JPS59103258A - 走査型荷電粒子線装置における走査方法およびその装置 - Google Patents
走査型荷電粒子線装置における走査方法およびその装置Info
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- JPS59103258A JPS59103258A JP21219582A JP21219582A JPS59103258A JP S59103258 A JPS59103258 A JP S59103258A JP 21219582 A JP21219582 A JP 21219582A JP 21219582 A JP21219582 A JP 21219582A JP S59103258 A JPS59103258 A JP S59103258A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、走査を電子顕微鏡のごとき走査型荷電粒子線
装置における走査方法およびその装置に関する。
装置における走査方法およびその装置に関する。
従来の走査型電子顕微鏡では、第１図に示すように、電
子銃１から放射された電子ビーム（荷電粒子線）２を集
束コイル３で集束し、二の集束斜ｔたＺ方向に沿う電子
ビーム２をＸ方向偏向機構ＤＸを構成する偏向コイル４
でＸ方向に偏向するとともに、Ｙ方向偏向機構ＤＹを構
成する偏向コイル５で）′方向に偏向して、このように
偏向された電子ビーム２を対物レンズ゛用コイル６で焦
点合わせを施しなから試料（ＩＣパターン等）７」二を
走査させるようになっている。
子銃１から放射された電子ビーム（荷電粒子線）２を集
束コイル３で集束し、二の集束斜ｔたＺ方向に沿う電子
ビーム２をＸ方向偏向機構ＤＸを構成する偏向コイル４
でＸ方向に偏向するとともに、Ｙ方向偏向機構ＤＹを構
成する偏向コイル５で）′方向に偏向して、このように
偏向された電子ビーム２を対物レンズ゛用コイル６で焦
点合わせを施しなから試料（ＩＣパターン等）７」二を
走査させるようになっている。
そして、試料７からの２次電子は、２次電子検出装置り
によって検出され、試料像が表示装置としての７ラウン
管（以下；［ＣＲＴＪという。）８上に映し出される。
によって検出され、試料像が表示装置としての７ラウン
管（以下；［ＣＲＴＪという。）８上に映し出される。
偏向コイル４，５へは、ｍ２図（ａ）、（ｂ）に示すよ
うに、Ｘ方向およびＹ方向へ電子ビーム２を偏向するた
めの鋸歯状波信号Ｈ，Ｖが供給される。
うに、Ｘ方向およびＹ方向へ電子ビーム２を偏向するた
めの鋸歯状波信号Ｈ，Ｖが供給される。
この鋸歯状波信号Ｈ，Ｖは、鋸歯状波発生部としてのス
イープジェネレータ９からの信号なＸ方向偏向用増幅器
（ＡＭＰ）１０ａおよびＹ方向偏向用増幅器（ＡＭＰ）
１０ｂで増幅したものから作られており、信号Ｈの１サ
イクル分の時間幅（周期）はＸｔ、信号■の１サイクル
分の時間幅（周期）は）′ｔとなっている。
イープジェネレータ９からの信号なＸ方向偏向用増幅器
（ＡＭＰ）１０ａおよびＹ方向偏向用増幅器（ＡＭＰ）
１０ｂで増幅したものから作られており、信号Ｈの１サ
イクル分の時間幅（周期）はＸｔ、信号■の１サイクル
分の時間幅（周期）は）′ｔとなっている。
したがって、従来の走査型電子顕微鏡における走査方向
は、第３図に示すように、常にＸ方向の正の向き（左か
ら右へ向かう方向）となり、走査線Ｓρ１がＸ方向の正
の向きに始端Ｐ１から終端Ｐ２まで走査されて、この終
端Ｐ２において、７ランキングがかけられ、次の走査線
Ｓρ２かＸ方向の始端Ｐ３（第３図左方）からＸ方向の
正の向きに走査される。
は、第３図に示すように、常にＸ方向の正の向き（左か
ら右へ向かう方向）となり、走査線Ｓρ１がＸ方向の正
の向きに始端Ｐ１から終端Ｐ２まで走査されて、この終
端Ｐ２において、７ランキングがかけられ、次の走査線
Ｓρ２かＸ方向の始端Ｐ３（第３図左方）からＸ方向の
正の向きに走査される。
