JPS5832198Y2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5832198Y2 JPS5832198Y2 JP1978076588U JP7658878U JPS5832198Y2 JP S5832198 Y2 JPS5832198 Y2 JP S5832198Y2 JP 1978076588 U JP1978076588 U JP 1978076588U JP 7658878 U JP7658878 U JP 7658878U JP S5832198 Y2 JPS5832198 Y2 JP S5832198Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- ray tube
- cathode ray
- deflection
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は走査電子顕微鏡、特に電子線による試料の二次
元走査像をブラウン管に表示するモードと上記電子線を
試料上のある位置に静止させるモードとの切換えを行な
うことのできる走査電子顕微鏡に関する。
元走査像をブラウン管に表示するモードと上記電子線を
試料上のある位置に静止させるモードとの切換えを行な
うことのできる走査電子顕微鏡に関する。
従来の走査電子顕微鏡（以下ＳＥＭと記す）での電子線
静止モードでは、走査像の残像を利用して着目点に電子
線を停止する。
静止モードでは、走査像の残像を利用して着目点に電子
線を停止する。
このとき、ブラウン管の電子線がスポット状であるとブ
ラウン管の螢光面が焼損する恐れがある。
ラウン管の螢光面が焼損する恐れがある。
そこで、ブラウン管の電子線スポットをクロス状に変調
すればブラウン管の焼損を防ぐことができる。
すればブラウン管の焼損を防ぐことができる。
しかし、試料上で電子線を移動するとき、ブラウン管上
ではクロス状変調マークにより走査像が消されてしまう
欠点がある。
ではクロス状変調マークにより走査像が消されてしまう
欠点がある。
したがって本考案の目的は試料上で電子線を移動させる
ときクロス状変調マークにより走査像が消されることの
ない走査電子顕微鏡を提供するにある。
ときクロス状変調マークにより走査像が消されることの
ない走査電子顕微鏡を提供するにある。
第１図は本考案の一実施例を示すもので、電子線１は偏
向コイル２で偏向されながら、対物レンズ３によシ試料
４上にフォーカスする。
向コイル２で偏向されながら、対物レンズ３によシ試料
４上にフォーカスする。
試料４からは二次電子５が発生し、二次電子検出器によ
り検出され、ビデオアンプ１８を通り、ブラウン管１５
のグリッドに導かれる。
り検出され、ビデオアンプ１８を通り、ブラウン管１５
のグリッドに導かれる。
鋸歯状波発生器（Ｘ１７、鋸歯状波発生器（Ｙ）８で発
生した信号はモード切換ＳＷを通り偏向アンプ１７に導
かれ、その出力は、偏向コイル２に供給される。
生した信号はモード切換ＳＷを通り偏向アンプ１７に導
かれ、その出力は、偏向コイル２に供給される。
また一方、前記信号はレベル変化検出器１１、信号合成
回路１２、偏向アンプ１３を通り偏向信号１６となり偏
向コイル１４に供給される。
回路１２、偏向アンプ１３を通り偏向信号１６となり偏
向コイル１４に供給される。
１０はスポット位置設定回路で、これはブラウン管１５
上のクロスマークを移動するとき用いる。
上のクロスマークを移動するとき用いる。
以下、動作説明をすると、鋸歯状波発生器００７゜（Ｙ
）８の信号はＳＥＭ鏡体に組込まれている偏向コイル２
とブラウン管１５の偏向コイル１４に導かれ、電子線１
と図示してないがブラウン管１５の電子線との偏向を行
なう。
）８の信号はＳＥＭ鏡体に組込まれている偏向コイル２
とブラウン管１５の偏向コイル１４に導かれ、電子線１
と図示してないがブラウン管１５の電子線との偏向を行
なう。
偏向コイル２，１４は、それぞれＸ軸上に偏向コイル２
ａ、１６ａ、Ｙ軸上に偏向コイル２ｂ、１６ｂが直交し
