JPS60185350A - 試料像表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は試料像表示装置、特に電子顕微鏡などにおいて
用いられるのに好適な試料像表示装置に関する。

〔発明の背景〕

電子顕微鏡などにおいて、試料像中の任意の着目位置は
試料像の倍率を変えても変化しないことが望捷しい。こ
のためには試料像中の任意の着目位置を、倍率を変えて
も変化することのない予め定められた位−に移動するこ
とが必要である。

しかし、通常この操作は、着目位置をＩＩで追いながら
予め定められた位１青に合致させるように試料像を移動
し、その合致を確ａ３シた上で試料像の移動を停止する
というステップを含むことから、非常に厄介である。

試料像を得るために行う照射ビームによる試料の走査速
度が、試料１屡が試料および照射ビームのうちの一方の
他方に対する移動に即応して移動し得ない程度に遅い場
合は、試料像中の着目位置を予め定められた位置に少し
ずつ移動して合致させようとしても、その移動した結果
が次の走査まで試料上で確認困難なため、着目位置を予
め定められた位置に合致させる操作は特に厄介である。

〔発明の目的〕

本発明の目的は表示ｌｆ！１１面に表示されている任意
の着目位置を表示画面上の予め定められた位置に合致さ
せることが容易な試料像表示装置を提供することにある
。

〔発明の概要〕

本発明によれば、試料像は表示画面に表示され、そして
その表示された像中の任意の位置が指示される。指示さ
れた位置と表示画面上の予め定められた位置との間の差
を表わす信号が発生され、この信号にもとついて、指示
された位置を実質的に予め定めら！した位置に合致させ
るように表示画面上に表示された像が移動される。

〔発明の実施例〕

第１図は本発明の一実施例を示す。この実施例によれば
、試料台は直交する二方向にパルスモータを用いて電気
的に駆動可能にしてあり、表示器である陰極線管には試
料像と重畳して直交する２本のカーソル線を表示し、そ
の交点に対応する試料像の部分を視野の中心へ自動的に
移動させるようにしてｂる。

パルスモータ２２，２３により移動可能な試料台２１に
置かれた試料２ｏは水平、垂直走査信号発生器１，２で
つくられる走査信号を利用して照射ビームである電子ビ
ーム１９でもって二次元的に走査され、その結果として
試料２ｏから発生する二次電子１言号は二次電子検出器
１６により検出され、増幅器１７を経て、陰極線管１３
に輝度変調信号として与えられる。陰極線管１３の表示
画面も水平、垂直走食信り発生器１．２でつくられ偏向
増幅器３を介１〜て与えられる走査信号を利用して電子
ビームでもって二次元的に走査される。

したがって、陰極線管１３の表示画面には試料２０の走
査領域の二次電子像が表示される。なお、倍率は水平、
垂直走査信号発生器１．２でつくられ、試料１９の走査
のために利用される走査信号の振幅を変えることにより
変えられる。

一方、カーソル移動スイッチ４〜７は２組の可逆’７ウ
ンタ８，９ＶＣ接続されて、ち・）、このスイッチの操
作により、それぞれの可逆カウンタの計数値が増減され
る。可逆カウンタ８，９の出力はそれぞれＤＡ変換器１
０．１１によりアナログ電圧信号に変換され、これらの
電圧信号は比較回路１２で水平、垂直走査信号と比較さ
れ、比較回路１２は両者がそれぞれ一致したとき、パル
ス信号を発生する。このパルス信号は信号加算器１８で
試料像信号に加ｎされて、陰極線管］３に輝度変調信号
として与えられ、表示画面には試料像と重畳してクロス
ヘアカーソルが表示される。