なお、走査線Ｓρ２は、信号Ｖの傾ぎで決まる所定量た
け走査線Ｓρ１からＹ方向の正の向き（上から下へ向か
う方向）にずれて走査され、このような各走査は順次行
なわれる。
け走査線Ｓρ１からＹ方向の正の向き（上から下へ向か
う方向）にずれて走査され、このような各走査は順次行
なわれる。
また、この従来の走査型電子顕微鏡における走査手段で
は、第３図に示すように、その試料７上をＸ方向に短周
期側の走査を行なっており、Ｙ方向に長周期側の走査を
行なっている。
は、第３図に示すように、その試料７上をＸ方向に短周
期側の走査を行なっており、Ｙ方向に長周期側の走査を
行なっている。
そして、Ｘ方向における走査は、常に、一定方向となっ
ており、ここでは第３図の左から右へ行なわれている。
ており、ここでは第３図の左から右へ行なわれている。
なお、時間幅Ｘｔか時間幅Ｙｔより十分小さければ、走
査線ｓＱはほばＸ方向になる。
査線ｓＱはほばＸ方向になる。
しかしながら、このような従来の走査手段では、第４図
（ａ）に示すような試料としてのＩＣパターン７の測長
を行なう場合、そのパターン幅ρをＸ方向に走査した場
合の２次電子検出信号が、第４図（ｂ）に示すごとく観
測され、パターン幅信号Ｓのどの範囲Ｌ１〜Ｌ２を測定
幅として採用してよいのか問題となり、これにより正確
な測長を行なえないという問題点がある。
（ａ）に示すような試料としてのＩＣパターン７の測長
を行なう場合、そのパターン幅ρをＸ方向に走査した場
合の２次電子検出信号が、第４図（ｂ）に示すごとく観
測され、パターン幅信号Ｓのどの範囲Ｌ１〜Ｌ２を測定
幅として採用してよいのか問題となり、これにより正確
な測長を行なえないという問題点がある。
この波形のみだれは、第５図に示すように、電子ビーム
２が試料７に照射された際に、試料７を構成する絶縁物
の物性によって、絶縁物表面での帯電量が変化すること
により引き起こされる。
２が試料７に照射された際に、試料７を構成する絶縁物
の物性によって、絶縁物表面での帯電量が変化すること
により引き起こされる。
すなわち、照射される物質表面で電子ビーム２により発
生する２次電子量（信号量）が時開的に変化するので、
電子ビーム２の走査方向によって、波形のみだれが生じ
るのである。
生する２次電子量（信号量）が時開的に変化するので、
電子ビーム２の走査方向によって、波形のみだれが生じ
るのである。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
、走査方向および絶縁物の物性によって生しる信号の波
形のみだれを補正しうるようにした、走査型荷電粒子線
装置における走査方法およびその装置で提供することを
目的とする。
、走査方向および絶縁物の物性によって生しる信号の波
形のみだれを補正しうるようにした、走査型荷電粒子線
装置における走査方法およびその装置で提供することを
目的とする。
このため、本発明の走査方法は、荷電粒子線を試料上で
Ｘ方向およびＹ方向に走査させる走査型荷電粒子線装置
において、同荷電粒子線のＸ方向における走査の終端で
、Ｘ方向における走査の方向を反転することにより、上
記荷電粒子線をＸ方向に対して往復走査させることを特
徴としている。
Ｘ方向およびＹ方向に走査させる走査型荷電粒子線装置
において、同荷電粒子線のＸ方向における走査の終端で
、Ｘ方向における走査の方向を反転することにより、上
記荷電粒子線をＸ方向に対して往復走査させることを特
徴としている。
また、本発明の走査装置は、荷電粒子線を試料上で２次
元的に走査すべく、同荷電粒子線を発生する荷電粒子線
発生装置と、上記荷電粒子線をＸ方向に偏向するＸ方向
偏向機構と、上記荷電粒子線をＹ方向に偏向するＹ方向
偏向機構とをそなえた走査型荷電粒子線装置において、
上記荷電粒子線をＸ方向に対して往復走査させるべく、
上記Ｘ方向偏向機構に三角波信号を発生する三角波発生
部か設けられたことを特徴としている。
元的に走査すべく、同荷電粒子線を発生する荷電粒子線
