JPS61181051A - 電子線装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は陰極線管等に試料の走査像に重畳してマークを
表示し、このマークを分析しようとする像上の位置に移
動した後、スポットモードに切換えて電子線をマークに
対応した試料上の位置に照射して試料を分析する電子線
装置に関する。　・［従来の技術］ 第３図は従来の装置を説明するためのもので、図中１は
水平走査信号発生回路であり、この回路１よりの水平走
査信号は第１の切換回路２の端子ａを介して倍率切換回
路３に供給されていると共に、増幅器４を介して陰極線
管５の水平走査コイル５ｘに供給されている。倍率設定
回路６よりの信号に基づいて倍率切換回路３により所定
の増幅率で増幅された走査信号は、増幅器７を介してＸ
方向偏向コイル８Ｘに送られている。９は細く絞られた
電子線を表わし−ており、電子線９は偏向コイル８ｘに
よって偏向され試料１０上に照射される。１１は電子線
９の照射によって試料１０より発生した二次電子を検出
するための二次電子検出器であり、二次電子検出器１１
よりの信号は増幅器１２．加算回路１３を介して陰極線
管５のグリッド５ｑに送られている。１４は試料１０よ
り発生したＸ線を検出するためのＸ線検出器であり、Ｘ
線検出器７４よりの信号は信号処理回路１５を介して記
録計１６に送られている。１７は水平方向用可変直流信
号発生回路であり、回路１７よりの可変直流信号は増幅
器１８を介して第１の切換回路２の端子すに送られてい
ると共に、第２の切換回路１つの端子ａを介して比較器
２０に送られている。この比較器２０の他方の入力端に
は前記水平走査信号発生回路１よりの走査信号も送られ
ている。比較器２０の出力信号は加算回路１３に送られ
ている。２１は第１．第２の切換回路２゜１９に切換信
号を送るためのモード切換回路であり、２２は走査速度
を設定するための設定信号を前記水平走査信号発生回路
１に送るための走査速度設定回路である。尚、図示して
いないが、垂直走査信号発生回路や垂直方向用の可変直
流信号発生回路も水平方向と全く対称的に備えられてい
る。

次にこのような従来装置の動作を説明するが、垂直方向
に対しても全く同様のため、水平方向についてのみ説明
する。

まず、モード設定回路２１を操作して、第１゜第２の切
換回路が端子ａ側に接続されるようにした後、走査速度
設定回路２２を操作して走査速度を低速走査に設定する
。その結果、水平走査信号発生回路１より第４図（ａ）
の実線イで示す如き水平走査信号が発生する。この水平
走査信号は増幅器４を介して陰極線管５の偏向コイル５
Ｘに供給され、第４図（ａ）の点線口で示す如き信号と
して偏向コイル５ｘを流れる。一方この水平走査信号は
第４図（ａ）の一点鎖線ハで示す如き信号として偏向コ
イル８Ｘを流れ、その結果、電子線９が試料１０上を走
査し、その際の検出器１１よりの信号が陰極線管５に送
られるため、陰極線管５には第５図（ａ）に示すような
試料像が表示される。そこで、直流信号発生回路１７を
操作して第４図（ａ）においてＲで示す如き直流信号を
発生させれば、比較器２０より第４図（ｂ）に示す如き
一致パルスが発生し、加算回路１３を介してグリッド５
Ｑに送られるため、陰極線管５の画面には第５図（ｂ）
においてＰで示す如き分析点を示す輝点が試料像に重畳
して表示される。そこで、モード設定回路２１を操作し
て、モードをスポットモードに切換えれば、第１．第２
の切換回路２゜１９がｂ端子側に接続され、直流信号発
生回路１７よりの信号が偏向コイル８ｘに送られると共
に陰極線管５の偏向コイル５ｘに送られ、陰極線管両面
上にスポット照射点を示す第５図（ｄ）に示す如き輝点
Ｐ−が表示されると共に、Ｐ−に対応した試料１０上の
点に電子線９が固定して照射される。そこで、この電子
線の照射に基づいて試料１０より発生した特性Ｘ線をＸ
線検出器１４により検出し、その検出信号を信号処理回
路１５により処理し、その処理信号に基づいてＸ線スペ
クトルを記録計１６に表示すれば、輝点Ｐに対応した分
析点のＸ線分析結果を得ることができる。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、分析点を設定するための段階において、
走査速度設定回路２２を操作して、走査速度を高速の例
えばＳｆに切換えると、水平走査信号発生回路１より発
生する水平走査信号が第４図（Ｃ）の実線イで示すよう
に変化するが、陰極線管５の偏向コイル５ｘに流れる電
流が同図において点線口に示すように変化するのに対し
て偏向コイル８Ｘに流れる走査信号は同図において一点
鎖線ハで示すように変化し、両者の間に７１分のレベル
差が生じる。これは、偏向コイル５Ｘには増幅器４のみ
を介して走査信号が供給されるのに対して、偏向コイル
８Ｘには倍率切換回路３や増幅器７等の多くの回路を介
して走査信号が供給されるため、走査信号の周波数が高
くなるに伴い、両経路の時間遅れの差が顕著になるため
である。

尚、第４図においてＡは非ブランキング明間を示してい
る。その結果、陰極線管５の画面に表示される像は第５
図（Ｃ）に示すようにＶｒに対応しただけ平行移動し、
輝点Ｐが最初に設定した試料上の位置を示さなくなる。

