JPS60101370U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

Info

Publication number
JPS60101370U
JPS60101370U JP19480483U JP19480483U JPS60101370U JP S60101370 U JPS60101370 U JP S60101370U JP 19480483 U JP19480483 U JP 19480483U JP 19480483 U JP19480483 U JP 19480483U JP S60101370 U JPS60101370 U JP S60101370U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electron microscope
observation
designated
field
microscope image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19480483U
Other languages
English (en)
Inventor
健二 小原
Original Assignee
日本電子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP19480483U priority Critical patent/JPS60101370U/ja
Publication of JPS60101370U publication Critical patent/JPS60101370U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す略図、第２図、第３図
及び第４図は第１図の装置の動作を説明するための図で
ある。 １：電子銃、２：電子線、３，４：集束レンズ、５：試
料、６：倍率回路、７：走査回路、８．９：偏向コイル
、１０：検出器、１１：加算回路、１２：陰極線管、１
３：試料ステージ、１４．１５：パルスモータ、１６：
駆動回路、１７：制御回路、１８：記憶手段、１９：操
作回路。 ｌ？々 １

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子顕微鏡像を表示する表示手蒔と、電子顕微鏡像の倍
    率を可変する倍率指定手段と、電子顕微鏡像の視野を移
    動させる視野移動手段と、該表示手段に表示された観察
    像内に新たに観察領域を指定する観察領域指定手段と、
    該観察領域指定手段で指定された領域に対応する試料面
    に想定した座２標系の観察指定領域の座標を記憶する記
    憶手段と、前記記憶手段に記憶された観察指定領域の座
    標データに基づいて前記視野移動手段を制御して観察指
    定領域内のみを部室可能に制御する制御手段とを備えた
    ことを特徴とする走査電子顕微鏡。
JP19480483U 1983-12-16 1983-12-16 走査電子顕微鏡 Pending JPS60101370U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19480483U JPS60101370U (ja) 1983-12-16 1983-12-16 走査電子顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19480483U JPS60101370U (ja) 1983-12-16 1983-12-16 走査電子顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60101370U true JPS60101370U (ja) 1985-07-10

Family

ID=30418602

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19480483U Pending JPS60101370U (ja) 1983-12-16 1983-12-16 走査電子顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60101370U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60101370U (ja) 走査電子顕微鏡
JPH0613011A (ja) 電子顕微鏡の試料位置制御装置
JPS60124852U (ja) 電子線装置
JPS6080658U (ja) 走査電子顕微鏡等の像表示装置
JPS6311614U (ja)
JPS5941967U (ja) 走査電子顕微鏡等における試料位置表示装置
JPS6010048Y2 (ja) 電子線プロ−ブ装置の試料位置設定装置
JPS59138162U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS63118643A (ja) 結晶方位分布像を得る走査電子顕微鏡又は類似装置
JPS6151658U (ja)
JPH0425803Y2 (ja)
JPH0782827B2 (ja) 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置
JPH0197359A (ja) 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置
JPH0139393Y2 (ja)
JPS59150155U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS59134259U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS60126968U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58144753U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS60138252U (ja) 粒子線装置における試料画像表示装置
JPS62257115A (ja) マイクロマニピユレ−タのオ−トフオ−カス装置
JPS6033751U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS594408U (ja) 透過電子顕微鏡
JPS60101371U (ja) 像撮影装置
JPS616252U (ja) 電子線装置
JPS5979970U (ja) 走査電子顕微鏡及び類似装置