発生装置と、上記荷電粒子線をＸ方向に偏向するＸ方向
偏向機構と、上記荷電粒子線をＹ方向に偏向するＹ方向
偏向機構とをそなえた走査型荷電粒子線装置において、
上記荷電粒子線をＸ方向に対して往復走査させるべく、
上記Ｘ方向偏向機構に三角波信号を発生する三角波発生
部か設けられたことを特徴としている。
以下、図面により本発明の走査型荷電粒子線装置におけ
る走査方法および走査装置の大施例について説明すると
、第６〜８図は本発明の第１実施例としての走査方法を
示すもので・、第６図（ａ）、（ｂ）および第７図（ａ
）。
る走査方法および走査装置の大施例について説明すると
、第６〜８図は本発明の第１実施例としての走査方法を
示すもので・、第６図（ａ）、（ｂ）および第７図（ａ
）。
（ｂ）はいずれも各部の信号を示すグラフ、第８図はそ
の走査状態を示す走査線の侯弐図であり、第９，１０図
は本発明の第１実施例として走査方法の実施に直接使用
する走査装置を示すもので、第９図はその電気回路図、
第１０図（ａ）〜（ｅ）はいずれもその各部の信号を示
すグラフであり、第１１．１２図は本発明の第２実施例
として走査方法を示すもので、第１１図（ａ）、（ｂ）
はいずれも各部の信号を示すグラフ、第１２図はその走
査状態を示す走査線の模式図である。なお、１６〜１２
図中、第１〜５図と同じ符号はほぼ同様のものを示す。
の走査状態を示す走査線の侯弐図であり、第９，１０図
は本発明の第１実施例として走査方法の実施に直接使用
する走査装置を示すもので、第９図はその電気回路図、
第１０図（ａ）〜（ｅ）はいずれもその各部の信号を示
すグラフであり、第１１．１２図は本発明の第２実施例
として走査方法を示すもので、第１１図（ａ）、（ｂ）
はいずれも各部の信号を示すグラフ、第１２図はその走
査状態を示す走査線の模式図である。なお、１６〜１２
図中、第１〜５図と同じ符号はほぼ同様のものを示す。
第６〜８図に示すように、本発明の第１実施例としての
走査型荷電粒子線装置における走査方法は、電子ビーム
２の短周期側の走査方向であるＸ方向における走査の終
端で、Ｘ方向における走査の方向を反転させるようにな
っている。
走査型荷電粒子線装置における走査方法は、電子ビーム
２の短周期側の走査方向であるＸ方向における走査の終
端で、Ｘ方向における走査の方向を反転させるようにな
っている。
すなわち、第８図に示すように、その走査方向は、Ｘ方
向の正の向ぎ（左から右へ向かう方向）および負の内外
（右から左へ向かう方向）になっていて、走査線ＳＬ、
がＸ方向の正の向きに始端Ｑ１から終端Ｑ２４で走査し
た後、ブランキングがかけられ、次の走査線ＳＬ２が、
第７図（ｂ）に示す信号ＥＶ、の傾きとブランキングの
時間幅とで決まる所要量だけ終端Ｑ２からＹ方向の正の
向き（上から下へ向かう方向）にずれた位置Ｑ２’ を
始端として、この始端Ｑ２’から位置Ｑ３までＸ方向の
負の向きに走査される。
向の正の向ぎ（左から右へ向かう方向）および負の内外
（右から左へ向かう方向）になっていて、走査線ＳＬ、
がＸ方向の正の向きに始端Ｑ１から終端Ｑ２４で走査し
た後、ブランキングがかけられ、次の走査線ＳＬ２が、
第７図（ｂ）に示す信号ＥＶ、の傾きとブランキングの
時間幅とで決まる所要量だけ終端Ｑ２からＹ方向の正の
向き（上から下へ向かう方向）にずれた位置Ｑ２’ を
始端として、この始端Ｑ２’から位置Ｑ３までＸ方向の
負の向きに走査される。
そして、同様にしてこの走査線ＳＬ２の終端Ｑ３（第８
図の左方）からＹ方向へずれた位置が、次の走査線ＳＬ
：ｌの始端Ｑ３’ となる。
図の左方）からＹ方向へずれた位置が、次の走査線ＳＬ
：ｌの始端Ｑ３’ となる。
このようにして、走査線ＳＬのＸ方向における走査の方
向を、その終端で反転させることにより、電子ビーム２
をＸ方向に対して往復走査させることができる。
向を、その終端で反転させることにより、電子ビーム２
をＸ方向に対して往復走査させることができる。
このような往復走査における偏向は、第７図（、）およ