て配置されている。
ａ、１６ａ、Ｙ軸上に偏向コイル２ｂ、１６ｂが直交し
て配置されている。
今、ブラウン管１５上に第３図のような二次元走査像を
画くために、モード切換スイッチ９を５ＣＡＮの方に接
続し、電子線１を二次元走査する。
画くために、モード切換スイッチ９を５ＣＡＮの方に接
続し、電子線１を二次元走査する。
ＳＥＭでは一般に残光性の長いブラウン管１５を用いて
いて、ゆっくりとしたラスクー掃引で残像をつくる。
いて、ゆっくりとしたラスクー掃引で残像をつくる。
次に、その残像中の１点に電子線１を止め、その位置の
元素分析などを行うとき、残像と電子線の止まっている
位置の対応を表示する必要がある。
元素分析などを行うとき、残像と電子線の止まっている
位置の対応を表示する必要がある。
この電子線静止モードのときは、ラスターが停止するた
め、ブラウン管１５の螢光体を損傷する恐れがある。
め、ブラウン管１５の螢光体を損傷する恐れがある。
そのために、ブラウン管１５の電子線スポットなＸ、Ｙ
方向にある幅で交互に偏向しブラウン管１５上にクロス
マークを表示する。
方向にある幅で交互に偏向しブラウン管１５上にクロス
マークを表示する。
しかし、クロスマークを別の所に移動するとき、ブラウ
ン管１５上の残像がクロスマーク幅で消されてしまう欠
点がある。
ン管１５上の残像がクロスマーク幅で消されてしまう欠
点がある。
そこで本考案の実施例では、上記クロスマークが次の点
へ移っている時間はＸ、Ｙ方向に変調しているのを止め
、スポット状で移動する。
へ移っている時間はＸ、Ｙ方向に変調しているのを止め
、スポット状で移動する。
このようにすれば電子線スポットは一線上を移動するだ
けであるから、像を失う／ｃＪ酒己はなくなる。
けであるから、像を失う／ｃＪ酒己はなくなる。
これらの動作を第２図〜第５図を用いて説明する。
第２図は試料４０表面を示してむす、第３図は、ブラウ
ン管１５の残像を示す。
ン管１５の残像を示す。
第２図の試料上の電子線位ａ、ｂの座標を（Ｘｌ。
ｙｌ）、（Ｘｌ、ｙｌ）とすると、これに対応する位置
は残像すなわち二次元走査像上Ａ点（Ｘｌ。
は残像すなわち二次元走査像上Ａ点（Ｘｌ。
Ｙｌ）、Ｂ点（Ｘ ２ ｔ Ｙ １ ）となる。
ブラウン管１５のＡ点からスポット位置設定回路１０ａ
でＢ点へ電子線を移動させるとき、クロスマークは移動
している間スポットになって動く。
でＢ点へ電子線を移動させるとき、クロスマークは移動
している間スポットになって動く。
すなわち、スポット位置設定回路１０ａを動かすと、レ
ベル変化検出回路１１ｂがその動き（レベル）を検出し
、鋸歯状波発生器８の信号をｏｆｆにする。
ベル変化検出回路１１ｂがその動き（レベル）を検出し
、鋸歯状波発生器８の信号をｏｆｆにする。
したがって、ブラウン管１５の偏向コイル１４ｂの偏向
信号１６ｂについてはＡ−＋Ｂへの移動時間ｔの間第５
図のよう変調が止まる。
信号１６ｂについてはＡ−＋Ｂへの移動時間ｔの間第５
図のよう変調が止まる。
このとき偏向信号１６ａは第４図のようになる。
第４゜第５図の図中ＶＸｔはＡ点のＸ方向偏向電圧、Ｖ
ＸＺ はＢ点の偏向電圧、Ｖｙｌ はＡ点のＹ方向偏
向電圧である。
ＸＺ はＢ点の偏向電圧、Ｖｙｌ はＡ点のＹ方向偏
向電圧である。
■ｘ、■アはクロスマークをつくるときの偏向電圧であ
る。
る。
本考案によれば、電子線の停止位置を表示するクロスマ
ークは移動するときスポット状になるのでクロスマーク
により走査像が消されることがない０
ークは移動するときスポット状になるのでクロスマーク
により走査像が消されることがない０
第１図は本考案の動作原理を説明する路線図、第２図は
試料上の座標位置説明図、第３図はブラウン管上のクロ
スマーク位置説明図、第４図、第５図は、スポットモー
ド時の偏向信号を示す。 １・・・電子線、２・・・偏向コイル、３・・・対物レ
ンズ、４・・・試料、５・・・二次電子、６・・・二次
電子検出器、Ｉ・・・鋸歯状波発生器■、８・・・鋸歯
状波発生器（１）、９・・・モード切換スイッチ、１０
