JPH0334184B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は陰極線管等に試料の走査像に重畳して
マークを表示し、このマークを分析しようとする
像上の位置に移動した後、スポツトモードに切換
えて電子線をマークに対応した試料上の位置に照
射して試料を分析する電子線装置に関する。

［従来の技術］ 第３図は従来の装置を説明するためのもので、
図中１は水平走査信号発生回路であり、この回路
１よりの水平走査信号は第１の切換回路２の端子
ａを介して倍率切換回路３に供給されていると共
に、増幅器４を介して陰極線管５の水平走査コイ
ル５ｘに供給されている。倍率設定回路６よりの
信号に基づいて倍率切換回路３により所定の増幅
率で増幅された走査信号は、増幅器７を介してＸ
方向偏向コイル８ｘに送られている。９は細く絞
られた電子線を表わしており、電子線９は偏向コ
イル８ｘによつて偏向され試料１０上に照射され
る。１１は電子線９の照射によつて試料１０より
発生した二次電子を検出するための二次電子検出
器であり、二次電子検出器１１よりの信号は増幅
器１２、加算回路１３を介して陰極線管５のグリ
ツド５Ｇに送られている。１４は試料１０より発
生したＸ線を検出するためのＸ線検出器であり、
Ｘ線検出器１４よりの信号は信号処理回路１５を
介して記録計１６に送られている。１７は水平方
向用可変直流信号発生回路であり、回路１７より
の可変直流信号は増幅器１８を介して第１の切換
回路２の端子ｂに送られていると共に、第２の切
換回路１９の端子ａを介して比較器２０に送られ
ている。この比較器２０の他方の入力端には前記
水平走査信号発生回路１よりの走査信号も送られ
ている。比較器２０の出力信号は加算回路１３に
送られている。２１は第１，第２の切換回路２，
１９に切換信号を送るためのモード切換回路であ
り、２２は走査速度を設定するための設定信号を
前記水平走査信号発生回路１に送るための走査速
度設定回路である。尚、図示していないが、垂直
走査信号発生回路や垂直方向用の可変直流信号発
生回路も水平方向と全く対称的に備えられてい
る。

次にこのような従来装置の動作を説明するが、
垂直方向に対しても全く同様のため、水平方向に
ついてのみ説明する。

まず、モード設定回路２１を操作して、第１，
第２の切換回路が端子ａ側に接続されるようにし
た後、走査速度設定回路２２を操作して走査速度
を低速走査に設定する。その結果、水平走査信号
発生回路１より第４図ａの実線イで示す如き水平
走査信号が発生する。この水平走査信号は増幅器
４を介して陰極線管５の水平走査コイル５ｘに供
給され、第４図ａの点線ロで示す如き信号として
水平走査コイル５ｘを流れる。一方この水平走査
信号は第４図ａの一点鎖線ハで示す如き信号とし
て偏向コイル８ｘを流れ、その結果、電子線９が
試料１０上を走査し、その際の検出器１１よりの
信号が陰極線管５に送られるため、陰極線管５に
は第５図ａに示すような試料像が表示される。そ
こで、直流信号発生回路１７を操作して第４図ａ
においてＲで示す如き直流信号を発生させれば、
比較器２０より第４図ｂに示す如き一致パルスが
発生し、加算回路１３を介してグリツド５ｇに送
られるため、陰極線管５の画面には第５図ｂにお
いてＰで示す如き分析点を示す輝点が試料像に重
畳して表示される。そこで、モード設定回路２１
を操作して、モードをスポツトモードに切換えれ
ば、第１，第２の切換回路２，１９がｂ端子側に
接続され、直流信号発生回路１７よりの信号が偏
向コイル８ｘに送られると共に陰極線管５の水平
走査コイル５ｘに送られ、陰極線管画面上にスポ
ツト照射点を示す第５図ｄに示す如き輝点P′が表
示されると共に、P′に対応した試料１０上の点に
電子線９が固定して照射される。そこで、この電
子線の照射に基づいて試料１０より発生した特性
Ｘ線をＸ線検出器１４により検出し、その検出信
号を信号処理回路１５により処理し、その処理信
号に基づいてＸ線スペクトルを記録計１６に表示
すれば、輝点Ｐに対応した分析点のＸ線分析結果
を得ることができる。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、分析点を設定するための段階に
おいて、走査速度設定回路を操作して、走査速度
を高速の例えばSfに切換えると、水平走査信号発
生回路１より発生する水平走査信号が第４図ｃの
実線イで示すように変化するが、陰極線管５の偏
向コイル５ｘに流れる電流が同図において点線ロ
に示すように変化するのに対して偏向コイル８ｘ
に流れる走査信号は同図において一点鎖線ハで示
すように変化し、両者の間にVf分のレベル差が
生じる。これは、偏向コイル５ｘには増幅器４の
みを介して走査信号が供給されるのに対して、偏
向コイル８ｘには倍率切換回路３や増幅器７等の
多くの回路を介して走査信号が供給されるため、
走査信号の周波数が高くなるに伴い、両経路の時
間遅れの差が顕著になるためである。尚、第４図
においてＡは非ブランキング期間を示している。
その結果、陰極線管５の画面に表示される像は第
５図ｃに示すようにVfに対応しただけ平行移動
し、輝点Ｐが最初に設定した試料上の位置を示さ
なくなる。