び（ｂ）に示すように、Ｘ方向偏向用信号ＥＨ，および
Ｙ方向偏向用信号ＥＶ、を偏向用部材１０ａ、１０ｂを
介して各偏向コイル４．５に供給することによって行な
うことができる。
び（ｂ）に示すように、Ｘ方向偏向用信号ＥＨ，および
Ｙ方向偏向用信号ＥＶ、を偏向用部材１０ａ、１０ｂを
介して各偏向コイル４．５に供給することによって行な
うことができる。
第９．１０図は、本発明の第１実施例としての走査方法
の実施に直接使用する走査装置を示すもので、鋸歯状波
発生部としてのスイープジェネレータ９からのＸ方向鋸
歯状波信号Ｈは、三角波発生部Ｍを構成する連動スイッ
チ部１１のスイッチＳＷＩに供給されるとともに、符号
反転器１２に供給されるようになっていて、この符号反
転器１２に供給された信号Ｈは符号反転されて反転信号
Ｈ′となり［第１０図（ａ）破線参照１、連動スイッチ
部１１のスイッチＳＷ２に供給される。
の実施に直接使用する走査装置を示すもので、鋸歯状波
発生部としてのスイープジェネレータ９からのＸ方向鋸
歯状波信号Ｈは、三角波発生部Ｍを構成する連動スイッ
チ部１１のスイッチＳＷＩに供給されるとともに、符号
反転器１２に供給されるようになっていて、この符号反
転器１２に供給された信号Ｈは符号反転されて反転信号
Ｈ′となり［第１０図（ａ）破線参照１、連動スイッチ
部１１のスイッチＳＷ２に供給される。
連動スイッチ部１１のスイッチＳＷＩ、ＳＷ２の各制御
部１１ｎ、ｌｌｂへは、同期信号Ｃ［第１０図（ｂ）参
照］を１／２分周器１３で分周された制御信号Ｃ８１お
よびこの信号Ｃ８１をインバータ１４で反転した制御信
号Ｃ８２が選択的に供給される。［第１０図（ｅ）、（
ｃｌ）参照１ また、スイープジェネレータ９および三角波発生部Ｍと
、Ｘ方向偏向用増幅器１０ａとの開には、スイープジェ
ネレータ９側または三角波発生部Ｍ側のいずれかに切換
えうる切換スイッチ１５が介装されている。
部１１ｎ、ｌｌｂへは、同期信号Ｃ［第１０図（ｂ）参
照］を１／２分周器１３で分周された制御信号Ｃ８１お
よびこの信号Ｃ８１をインバータ１４で反転した制御信
号Ｃ８２が選択的に供給される。［第１０図（ｅ）、（
ｃｌ）参照１ また、スイープジェネレータ９および三角波発生部Ｍと
、Ｘ方向偏向用増幅器１０ａとの開には、スイープジェ
ネレータ９側または三角波発生部Ｍ側のいずれかに切換
えうる切換スイッチ１５が介装されている。
すなわち切換スイッチ１５は、第９図中の符号Ｂ側のと
き、三角波発生部Ｍからの三角波ＥＨ，Ｉｆｊ＆１０図
（ｅ）参照］をＸ方向偏向用信号ＥＨとしてＸ方向偏向
機構ＤＸを構成するＸ方向偏向用増幅器１０ａへ供給し
、同図中の符号Ａ側のとき、スイープジェネレータ９か
らのＸ方鋸歯状波ＨをＸ方向偏向用信号ＥＨとしてＸ方
向偏向用増幅器１０ａへ供給するようになっている。
き、三角波発生部Ｍからの三角波ＥＨ，Ｉｆｊ＆１０図
（ｅ）参照］をＸ方向偏向用信号ＥＨとしてＸ方向偏向
機構ＤＸを構成するＸ方向偏向用増幅器１０ａへ供給し
、同図中の符号Ａ側のとき、スイープジェネレータ９か
らのＸ方鋸歯状波ＨをＸ方向偏向用信号ＥＨとしてＸ方
向偏向用増幅器１０ａへ供給するようになっている。
なお、スイープジェネレータ９からのＹ方向鋸歯状波■
は、Ｙ方向偏向機構ＤＹを構成するＹ方向偏向用増幅器
１０ｂへ供給される。
は、Ｙ方向偏向機構ＤＹを構成するＹ方向偏向用増幅器
１０ｂへ供給される。
このようにして、走査方向がＸ方向の正の向きであると
き、第６図＜ａ＞に実線で示す信号Ｓが得られ、走査方
向がＸ方向の負の向きであるときには、第６図（ａ）に
破線で示す信号Ｓ′が得られる。
き、第６図＜ａ＞に実線で示す信号Ｓが得られ、走査方
向がＸ方向の負の向きであるときには、第６図（ａ）に
破線で示す信号Ｓ′が得られる。
これらの信号ｓ、ｓ’の各レベルを従来周知の技術によ
って、加え合わせることにより、第６図（ｂ）に示すよ
うな合成信号ＭＳを得ることができる。
って、加え合わせることにより、第６図（ｂ）に示すよ
