JPS6151658U - - Google Patents

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JPS6151658U
JPS6151658U JP13547184U JP13547184U JPS6151658U JP S6151658 U JPS6151658 U JP S6151658U JP 13547184 U JP13547184 U JP 13547184U JP 13547184 U JP13547184 U JP 13547184U JP S6151658 U JPS6151658 U JP S6151658U
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JP13547184U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
第１の陰極線管に表示されるマークを説明するた
めの図、第３図は入力装置２０に付属する各種指
示スイツチ及び摘子を説明するための図、第４図
は観察領域の区画を説明するための図、第５図は
区画像とその一部拡大像の一例を示した図、第６
図は全体像とその一部拡大像の一例を示す図、第
７図は従来装置の欠点を説明するための図である
。 １：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、４
：試料、５Ｘ，５Ｙ：偏向コイル、６：走査信号
発生回路、７：走査幅切換回路、８：制御部、９
Ｘ，９Ｙ，１３：増幅器、１０，１１：陰極線管
、１２：２次電子検出器、１４：信号切換回路、
１５：画像データ記憶装置、１６：加算回路、１
７：試料ステージ、１８Ｘ，１８Ｙ：モータ、１
９：駆動回路、２０：入力装置。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料に電子線を照射する手段と、該電子線
    の照射点と試料との相対移動により試料上を二次
    元的に走査する走査手段と、該走査手段によつて
    得られた検出信号を記憶するための記憶手段と、
    該記憶手段から読み出された信号に基づいて試料
    像を表示する第１の表示手段と、該第１の表示手
    段に表示された広領域のうち拡大して表示したい
    狭領域の中心をマーク表示する手段と、該マーク
    を任意に移動させるための手段と、前記狭領域に
    対応した試料上の領域を走査する手段と、該狭領
    域における電子線の走査に同期して走査され該走
    査に伴なつて得られる検出信号の供給に基づいて
    該狭領域の像を表示するための第２の表示手段と
    を具備することを特徴とする走査電子顕微鏡。 (2) 前記第１、第２の表示手段は単一の表示手
    段により兼ねられていることを特徴とする実用新
    案登録請求の範囲第１項記載の走査電子顕微鏡。
JP13547184U 1984-09-06 1984-09-06 Pending JPS6151658U (ja)

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JPS6151658U true JPS6151658U (ja) 1986-04-07

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63141249A (ja) * 1986-12-01 1988-06-13 Jeol Ltd Ｘ線マイクロアナライザ等における試料位置設定方法
WO2000003413A1 (fr) * 1998-07-10 2000-01-20 Hitachi, Ltd. Procede et dispositif d'observation d'un objet

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4990074A (ja) * 1972-12-27 1974-08-28
JPS568838A (en) * 1979-07-03 1981-01-29 Fujitsu Ltd Testing method of integrated circuit device
JPS59148254A (ja) * 1983-02-10 1984-08-24 Jeol Ltd 走査電子顕微鏡等の試料移動装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4990074A (ja) * 1972-12-27 1974-08-28
JPS568838A (en) * 1979-07-03 1981-01-29 Fujitsu Ltd Testing method of integrated circuit device
JPS59148254A (ja) * 1983-02-10 1984-08-24 Jeol Ltd 走査電子顕微鏡等の試料移動装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63141249A (ja) * 1986-12-01 1988-06-13 Jeol Ltd Ｘ線マイクロアナライザ等における試料位置設定方法
WO2000003413A1 (fr) * 1998-07-10 2000-01-20 Hitachi, Ltd. Procede et dispositif d'observation d'un objet
JP2000030652A (ja) * 1998-07-10 2000-01-28 Hitachi Ltd 試料の観察方法およびその装置

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