本発明は、このような従来の欠点を解決し、走
査速度を高速に切換えても試料像が移動せず、同
一の分析点を正確に表示することのできる電子線
を装置を提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するため、本発明は細く
絞られた電子線を偏向するための偏向コイルと、
該電子線を試料上において走査するための走査信
号を発生する走査信号発生回路と、該走査信号発
生回路を制御し走査速度を切換えるための手段
と、該走査信号に基づいて走査され該電子線の走
査に基づく検出信号の供給に基づいて試料像を表
示するための陰極線管と、電子線を試料上の点に
固定して照射するための可変直流信号を発生する
直流信号発生手段と、該直流信号発生手段よりの
信号に基づいて該直流信号に対応した該表示手段
の画面位置に該試料像に重畳してマークを表示す
る手段と、該偏向コイルに該走査信号と該直流信
号を切換えて供給する手段とを備えた装置におい
て、走査速度を速くした際に該偏向コイル側に送
られる走査信号の直流レベルを自動的に補正する
手段を具備することを特徴としている。

［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述す
る。

第１図は本発明の一実施例を示すもので、第１
図においては、第３図と同一の構成要素に対して
は同一番号を付している。第１図において、２３
は補正信号発生回路であり、この補正信号発生回
路２３には走査速度設定回路２２より走査速度Ｓ
を表わす信号が供給されている。補正信号発生回
路２３は走査速度Ｓを表わす信号に基づいてその
絶対値が走査速度Ｓの関数として単調に増加する
負の直流補正信号Ｖ（Ｓ）を発生する。走査速度
として前記Sfが選択された場合には、この補正信
号は丁度−Vfに一致するようになつている。こ
の補正信号発生回路２３よりの補正信号は加算回
路２４に送られている。従来と異なり、第１の切
換回路２よりの信号は直接倍率切換回路３に送ら
れず、この加算回路２４を介して倍率切換回路３
に送られている。

このような構成において、モード設定回路２１
よりの信号に基づいて第１，第２の切換回路２，
１９をａ端子に接続して走査像モードを設定した
後、直流信号発生回路１７を操作して、陰極線管
５の画面に第５図ｂに示すように分析点を示す輝
度Ｐを試料像と重畳表示する。そこで、走査速度
設定回路２２を操作して走査速度を高速のSfに切
換えると、補正信号発生回路２３より発生する補
正信号Ｖ（Ｓ）は第２図ａに示すように−Vfとな
るため、加算回路２４を介して倍率切換回路３に
送られる走査信号は第２図ｂにおいて実線イで示
すのから実線イ′で示すものに変化する。その結
果、偏向コイル８ｘと陰極線管５の偏向コイル５
ｘに流れる走査信号は第２図ｂの二点鎖線ニで示
す如きものとなり、両コイルを流れる走査信号の
位相差は解消される。そのため、走査速度を変化
させても像の移動は生ぜず、最初に設定した分析
点のうえに輝点Ｐを引き続いて表示できる。

本発明は、上述した実施例に限定されることな
く幾多の変形が可能である。

例えば、上述した実施例においては、走査速度
に応じてレベルの変化する補正信号を発生させる
ようにしたが、走査速度が速い時のみ像の移動が
顕著になるため、走査速度が一定基準値より速く
なつた際のみ、一定レベルの補正信号を走査信号
に加算するようにしても良い。

又、上述した実施例においては、分析位置を示
すためのマークとして輝点を表示するようにした
が、輝点に限らずクロスマーク等でも良い。

［発明の効果］ 上述した説明から明らかなように、本発明にお
いては走査速度を速くした際に、試料を走査する
偏向コイル側に送られる走査信号の直流レベルを
自動的に補正するようにしているため、陰極線管
の走査に対する試料上の走査の位相遅れが解消で
き、分析点を示すマークを走査速度の切換えにか
かわらず、試料像の同一位置に表示できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すための図、第
２図は第１図に示した一実施例装置の動作を説明
するための信号波形を示すための図、第３図は従
来装置を説明するための図、第４図は従来装置の
動作を説明するための信号波形を示すための図、
第５図は従来の欠点を説明するための図である。 １：水平走査信号発生回路、２，１９：切換回
路、３：倍率切換回路、４，７，１２，１８：増
幅器、５：陰極線管、６：倍率設定回路、８ｘ：
偏向コイル、９：電子線、１０：試料、１１：二
次電子検出器、１３，２４：加算回路、１４：Ｘ
線検出器、１５：信号処理回路、１６：記録計、
１７：直流信号発生回路、２０：比較器、２１：
モード設定回路、２２：走査速度設定回路、２
３：補正信号発生回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 細く絞られた電子線を偏向するための偏向コ
   イルと、該電子線を試料上において走査するため
   の走査信号を発生する走査信号発生回路と、該走
   査信号発生回路を制御し走査速度を切換えるため
   の手段と、該走査信号に基づいて走査され該電子
   線の走査に基づく検出信号の供給に基づいて試料
   像を表示するための陰極線管と、電子線を試料上
   の点に固定して照射するための可変直流信号を発
   生する直流信号発生手段と、該直流信号発生手段
   よりの信号に基づいて該直流信号に対応した該表
   示手段の画面位置に該試料像に重畳してマークを
   表示する手段と、該偏向コイルに該走査信号と該
   直流信号を切換えて供給する手段とを備えた装置
   において、走査速度を速くした際に該偏向コイル
   側に送られる走査信号の直流レベルを自動的に補
   正する手段を具備することを特徴とする電子線装
   置。