うな合成信号ＭＳを得ることができる。
すなわち、走査線ＳＬの１本分の信号Ｓを、図示しない
Ａ／Ｉ）変換器を介してメモリー等に記憶させて、さら
に、走査線ＳＬの１本分の信号Ｓ′をメモリーに記憶さ
せる。
Ａ／Ｉ）変換器を介してメモリー等に記憶させて、さら
に、走査線ＳＬの１本分の信号Ｓ′をメモリーに記憶さ
せる。
このとき、位置に対応したアドレスを設定しておけば、
メモリーの内容を第６図（ｂ）に示すように加算して、
合成波形ＭＳを得ることができ、この波形は左右対称に
なる。
メモリーの内容を第６図（ｂ）に示すように加算して、
合成波形ＭＳを得ることができ、この波形は左右対称に
なる。
そして、この波形か呟その立上がりおよび立下がり時に
おける最大値と最小値との差を１００％としたときのＥ
％（Ｅ＜１００）をスレッショルドとして、波形比較を
行なえば、パターンの幅ρ［第４図（ａ）参照］を測長
することができ、このＥの値は、試料の物性によって、
変更して与えることができるので、より正確な測長な行
なえる。
おける最大値と最小値との差を１００％としたときのＥ
％（Ｅ＜１００）をスレッショルドとして、波形比較を
行なえば、パターンの幅ρ［第４図（ａ）参照］を測長
することができ、このＥの値は、試料の物性によって、
変更して与えることができるので、より正確な測長な行
なえる。
ｇｉｉ図（ａ）、（ｂ）および第１２図に示すように、
本発明の第２実施例としての走査方法では、荷電粒子線
の短周期側の走査方向であるＸ方向における走査の終端
で、Ｘ方向における走査の方向を反転させるようになっ
ている。なお、第１１．１２図中、Ｉ’Ｓ１〜１０図と
同じ符号はほぼ同様のものを示す。
本発明の第２実施例としての走査方法では、荷電粒子線
の短周期側の走査方向であるＸ方向における走査の終端
で、Ｘ方向における走査の方向を反転させるようになっ
ている。なお、第１１．１２図中、Ｉ’Ｓ１〜１０図と
同じ符号はほぼ同様のものを示す。
第１２図に示すように、その走査方向は、Ｘ方向の正の
向トおよび負の向きになっていて、走査線ＳＬ’ 。
向トおよび負の向きになっていて、走査線ＳＬ’ 。
がＸ方向の正の向きに始端Ｒ１から終端Ｒ２＊で走査し
た後、この終端Ｒ２において、ブランキングがかけられ
、次の走査線ＳＬ’ ２がこの終端Ｒ２を始端としてＸ
方向の負の向きに同一線上を位置Ｒ１まで走査される。
た後、この終端Ｒ２において、ブランキングがかけられ
、次の走査線ＳＬ’ ２がこの終端Ｒ２を始端としてＸ
方向の負の向きに同一線上を位置Ｒ１まで走査される。
このようにして、この往復走査により、同じ走査箇所に
電子ビーム２が照射される。すなわち、走査線ＳＬ’、
と走査線ＳＬ’ ２とは試料７の同じ部分を走査するこ
とになる。
電子ビーム２が照射される。すなわち、走査線ＳＬ’、
と走査線ＳＬ’ ２とは試料７の同じ部分を走査するこ
とになる。
次いで、走査線ＳＬ′２の終端Ｒ１（第１２図の左方）
からＹ方向へずれた位置が、次の走査線ＳＬ’ ３の始
ＱＲ３となる。このＹ方向へのずれは、適宜決定された
一定値である。
からＹ方向へずれた位置が、次の走査線ＳＬ’ ３の始
ＱＲ３となる。このＹ方向へのずれは、適宜決定された
一定値である。
このようにして、走査線ＳＬ’はＸ方向における走査の
方向を、その終端で反転することにより、電子ビーム２
をＸ方向に対して往復走査させることができる。
方向を、その終端で反転することにより、電子ビーム２
をＸ方向に対して往復走査させることができる。
このような往復走査における偏向は、第１１図（、）お
よび（ｂ）に示すように、Ｘ方向偏向用信号ＥＨ２およ
び階段状Ｙ方向偏向用信号Ｅ■２を偏向用部材１０ａ。
よび（ｂ）に示すように、Ｘ方向偏向用信号ＥＨ２およ
び階段状Ｙ方向偏向用信号Ｅ■２を偏向用部材１０ａ。
１０ｂを介して各偏向コイル４，５に供給することによ
りて行なうことがでトる。
りて行なうことがでトる。
この場合も、前述の第１実施例の場合と同様にして、走
