JPS606224U - ドライエツチング装置 - Google Patents
ドライエツチング装置Info
- Publication number
- JPS606224U JPS606224U JP9816683U JP9816683U JPS606224U JP S606224 U JPS606224 U JP S606224U JP 9816683 U JP9816683 U JP 9816683U JP 9816683 U JP9816683 U JP 9816683U JP S606224 U JPS606224 U JP S606224U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dry etching
- etching equipment
- chamber
- bellows
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のドライエツチング装置の模式的構成図、
第２図は本考案の一実施例のドライエツチング装置の模
式的要部構成図である。 図において１は石英チャンバー、６．２０は上部電極、
７は試料、８は下部電極、２７はベローズを示す。
第２図は本考案の一実施例のドライエツチング装置の模
式的要部構成図である。 図において１は石英チャンバー、６．２０は上部電極、
７は試料、８は下部電極、２７はベローズを示す。
Claims (1)
- チャンバー内に相対する二つの平行電極を有し、一方の
電極のベローズを介して該チャンバーに固定し、上記両
電極の平行度、並びに間隔が調整されるようにしたこと
を特徴とするドライエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9816683U JPS606224U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | ドライエツチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9816683U JPS606224U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | ドライエツチング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS606224U true JPS606224U (ja) | 1985-01-17 |
Family
ID=30233191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9816683U Pending JPS606224U (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | ドライエツチング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606224U (ja) |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP9816683U patent/JPS606224U/ja active Pending
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