JPS64259U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS64259U JPS64259U JP9459887U JP9459887U JPS64259U JP S64259 U JPS64259 U JP S64259U JP 9459887 U JP9459887 U JP 9459887U JP 9459887 U JP9459887 U JP 9459887U JP S64259 U JPS64259 U JP S64259U
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- JP
- Japan
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- sample
- charged particle
- particle beam
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- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す走査電子顕微
鏡のブロツク図を示す。 ２……電子線、３……ブランキング板、４……
絞り、７……試料、８……ステージ、１４……偏
向信号発生器、１６……画像メモリ、２１……コ
ンピユータ。
鏡のブロツク図を示す。 ２……電子線、３……ブランキング板、４……
絞り、７……試料、８……ステージ、１４……偏
向信号発生器、１６……画像メモリ、２１……コ
ンピユータ。
Claims (1)
- 荷電粒子線を試料に照射しないようにする手段
と、該荷電粒子線による試料の像を記憶する画像
メモリと、該画像メモリの内容を表示画面に表示
する手段と、前記像視野を移動する手段よりなる
荷電粒子線装置において、任意の予め設定した位
置に視野移動している間、荷電粒子線を試料に照
射しないようにし、前記設定した位置に視野移動
後、前記試料の像を前記画像メモリに記憶するに
必要な時間、試料に荷電粒子線を自動的に照射す
るようにしたことを特徴とした荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9459887U JPS64259U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9459887U JPS64259U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS64259U true JPS64259U (ja) | 1989-01-05 |
Family
ID=30958219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9459887U Pending JPS64259U (ja) | 1987-06-22 | 1987-06-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS64259U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627029U (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-12 | オークマ株式会社 | 自動追従式移動振れ止め装置 |
| JPH06182643A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-05 | Niigata Eng Co Ltd | 工作機械におけるワーク静止装置 |
-
1987
- 1987-06-22 JP JP9459887U patent/JPS64259U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627029U (ja) * | 1992-09-11 | 1994-04-12 | オークマ株式会社 | 自動追従式移動振れ止め装置 |
| JPH06182643A (ja) * | 1992-12-21 | 1994-07-05 | Niigata Eng Co Ltd | 工作機械におけるワーク静止装置 |
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