査方向がＸ方向の正の内外であるとき、第６図（ａ）に
実線で示す信号Ｓが得られ、走査方向がＸ方向の負の向
トであるときには、第６図（、）に破線で示す信号Ｓ′
が得られる。
査方向がＸ方向の正の内外であるとき、第６図（ａ）に
実線で示す信号Ｓが得られ、走査方向がＸ方向の負の向
トであるときには、第６図（、）に破線で示す信号Ｓ′
が得られる。
そして、これらの信号ｓ、ｓ’の各レベルを従来周知の
技術によって、加え合わせることにより、第１実施例の
走査方法と同様に、第６図（ｂ）に示すような合成信号
ＭＳを得ることができる。
技術によって、加え合わせることにより、第１実施例の
走査方法と同様に、第６図（ｂ）に示すような合成信号
ＭＳを得ることができる。
以上詳述したように、本発明の走査型荷電粒子線発生装
置における走査方法によれば、Ｘ方向における走査の終
端で、Ｘ方向における走査の方向を反転することにより
、荷電粒子線をＸ方向に対して往復走査させることが行
なわれるので、走査方向および絶縁物の物性によらず左
右対称の信号を得ることができ、これにより信号の波形
みだれを十分に補正できる利点がある。
置における走査方法によれば、Ｘ方向における走査の終
端で、Ｘ方向における走査の方向を反転することにより
、荷電粒子線をＸ方向に対して往復走査させることが行
なわれるので、走査方向および絶縁物の物性によらず左
右対称の信号を得ることができ、これにより信号の波形
みだれを十分に補正できる利点がある。
また、本発明の走査型荷電粒子線発生装置における走査
装置では、荷電粒子線をＸ方向に対して往復走査させる
べく、Ｘ方向偏向機構に三角波信号を発生する三角波発
生部が設けられるという簡素な構成で、本発明の走査方
法を容易にしかも確実に実現することができ、２次電子
放出率の異なった試料においても、その表面に金コーテ
ィングを施すことなく左右対称な信号を得ることができ
る利点がある。
装置では、荷電粒子線をＸ方向に対して往復走査させる
べく、Ｘ方向偏向機構に三角波信号を発生する三角波発
生部が設けられるという簡素な構成で、本発明の走査方
法を容易にしかも確実に実現することができ、２次電子
放出率の異なった試料においても、その表面に金コーテ
ィングを施すことなく左右対称な信号を得ることができ
る利点がある。
また、本発明の走査装置では、加速電圧を、波形みだれ
に無関係に適切な値に設定でき、これによりこの走査装
置をＩＣパターン等の線幅の測長に用いた場合にも、極
めて精度の高い測長を行なうことができる。
に無関係に適切な値に設定でき、これによりこの走査装
置をＩＣパターン等の線幅の測長に用いた場合にも、極
めて精度の高い測長を行なうことができる。
第１〜５図は従来の走査型電子顕微鏡における走査手段
を示すもので、第１図はその全体構成図、第２図（ａ）
、仙）はいずれもその作用を示すグラフ、第３図はその
走査方向を示す説明図、第４図（、）はその試料を示す
模式図、第４図（ｂ）はその検出信号を示すグラフ、第
５図はその作用を説明するための模式図であり、第６〜
８図は本発明の第１実施例としての走査方法を示すもの
で、第６図（ａ）、（ｂ）および第７図（ａ）、（ｂ）
はいずれも各部の信号を示すグラフ、第８図はその走査
状態を示す走査線の模式図であり、第９，１０図は本発
明の第１実施例として走査方法の実施に直接使用する走
査装置を示すもので、第９図はその電気回路図、第１０
図（、）〜（ｅ）はいずれもその各部の信号を示すグラ
フであり、第ｉ ｉ、ｉ ２図は本発明の第２実施例と
して走査方法を示すもので、第１１図（ａ）、（ｂ）は
いずれも各部の信号を示すグラフ、第１２図はその走査
状態を示す走査線の模式図である。 １・・荷電粒子線発生装置としての電子銃、２・・電子
ビーム（荷電粒子線）、３・・集束コイル、４．５・・
偏向コイル、６・・対物レンズ用コイル、７・・試料（
ＩＣパターン）、８・・ＣＲＴ（ブラウン管）、９・・
鋸歯状波発生部としてのスイープジェネレータ、１０ａ
