域を指定する領域指定手段と、指定された領域
に基づいて積算手段における信号の積算回数を制御する
手段とを備えたので、優れた像質の像を観察しながら視
野探しや電子ビームのフォーカス合わせを行うことがで
きる。
【００３１】第３の発明では、試料移動に連動して表示
画面の像表示領域が指定され、指定された領域に基づい
て積算手段における信号の積算回数を制御する手段とを
備えたので、試料移動中であっても、優れた像質の像を
観察することができる。
画面の像表示領域が指定され、指定された領域に基づい
て積算手段における信号の積算回数を制御する手段とを
備えたので、試料移動中であっても、優れた像質の像を
観察することができる。
【図１】本発明に基づく走査電子顕微鏡の一例を示す図
である。
である。
【図２】陰極線管上の画像表示領域を説明するための図
である。
である。
１ 電子銃 ２ コンデンサレンズ ３ 対物レンズ ４ 試料 ５ 偏向コイル ６ 走査信号発生回路 ７ 走査駆動回路 ８ ビーム走査制御器 ９ モータ １０ 移動ステージ １１ ２次電子検出器 １２ 増幅器 １３ ＡＤ変換器 １４，１５ フレームメモリー １６ 画像積算ユニット １７ ＤＡ変換器 １８ 陰極線管 １９ 制御装置 ２０ ポインタ ２１ 画像領域指定ユニット ２２ 走査制御ユニット ２３ 積算制御ユニット ２４ ステージ制御ユニット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 利治 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子株式会社内 (72)発明者 渡部 紀夫 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 電子ビームを試料上に集束するための集
束レンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査する
ための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって
得られた信号を検出する検出器と、検出器の検出信号を
ディジタル信号に変換するＡＤ変換器と、ディジタル化
された信号を積算処理する積算手段と、積算された画像
信号に基づいて試料像を表示する表示手段とを備えた走
査電子顕微鏡において、表示手段上の表示画面の像表示
領域と試料上の電子ビームの走査範囲を狭め、積算手段
における信号の積算回数を増やすようにして試料像を観
察するようにした像観察方法。 - 【請求項２】 電子ビームを試料上に集束するための集
束レンズと、試料上の電子ビームの照射位置を走査する
ための走査手段と、試料への電子ビームの照射によって
得られた信号を検出する検出器と、検出器の検出信号を
ディジタル信号に変換するＡＤ変換器と、ディジタル化
された信号を積算処理する積算手段と、積算された画像
信号に基づいて試料像を表示する表示手段とを備えた走
査電子顕微鏡において、表示手段上の表示画面の像表示
領域を指定する領域指定手段と、指定された領域に基づ
いて積算手段における信号の積算回数を制御する手段と
を備えた走査電子顕微鏡。 - 【請求項３】 試料移動に連動して表示画面の像表示領
域が指定される請求項２記載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000024949A JP2001216931A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | 像観察方法および走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000024949A JP2001216931A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | 像観察方法および走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001216931A true JP2001216931A (ja) | 2001-08-10 |
Family
ID=18550870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000024949A Pending JP2001216931A (ja) | 2000-02-02 | 2000-02-02 | 像観察方法および走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001216931A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011113776A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線顕微鏡および当該荷電粒子顕微鏡の制御方法 |
-
2000
- 2000-02-02 JP JP2000024949A patent/JP2001216931A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011113776A (ja) * | 2009-11-26 | 2011-06-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線顕微鏡および当該荷電粒子顕微鏡の制御方法 |
| US8934006B2 (en) | 2009-11-26 | 2015-01-13 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged-particle microscope and method for controlling same |
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