本発明は、このような従来の欠点を解決し、走査速度を
高速に切換えても試料像が移動せず、同一の分析点を正
確に表示することのできる電子線を装置を提供すること
を目的としている。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するため、本発明は細く絞られた
電子線を偏向するための偏向コイルと、該電子線を試料
上において走査するための走査信号を発生する走査信号
発生回路と、該走査信号発生回路を制御し走査速度を切
換えるための手段と、該走査信号に基づいて走査され該
電子線の走査に基づく検出信号の供給に基づいて試料像
を表示するための陰極線管と、電子線を試料上の点に固
定して黒用するための可変直流信号を発生する直流信号
発生手段と、該直流信号発生手段よりの信号に基づいて
該直流信号に対応した該表示手段の画面位置に該試料像
に重畳してマークを表示する手段と、該偏向コイルに該
走査信号と該直流信号を切換えて供給する手段とを備え
た装置において、走査速度を速くした際に該偏向コイル
側に送られる走査信号の直流レベルを自動的に補正する
手段を具備することを特徴としている。

［実施例１ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。

第１図は本発明の一実施例を示すもので、第１図におい
ては、第３図と同一の構成要素に対しては同一番号を付
している。第１図において、２３は補正信号発生回路で
あり、この補正信号発生回路２３には走査速度設定回路
２２より走査速度Ｓを表わす信号が供給されている。補
正信号発生回路２３は走査速度Ｓを表わす信号に基づい
てその絶対値が走査速度Ｓの関数として単調に増加する
負の直流補正信号Ｖ（Ｓ）を発生する。走査速度として
前記Ｓｆが選択された場合には、この補正信号は丁度−
Ｖｆに一致するようになっている。

この補正信号発生回路２３よりの補正信号は加算回路２
４に送られている。従来と異なり、第１の切換回路２よ
りの信号は直接倍率切換回路３に送られず、この加算回
路２４を介して倍率切換回路３に送られている。

このような構成において、モード設定回路２１よりの信
号に基づいて第１．第２の切換回路２゜１９をａ端子に
接続して走査像モードを設定した後、直流信号発生回路
１７を操作して、陰極線管５の画面に第５図（ｂ）に示
すように分析点を示す輝点Ｐを試料像と重畳表示する。

そこで、走査速度設定回路２２を操作して走査速度を高
速のＳｆに切換えると、補正信号発生回路２３より発生
する補正信号Ｖ（Ｓ）は第２図（ａ）に示すように−ｖ
ｆとなるため、加算回路２４を介して倍率切換回路３に
送られる走査信号は第２図（ｂ）において実線イで示す
ものから実線イ′で示すものに変化する。その結果、偏
向コイル８ｘと陰極線管５の偏向コイル５Ｘに流れる走
査信号は第２図１）の二点鎖線二で示す如きものとなり
、両コイルを流れる走査信号の位相差は解消される。そ
のため、走査速度を変化させても像の移動は生ぜず、最
初に設定した分析点のうえに輝点Ｐを引き続いて表示で
きる。

本発明は、上述した実施例に限定されることなく幾多の
変形が可能である。

例えば、上述した実施例においては、走査速度に応じて
レベルの変化する補正信号を発生させるようにしたが、
走査速度が速い時のみ像の移動が顕著になるため、走査
速度が一定基準値より速くなった際のみ、一定レベルの
補正信号を走査信号に加算するようにしても良い。

又、上述した実施例においては、分析位■を示すための
マークとして輝点を表示するようにしたが、輝点に限ら
ずクロスマーク等でも良い。

［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明においては走
査速度を速くした際に、試料を走査する偏向コイル側に
送られる走査信号の直流レベルを自動的に補正するよう
にしているため、陰極線管の走査に対する試料上の走査
の位相遅れが解消でき、分析点を示すマークを走査速度
の切換えにかかわらず、試料像の同一位置に表示できる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図は第
１図に示した一実施例装置の動作を説明するための信号
波形を示すための図、第３図は従来装置を説明するため
の図、第４図は従来装置の動作を説明するための信号波
形を示すための図、第５図は従来の欠点を説明するため
の図である。 １：水平走査信号発生回路 ２．１９：切換回路　３：倍率切換回路４．７．１２．
１８：増幅器 ５：陰極線管　　　　６：倍率設定回路８Ｘ＝偏向コイ
ル　　９：電子線 １０：試料　　　　　１１：二次電子検出器１３．２４
：加算回路 １４：Ｘ線検出器 １５：信号処理回路　１６：記録計 １７：直流信号発生回路 ２０：比較器　　　　２１：モード設定回路２２：走査
速度設定回路 ２３：補正信号発生回路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 細く絞られた電子線を偏向するための偏向コイルと、該
   電子線を試料上において走査するための走査信号を発生
   する走査信号発生回路と、該走査信号発生回路を制御し
   走査速度を切換えるための手段と、該走査信号に基づい
   て走査され該電子線の走査に基づく検出信号の供給に基
   づいて試料像を表示するための陰極線管と、電子線を試
   料上の点に固定して照射するための可変直流信号を発生
   する直流信号発生手段と、該直流信号発生手段よりの信
   号に基づいて該直流信号に対応した該表示手段の画面位
   置に該試料像に重畳してマークを表示する手段と、該偏
   向コイルに該走査信号と該直流信号を切換えて供給する
   手段とを備えた装置において、走査速度を速くした際に
   該偏向コイル側に送られる走査信号の直流レベルを自動
   的に補正する手段を具備することを特徴とする電子線装
   置。