・・Ｘ方向偏向用増幅器（ＡＭＰ）、１０ｂ−−Ｙ方向
偏向用増幅器（ＡＭＰ）、１１・・連動スイッチ部、１
１ａ、１１ｂ・・制御部、１２・・符号反転器、１３・
・１／２分周器、１４・・インバータ、１５・・切換ス
イッチ、Ｄ・・２次電子検出装置、ＤＸ・・Ｘ方向偏向
機構、ＤＹ・・Ｙ方向偏向機構、Ｍ・・三角波発生部、
Ｑｌ、Ｑ２’ 、Ｑ３’ ・・走査線の始端、Ｑ２゜
Ｑ３・・走査線の終端、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３・・走査線の
始端および終端、ＳＬ、ＳＬ、、ＳＬ２．ＳＬ、、ＳＬ
’ 。 ＳＬ’ 、、ＳＬ’ ２．ＳＬ’ 、・・走査線、ＳＷ
Ｉ、ＳＷ２・・スイッチ。 代理人 弁理士 飯沼義彦 第１図 第２図 時間→ 第 ３ 図 第４図 菜５図 （ 第６図 位置 → 第７図 第８図 第９区
を示すもので、第１図はその全体構成図、第２図（ａ）
、仙）はいずれもその作用を示すグラフ、第３図はその
走査方向を示す説明図、第４図（、）はその試料を示す
模式図、第４図（ｂ）はその検出信号を示すグラフ、第
５図はその作用を説明するための模式図であり、第６〜
８図は本発明の第１実施例としての走査方法を示すもの
で、第６図（ａ）、（ｂ）および第７図（ａ）、（ｂ）
はいずれも各部の信号を示すグラフ、第８図はその走査
状態を示す走査線の模式図であり、第９，１０図は本発
明の第１実施例として走査方法の実施に直接使用する走
査装置を示すもので、第９図はその電気回路図、第１０
図（、）〜（ｅ）はいずれもその各部の信号を示すグラ
フであり、第ｉ ｉ、ｉ ２図は本発明の第２実施例と
して走査方法を示すもので、第１１図（ａ）、（ｂ）は
いずれも各部の信号を示すグラフ、第１２図はその走査
状態を示す走査線の模式図である。 １・・荷電粒子線発生装置としての電子銃、２・・電子
ビーム（荷電粒子線）、３・・集束コイル、４．５・・
偏向コイル、６・・対物レンズ用コイル、７・・試料（
ＩＣパターン）、８・・ＣＲＴ（ブラウン管）、９・・
鋸歯状波発生部としてのスイープジェネレータ、１０ａ
・・Ｘ方向偏向用増幅器（ＡＭＰ）、１０ｂ−−Ｙ方向
偏向用増幅器（ＡＭＰ）、１１・・連動スイッチ部、１
１ａ、１１ｂ・・制御部、１２・・符号反転器、１３・
・１／２分周器、１４・・インバータ、１５・・切換ス
イッチ、Ｄ・・２次電子検出装置、ＤＸ・・Ｘ方向偏向
機構、ＤＹ・・Ｙ方向偏向機構、Ｍ・・三角波発生部、
Ｑｌ、Ｑ２’ 、Ｑ３’ ・・走査線の始端、Ｑ２゜
Ｑ３・・走査線の終端、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３・・走査線の
始端および終端、ＳＬ、ＳＬ、、ＳＬ２．ＳＬ、、ＳＬ
’ 。 ＳＬ’ 、、ＳＬ’ ２．ＳＬ’ 、・・走査線、ＳＷ
Ｉ、ＳＷ２・・スイッチ。 代理人 弁理士 飯沼義彦 第１図 第２図 時間→ 第 ３ 図 第４図 菜５図 （ 第６図 位置 → 第７図 第８図 第９区
Claims (3)
- （１） 荷電粒子線を試料上でＸ方向およびＸ方向に
走査させる走査型荷電粒子線装置において、同荷電粒子
線のＸ方向における走査の終端で、Ｘ方向における走査
の方向を反転することにより、上記荷電粒子線をＸ方向
に対して往復走査させることを特徴とする、走査型荷電
粒子線装置における走査方法。 - （２） 荷電粒子線を試料上で２次元的に走査すべく
、同荷電粒子線を発生する荷電粒子線発生装置と、上記
荷電粒子線をＸ方向に偏向するＸ方向偏向機構と、上記
荷電粒子線をＹ方向に偏向するＸ方向偏向機構とをそな
えた走査型荷電粒子線装置において、上記荷電粒子線を
Ｘ方向に対して往復走査させるべく、上記Ｘ方向偏向機
構に三角波信号を発生する三角波発生部か設けられたこ
とを特徴とする、走査型荷電粒子線装置における走査装
置。 - （３） 上記Ｘ方向偏向機構が、上記三角波発生部と
、鋸歯状波信号を発生する鋸歯状波発生部と、上記三角
波発生部からの三角波信号および上記鋸歯状波発生部か
