JPS6284155U - - Google Patents

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JPS6284155U
JPS6284155U JP17601385U JP17601385U JPS6284155U JP S6284155 U JPS6284155 U JP S6284155U JP 17601385 U JP17601385 U JP 17601385U JP 17601385 U JP17601385 U JP 17601385U JP S6284155 U JPS6284155 U JP S6284155U
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JP
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scanning
ray tube
cathode ray
signal
observation
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案装置の要部の構成図、第2図は
他の実施例を説明するための図、第3図は従来装
置を説明するための図である。 1:走査信号発生回路、2:倍率回路、3,7
,9:増幅器、4′:照射系偏向コイル、5:観
察用CRTの偏向コイル、6:CRT選択回路、
8:記録用CRTの偏向コイル、11:抵抗切換
えスイツチ、4a,5a,8a:コイル、4b,
5b,8b,10a,10b,10c:抵抗。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. インダクタンスLを有するコイルと抵抗値Rを
    有する抵抗を並列に接続した照射系偏向コイルに
    走査信号発生回路より走査信号を供給して試料表
    面を照射する電子線を二次元的に走査し、該走査
    により試料各部から発生する情報を検出器により
    検出して、前記走査と同期した観察用陰極線管又
    は記録用陰極線管に検出器よりの信号を輝度変調
    信号として導入し、観察用画像又は記録用画像を
    得る装置において、前記観察用陰極線管又は記録
    用陰極線管のいずれかを選択する信号に基づいて
    前記照射系偏向コイルの時定数L/Rを変化させ
    る手段を設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡
    の走査回路。
JP17601385U 1985-11-15 1985-11-15 Pending JPS6284155U (ja)

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JP17601385U JPS6284155U (ja) 1985-11-15 1985-11-15

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JPS6284155U true JPS6284155U (ja) 1987-05-29

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ID=31115865

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JP17601385U Pending JPS6284155U (ja) 1985-11-15 1985-11-15

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