JPS6284155U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6284155U JPS6284155U JP17601385U JP17601385U JPS6284155U JP S6284155 U JPS6284155 U JP S6284155U JP 17601385 U JP17601385 U JP 17601385U JP 17601385 U JP17601385 U JP 17601385U JP S6284155 U JPS6284155 U JP S6284155U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- ray tube
- cathode ray
- signal
- observation
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第1図は本考案装置の要部の構成図、第2図は
他の実施例を説明するための図、第3図は従来装
置を説明するための図である。 1:走査信号発生回路、2:倍率回路、3,7
,9:増幅器、4′:照射系偏向コイル、5:観
察用CRTの偏向コイル、6:CRT選択回路、
8:記録用CRTの偏向コイル、11:抵抗切換
えスイツチ、4a,5a,8a:コイル、4b,
5b,8b,10a,10b,10c:抵抗。
他の実施例を説明するための図、第3図は従来装
置を説明するための図である。 1:走査信号発生回路、2:倍率回路、3,7
,9:増幅器、4′:照射系偏向コイル、5:観
察用CRTの偏向コイル、6:CRT選択回路、
8:記録用CRTの偏向コイル、11:抵抗切換
えスイツチ、4a,5a,8a:コイル、4b,
5b,8b,10a,10b,10c:抵抗。
Claims (1)
- インダクタンスLを有するコイルと抵抗値Rを
有する抵抗を並列に接続した照射系偏向コイルに
走査信号発生回路より走査信号を供給して試料表
面を照射する電子線を二次元的に走査し、該走査
により試料各部から発生する情報を検出器により
検出して、前記走査と同期した観察用陰極線管又
は記録用陰極線管に検出器よりの信号を輝度変調
信号として導入し、観察用画像又は記録用画像を
得る装置において、前記観察用陰極線管又は記録
用陰極線管のいずれかを選択する信号に基づいて
前記照射系偏向コイルの時定数L/Rを変化させ
る手段を設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡
の走査回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17601385U JPS6284155U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17601385U JPS6284155U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6284155U true JPS6284155U (ja) | 1987-05-29 |
Family
ID=31115865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17601385U Pending JPS6284155U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6284155U (ja) |
-
1985
- 1985-11-15 JP JP17601385U patent/JPS6284155U/ja active Pending
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