JPH0578898B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0578898B2 JPH0578898B2 JP26900585A JP26900585A JPH0578898B2 JP H0578898 B2 JPH0578898 B2 JP H0578898B2 JP 26900585 A JP26900585 A JP 26900585A JP 26900585 A JP26900585 A JP 26900585A JP H0578898 B2 JPH0578898 B2 JP H0578898B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- sample
- signal
- electron beam
- analysis point
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 22
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は走査電子顕微鏡に関し、試料上の分析
点と表示装置に輝点表示された分析点とのずれを
無くした装置に関する。
点と表示装置に輝点表示された分析点とのずれを
無くした装置に関する。
［従来技術］
走査電子顕微鏡等においては、試料面を電子線
で走査し、この電子線の走査に伴つて得られた信
号を陰極線管等に導いて試料像を表示すると共
に、この試料像に試料上の分析点を示す輝点等を
重畳させて表示することが行なわれている。
で走査し、この電子線の走査に伴つて得られた信
号を陰極線管等に導いて試料像を表示すると共
に、この試料像に試料上の分析点を示す輝点等を
重畳させて表示することが行なわれている。
このような従来装置を第４図に示す。第４図に
おいて、１は走査信号Ｘ及び走査信号Ｙを発生す
る走査信号発生回路で、該走査信号発生回路１よ
りの走査信号Ｘ及びＹは、切り換えスイツチ２，
３及び増幅器４，５を介して電子線６を偏向する
ためのＸ軸走査コイル７、Ｙ軸走査コイル８にそ
れぞれ供給されている。９は電子線６が照射され
る試料である。１０は陰極線管で、陰極線管１０
のＸ軸偏向コイル１１、Ｙ軸偏向コイル１２に
は、走査信号発生回路１よりの走査信号Ｘ及びＹ
が増幅器１３，１４を介して供給されている。１
５は水平分析点設定回路、１６は垂直分析点設定
回路で、該設定回路１５，１６よりの設定信号
X1，Y1は、切り換えスイツチ２，３を介して前
記Ｘ軸走査コイル７、Ｙ軸走査コイル８及びＸ軸
偏向コイル１１、Ｙ軸偏向コイル１２にそれぞれ
供給される。１７は走査信号発生回路１よりの走
査信号Ｘ、水平分析点設定回路１５よりの設定信
号X1を比較するための比較器、１８は走査信号
Ｙと垂直分析点設定回路１６よりの設定信号Y1
を比較する比較器である。１９は比較器１７と１
８よりの信号によつて分析点を示す例えば輝点Ｍ
を発生する輝点発生回路である。２０は輝点発生
回路１９よりの輝点信号と図示しない検出器より
の検出信号Ｓを加算して増幅する映像信号増幅器
で、該映像信号増幅器２０よりの映像信号は陰極
線管１０のグリツドＧに供給される。
おいて、１は走査信号Ｘ及び走査信号Ｙを発生す
る走査信号発生回路で、該走査信号発生回路１よ
りの走査信号Ｘ及びＹは、切り換えスイツチ２，
３及び増幅器４，５を介して電子線６を偏向する
ためのＸ軸走査コイル７、Ｙ軸走査コイル８にそ
れぞれ供給されている。９は電子線６が照射され
る試料である。１０は陰極線管で、陰極線管１０
のＸ軸偏向コイル１１、Ｙ軸偏向コイル１２に
は、走査信号発生回路１よりの走査信号Ｘ及びＹ
が増幅器１３，１４を介して供給されている。１
５は水平分析点設定回路、１６は垂直分析点設定
回路で、該設定回路１５，１６よりの設定信号
X1，Y1は、切り換えスイツチ２，３を介して前
記Ｘ軸走査コイル７、Ｙ軸走査コイル８及びＸ軸
偏向コイル１１、Ｙ軸偏向コイル１２にそれぞれ
供給される。１７は走査信号発生回路１よりの走
査信号Ｘ、水平分析点設定回路１５よりの設定信
号X1を比較するための比較器、１８は走査信号
Ｙと垂直分析点設定回路１６よりの設定信号Y1
を比較する比較器である。１９は比較器１７と１
８よりの信号によつて分析点を示す例えば輝点Ｍ
を発生する輝点発生回路である。２０は輝点発生
回路１９よりの輝点信号と図示しない検出器より
の検出信号Ｓを加算して増幅する映像信号増幅器
で、該映像信号増幅器２０よりの映像信号は陰極
線管１０のグリツドＧに供給される。