らの鋸歯状波信号のうちの一方を受けて上記荷電粒子線
を偏向しうるＸ方向偏向コイルと、同Ｘ方向偏向コイル
に上記の三角波信号および鋸歯状波信号のうちの一方を
選択的に供給しうる切換スイ・ンチとで構成された、特
許請求の範囲第２項に記載の走査型荷電粒子線装置にお
ける走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21219582A JPS59103258A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 走査型荷電粒子線装置における走査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21219582A JPS59103258A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 走査型荷電粒子線装置における走査方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59103258A true JPS59103258A (ja) | 1984-06-14 |
Family
ID=16618491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21219582A Pending JPS59103258A (ja) | 1982-12-03 | 1982-12-03 | 走査型荷電粒子線装置における走査方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59103258A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63226868A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-21 | Hitachi Ltd | 検査方法および装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55126952A (en) * | 1979-03-23 | 1980-10-01 | Jeol Ltd | Scanning method in scanning type electron microscope |
| JPS5688247A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-17 | Jeol Ltd | Electron beam picture displaying method and its device |
-
1982
- 1982-12-03 JP JP21219582A patent/JPS59103258A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55126952A (en) * | 1979-03-23 | 1980-10-01 | Jeol Ltd | Scanning method in scanning type electron microscope |
| JPS5688247A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-17 | Jeol Ltd | Electron beam picture displaying method and its device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63226868A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-21 | Hitachi Ltd | 検査方法および装置 |
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