JPS5941967U - 走査電子顕微鏡等における試料位置表示装置 - Google Patents

走査電子顕微鏡等における試料位置表示装置

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JPS5941967U
JPS5941967U JP13748082U JP13748082U JPS5941967U JP S5941967 U JPS5941967 U JP S5941967U JP 13748082 U JP13748082 U JP 13748082U JP 13748082 U JP13748082 U JP 13748082U JP S5941967 U JPS5941967 U JP S5941967U
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JP
Japan
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sample
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scanning electron
position display
sample position
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JP13748082U
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Inventor
小管　孝男
原口　明彦
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日本電子テクニクス株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例のブロック線図である。 １：試料室、２：電子カラム、３：試料移動機構、４：
試料ホルダー、５：試料、６：試料水平・上下動駆動装
置、７：試料傾斜駆動装置、８：陰極線管、９：表示制
御回路、１０：試料室内壁に対応する図形、１１：試料
に対応する図形、１２：試料サイズ指定装置、１′３：
電子線検出器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料室内に置かれた試料を水平方向、上下方向へ移動或
    いは任意角度に傾斜移動するに際し、該各試料移動によ
    る位置を検出し、前記試料室の内壁形状に対応する図形
    を陰極線管に描画せしめ、該陰極線管の図形内に試料又
    は試料ホルダーに対応する図形を描画し、該試料又は試
    料ホルダーの図形の位置を前記検出した試料の位置に基
    づく信号により制御するように構成した走査電子顕微鏡
    等における試料位置表示装置。
JP13748082U 1982-09-09 1982-09-09 走査電子顕微鏡等における試料位置表示装置 Granted JPS5941967U (ja)

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JPH0228605Y2 JPH0228605Y2 (ja) 1990-07-31

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Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013183573A1 (ja) * 2012-06-08 2013-12-12 株式会社 日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置

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JP5537737B2 (ja) * 2012-06-08 2014-07-02 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置
US9129773B2 (en) 2012-06-08 2015-09-08 Hitachi High-Technologies Corporation Charged particle beam apparatus

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JPH0228605Y2 (ja) 1990-07-31

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