ここで、可逆カウンタ８，９の計数１直の負の最大値が
走査信号電圧の最小値、正の最大値が走査信号電圧の最
大値に対応するようにＩ）Ａ変換器１０．１１を調整す
れば、可逆カウンタ８，９の計数値は試料像上の中心点
からクロスへアカ−ツルの交点までの、水平、垂直方向
のそれぞれの距離に対応することになる。この可逆カウ
ンタ８゜９の出力は制御装置１５に与えられ、この制御
装置は指令スイッチ１４が押されたとき、このときの可
逆カウンタ８，９の計数値と、試料像の倍率、それにパ
ルスモータの１パルス当すのｇ斜台２１の移動量とから
、パルスモータを駆動するパルス数を計算し、パルスモ
ータ制御装置２６はそれにもとづいてパルスモータ２２
，２３を駆動する。

したがって、カーソル移動スイッチ４〜６を操作してク
ロスへアカ−ツルを試料像上の任意の着なわち倍率を変
えても実質的に変化することのない表示画面上の中心位
置に合致される。例えば、可逆カウンタの最大計数値が
±１０００、試料像の表示画面の大きさが１００Ｔｒｕ
ｎ角、現在の計数値が＋４００．＋７００、試料像の倍
率が５００倍、パルスモータの１パルスあたりの試料台
の移動量が１μｍであるとすれは、クロスへアカ−ツル
で指示された着目位置を表示画面」二の中心位置に合致
させるのに必要なパルスモータの駆動吋はそれぞれ４０
パルス、７０パルスでアル。

このように、試料像上でクロスへアカ−ツルの交点を合
せた着目位置はスイッチの操作のみで試料像視野の中央
部に自動的に移動され、その操作はきわめて簡単になる
。

走査形電子顕微鏡のように遅い走査速度（数秒／フレー
ム）が用いられる場合、例えば試料像信号中の雑音を減
少させるために積算形の画像メモリ等を使用（ヅで、表
示そのものは静止画像であるが、１枚の画像を形成する
ためにある程度長い時間をかけるような場合には特に効
果的でを）る。クロスヘアカルツルの操作を静止画像で
行なうことができ、かつその操作さえ行えば指令スイッ
チ１４を押すだけで着目点が自動的に表示画面中心に合
致されるからである。

実施例では、試料像」二の着目位置の指定ないしは指示
のためにクロスへアカ−ツルを用いたが、他の方法、た
とえはライトペン等を使用しても全く同一の効果が得ら
れる。

イオンマイクロアナライザーにおいては、試料をイオン
ビームで二次元的に走査し、それによって試料から得ら
れる二次イオン信号や二次電子信号など全利用して試料
走査領域の像を陰極線管上の表示画面に表示することが
ある。本発明はこのようなものにも適用可能であり、ま
た試料をテレビジョンカメラで撮影して試ｔｌ像を陰極
線管の表示画面に表示するものにも適用することができ
るわ〔発明の効果〕 本発明によれば、表示画面に表示されている任意の着目
位置を表示画面上の予め定められた位置に合致させるこ
とが容易な試料像表示装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

第１１図は本発明にもとづく一実施例を示す試料像表示
装置のブロック図である。 １．２・・・水平、垂直走査信号発生器、４〜６・・・
カーソル移動スイッチ、８，９・・・可逆カウンタ、１
０．１１・・・Ｉ）Ａ変換器、１２・・・比較回路、１
３・・・陰極線管、１４・・・指令スイッチ、１５・・
・制御装置、１６・・・二次電子検出器、１９・・・…
；子ビーム、２０・・・試料、２４．２５・・・パルス
モータ駆動装置、２６・・・パルスモータ制御装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 】、試料の像を表示画面に表示する手段と、その表示画
   面に表示された前記像中の任意の位置を指示する手段と
   、前記表示面上の予め定めら力、た位置と前記指示され
   た位置との差を表わす信号を発生する手段と、その差を
   表わす信号にもとづいて前記指示された位置を実買的に
   前記予め定められた位置に合致させるように前記表示画
   面に表示された前記像を移動する手段とを備えている試
   料像表示装置。