JPS5918352U - 静電レンズ構造 - Google Patents
静電レンズ構造Info
- Publication number
- JPS5918352U JPS5918352U JP11436182U JP11436182U JPS5918352U JP S5918352 U JPS5918352 U JP S5918352U JP 11436182 U JP11436182 U JP 11436182U JP 11436182 U JP11436182 U JP 11436182U JP S5918352 U JPS5918352 U JP S5918352U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- electrostatic lens
- lens structure
- high voltage
- ground potential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の静電レンズ構造を示す断面図、第２図は
本考案の一実施例を示す断面図である。 １１：基台、１２：イオン源、１３：支持体、１４゜１
５、 １６：接地電極、１７．１８：高電圧電極、１９
．２０，２１，２２：絶縁体、２３． ２４：偏向電極
。
本考案の一実施例を示す断面図である。 １１：基台、１２：イオン源、１３：支持体、１４゜１
５、 １６：接地電極、１７．１８：高電圧電極、１９
．２０，２１，２２：絶縁体、２３． ２４：偏向電極
。
Claims (1)
- 接地電位あるいは低電圧が印加される電極と、高電圧が
印加される電極とを交互に配置した静電レンズにおいて
、該電極の内、接地電位あるいは低電位が印加される複
数の電極を導電部材あるいは絶縁部材を介して一体的に
接続し、該電極の内高電圧が印加される電極同志を絶縁
材を介して接続した静電レンズ構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11436182U JPS5918352U (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 静電レンズ構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11436182U JPS5918352U (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 静電レンズ構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918352U true JPS5918352U (ja) | 1984-02-03 |
| JPS6331480Y2 JPS6331480Y2 (ja) | 1988-08-23 |
Family
ID=30264386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11436182U Granted JPS5918352U (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 静電レンズ構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918352U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6175057U (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-21 |
-
1982
- 1982-07-28 JP JP11436182U patent/JPS5918352U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6175057U (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-21 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6331480Y2 (ja) | 1988-08-23 |
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