JPS5985570U - 電子線走査型分析装置 - Google Patents

電子線走査型分析装置

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JPS5985570U
JPS5985570U JP18213582U JP18213582U JPS5985570U JP S5985570 U JPS5985570 U JP S5985570U JP 18213582 U JP18213582 U JP 18213582U JP 18213582 U JP18213582 U JP 18213582U JP S5985570 U JPS5985570 U JP S5985570U
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JP
Japan
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electron beam
axis
beam scanning
sample surface
scanning analyzer
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Pending
Application number
JP18213582U
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English (en)
Inventor
河合　政夫
銭谷　福男
森　優治
政夫 松田
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案装置の一実施例を示すブロック図、第２
図は同上の動作説明図で、ａはＣＲＴ画像、ｂは各部の
波形図を示すものである。 １は電子線、２は試料面、３は電子線照射装置、４はＣ
ＲＴ、　５および７はＸ軸駆動回路、６および８はＹ軸
駆動回路、９は可変抵抗器、１ｏはＸ軸倍率調整回路、
１１はＹ軸倍率調整回路、１２はＸ軸走査信号発生器、
１３はＹ軸走査信号発生器、１４は二次電子検出器、１
５は映像増幅器、１６は試料面走査用コイル、１７はＣ
ＲＴ走査用コイルである。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 、電子線をＸ軸およびＹ軸方向に走査して試料面を照射
    し、試料面で発生する二次電子像等をＣＲＴ画面に表示
    するようにし、電子線照射装置およびＣＲＴの少くとも
    一方の電子線偏向コイル駆動回路において、Ｙ軸走査信
    号の一部を可変抵抗器を介してＸ軸走査信号に重畳せし
    めたことを特徴とする電子線走査型分析装置。
JP18213582U 1982-11-30 1982-11-30 電子線走査型分析装置 Pending JPS5985570U (ja)

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JPS5985570U true JPS5985570U (ja) 1984-06-09

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018133243A (ja) * 2017-02-16 2018-08-23 株式会社荏原製作所 電子ビームの照射エリア調整方法および同調整システム、電子ビームの照射領域補正方法、ならびに、電子ビーム照射装置
JP2021022578A (ja) * 2017-02-16 2021-02-18 株式会社荏原製作所 電子ビームの照射エリア調整方法および同調整システム、電子ビームの照射領域補正方法、ならびに、電子ビーム照射装置

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