JPS6087460U - 静電偏向回路 - Google Patents

静電偏向回路

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JPS6087460U
JPS6087460U JP17838883U JP17838883U JPS6087460U JP S6087460 U JPS6087460 U JP S6087460U JP 17838883 U JP17838883 U JP 17838883U JP 17838883 U JP17838883 U JP 17838883U JP S6087460 U JPS6087460 U JP S6087460U
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JP
Japan
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electrostatic deflection
deflection circuit
scanning signal
deflection
circuit
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Application number
JP17838883U
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English (en)
Inventor
相原　竜三
Original Assignee
日本電子株式会社
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の偏向電圧の発生回路の一例、第２図は本
考案の一実施例として示したイオンマイクロアナライザ
ーの概略図、第３図はその一部（走査信号発生系）詳細
図を夫々示したものである。 １：゛水平走査信号発生器、２：垂直走査信号発生器、
５，６：極性反転アンプ、７，８：水平偏向アンプ、９
．１０：垂直偏向アンプ、１１，１２：水平静電偏向電
極、１３．１４：垂直静電偏向アンプ、１５：イオン発
生部、１６：試料、１９：質量分析器、２２：走査信号
発生系、２２゜２３．２４，２５：可変抵抗、ｒ□９　
ｒ２９　ｒ３１　ｒ４　”入力抵抗。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 、走査信号発生器からの走査信号を偏向アンプを介して
    静電偏向電極に印加する様にした回路において、最終段
    偏向アンプの帰還抵抗を倍率に応じて可変出来る様に成
    したことを特徴とする静電偏向回路。
JP17838883U 1983-11-18 1983-11-18 静電偏向回路 Pending JPS6087460U (ja)

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JPS6087460U true JPS6087460U (ja) 1985-06-15

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ID=30387310

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5696449A (en) * 1979-12-28 1981-08-04 Jeol Ltd Magnification controller in scanning electron microscope, etc.

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5696449A (en) * 1979-12-28 1981-08-04 Jeol Ltd Magnification controller in scanning electron microscope, etc.

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