JPS6080658U - 走査電子顕微鏡等の像表示装置 - Google Patents

走査電子顕微鏡等の像表示装置

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JPS6080658U
JPS6080658U JP17271883U JP17271883U JPS6080658U JP S6080658 U JPS6080658 U JP S6080658U JP 17271883 U JP17271883 U JP 17271883U JP 17271883 U JP17271883 U JP 17271883U JP S6080658 U JPS6080658 U JP S6080658U
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JP
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scanning electron
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electron microscopes
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Application number
JP17271883U
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Inventor
健二 小原
Original Assignee
日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例装置を示す構成図、第２図及
び第３図は第１図の一実施例装置で使用される入力手段
の構成図、第４図は本発明を説明するための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、４：試料、
５ｘ、５ｙ：偏向コイル、６：走査信号発生回路、７：
倍率切り換え回路、８：加算回路、９：陰極線管、１０
：二次電子検出器、１１：マーク加算回路、１２：試料
ステージ、１３ｘｇ１３ｙ：パルスモータ、１４：駆動
回路、１５：制御回路、１６：視野移動手段、１７：マ
ーク制御手段、１８：記憶回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 観察対象物に想定した座標系における任意な座標範囲内
    の像を表示手段に表示する装置において、任意の座標位
    置を記憶する手段と、前記表示手段に表示される像の座
    標範囲内に前記記憶手段に記憶された座標位置が含まれ
    ている場合には、その座標位置に対応する表示像内の位
    置にマークを表示する手段を設けた走査電子顕微鏡等の
    像表示装置。
JP17271883U 1983-11-08 1983-11-08 走査電子顕微鏡等の像表示装置 Pending JPS6080658U (ja)

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JPS6080658U true JPS6080658U (ja) 1985-06-04

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