・・・スポット位置設定回路、１１・・・レベル変化検
出回路、１２・・・信号合成回路、１３・・・偏向アン
プ、１４・・・偏向コイル、１５・・・ブラウン管、１
６・・・偏向信号、１７・・・偏向アンプ、１８・・・
ビデオアンプ、ａ・・・試料上の電子線位置、ｂ・・・
試料上の電子線位置、Ｘ １ ｖ ’ｊ １・・・ａ点
の座標、Ｘｌ、Ｙｌ・・・Ａ点の座標、ｔ・・・Ａ−）
Ｂ点への移動時間、ＶＸｌ ・・・Ａ点の偏向電圧、Ｖ
ＸＺ・・・Ｂ点の偏向電圧、ｖｙｌ・・・Ａ点の偏向電
圧。
試料上の座標位置説明図、第３図はブラウン管上のクロ
スマーク位置説明図、第４図、第５図は、スポットモー
ド時の偏向信号を示す。 １・・・電子線、２・・・偏向コイル、３・・・対物レ
ンズ、４・・・試料、５・・・二次電子、６・・・二次
電子検出器、Ｉ・・・鋸歯状波発生器■、８・・・鋸歯
状波発生器（１）、９・・・モード切換スイッチ、１０
・・・スポット位置設定回路、１１・・・レベル変化検
出回路、１２・・・信号合成回路、１３・・・偏向アン
プ、１４・・・偏向コイル、１５・・・ブラウン管、１
６・・・偏向信号、１７・・・偏向アンプ、１８・・・
ビデオアンプ、ａ・・・試料上の電子線位置、ｂ・・・
試料上の電子線位置、Ｘ １ ｖ ’ｊ １・・・ａ点
の座標、Ｘｌ、Ｙｌ・・・Ａ点の座標、ｔ・・・Ａ−）
Ｂ点への移動時間、ＶＸｌ ・・・Ａ点の偏向電圧、Ｖ
ＸＺ・・・Ｂ点の偏向電圧、ｖｙｌ・・・Ａ点の偏向電
圧。
Claims (1)
- 電子線による試料の二次元走査像をブラウン管に表示す
るモードと上記電子線を試料上のある位置に静止させる
モードとの切換えを行なうことのできる走査電子顕微鏡
において、上記電子線静止モードにあっては上記ブラウ
ン管の電子線スポットがクロス状に変調されるが上記電
子線スポットが移動する間は上記クロス状変調が停止す
るように構成されていることを特徴とする走査電子顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978076588U JPS5832198Y2 (ja) | 1978-06-07 | 1978-06-07 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1978076588U JPS5832198Y2 (ja) | 1978-06-07 | 1978-06-07 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54179053U JPS54179053U (ja) | 1979-12-18 |
| JPS5832198Y2 true JPS5832198Y2 (ja) | 1983-07-16 |
Family
ID=28992013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1978076588U Expired JPS5832198Y2 (ja) | 1978-06-07 | 1978-06-07 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5832198Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5017249A (ja) * | 1973-06-12 | 1975-02-24 |
-
1978
- 1978-06-07 JP JP1978076588U patent/JPS5832198Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5017249A (ja) * | 1973-06-12 | 1975-02-24 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54179053U (ja) | 1979-12-18 |
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