このように構成された装置では、走査信号発生
回路１よりの走査信号Ｘ，ＹをＸ軸走査コイル
７、Ｙ軸走査コイル８にそれぞれ供給して、試料
表面を照射する電子線６を二次元的に走査する。
又、前記した走査信号Ｘ，Ｙを陰極線管１０のＸ
軸偏向コイル１１、Ｙ軸偏向コイル１２にも供給
して、試料９よりの検出信号Ｓを映像信号増幅器
２０を介して陰極線管１０のグリツドＧに供給す
ることにより陰極線管１０に第５図に示す試料像
Ａを表示することができる。
回路１よりの走査信号Ｘ，ＹをＸ軸走査コイル
７、Ｙ軸走査コイル８にそれぞれ供給して、試料
表面を照射する電子線６を二次元的に走査する。
又、前記した走査信号Ｘ，Ｙを陰極線管１０のＸ
軸偏向コイル１１、Ｙ軸偏向コイル１２にも供給
して、試料９よりの検出信号Ｓを映像信号増幅器
２０を介して陰極線管１０のグリツドＧに供給す
ることにより陰極線管１０に第５図に示す試料像
Ａを表示することができる。
ここで、陰極線管１０に表示された試料像Ａを
観察しながら分析点を決定するには、水平分析点
設定回路１５及び垂直分析点設定回路１６を適宜
操作し、水平分析点設定回路１５及び垂直分析点
設定回路１６よりの設定電圧X1，Y1を変化させ
る。この操作により、設定電圧X1，Y1と、走査
信号Ｘ，Ｙとがそれぞれ比較回路１７，１８で比
較され、設定電圧X1，Y1と走査信号Ｘ，Ｙがそ
れぞれ一致すると輝点発生回路１９より輝度増加
信号が発生して映像信号増幅器２０に出力され
る。この輝度信号と検出信号Ｓは、映像信号増幅
器２０により加算増幅されてグリツトＧに供給さ
れるため、陰極線管１０には第５図に示すように
試料像Ａと共に試料上の分析点を示す輝点Ｍが表
示される。
観察しながら分析点を決定するには、水平分析点
設定回路１５及び垂直分析点設定回路１６を適宜
操作し、水平分析点設定回路１５及び垂直分析点
設定回路１６よりの設定電圧X1，Y1を変化させ
る。この操作により、設定電圧X1，Y1と、走査
信号Ｘ，Ｙとがそれぞれ比較回路１７，１８で比
較され、設定電圧X1，Y1と走査信号Ｘ，Ｙがそ
れぞれ一致すると輝点発生回路１９より輝度増加
信号が発生して映像信号増幅器２０に出力され
る。この輝度信号と検出信号Ｓは、映像信号増幅
器２０により加算増幅されてグリツトＧに供給さ
れるため、陰極線管１０には第５図に示すように
試料像Ａと共に試料上の分析点を示す輝点Ｍが表
示される。
このような操作によつて輝点Ｍを移動して分析
点を決定した後、切り換えスイツチ２及び３を点
線で示すように切り換えると、設定電圧X1，Y1
は増幅器４，５及び１３，１４を介して、それぞ
れＸ線走査コイル７、Ｙ軸走査コイル８及びＸ軸
偏向コイル１１、Ｙ軸偏向コイル１２に供給され
る。従つて、電子線６は試料上の分析点に停止し
てスポツト照射され、陰極線管１０の対応した位
置に分析点を示す輝点Ｐが表示される。
点を決定した後、切り換えスイツチ２及び３を点
線で示すように切り換えると、設定電圧X1，Y1
は増幅器４，５及び１３，１４を介して、それぞ
れＸ線走査コイル７、Ｙ軸走査コイル８及びＸ軸
偏向コイル１１、Ｙ軸偏向コイル１２に供給され
る。従つて、電子線６は試料上の分析点に停止し
てスポツト照射され、陰極線管１０の対応した位
置に分析点を示す輝点Ｐが表示される。
［発明が解決しようとしている問題点］
ところでこのように構成された装置では、切り
換えスイツチ２及び３を点線で示すように切り換
えると、試料上の電子線６の走査が停止されると
同時に陰極線管１０の走査も停止されるため、陰
極線管１０上には第６図に示すように残像として
の試料像A′が表示されるが、この試料像A′に重
畳していた輝点M′の位置が、偏向コイルの磁束
変化の遅れによつて停止した分析点Ｐよりずれて
しまう。このずれ量は走査速度によつても異な
り、従つて、操作者は分析点Ｐの誤設定のように
錯覚してしまう。又、陰極線管１０の走査を停止
するため、管面上の一点を電子線が照射すること
となり、蛍光体の焼付けを起しやすく陰極線管の
寿命を短かくするためこの改善が望まれていた。
換えスイツチ２及び３を点線で示すように切り換
えると、試料上の電子線６の走査が停止されると
同時に陰極線管１０の走査も停止されるため、陰
極線管１０上には第６図に示すように残像として
の試料像A′が表示されるが、この試料像A′に重
畳していた輝点M′の位置が、偏向コイルの磁束
変化の遅れによつて停止した分析点Ｐよりずれて
しまう。このずれ量は走査速度によつても異な
り、従つて、操作者は分析点Ｐの誤設定のように
錯覚してしまう。又、陰極線管１０の走査を停止
するため、管面上の一点を電子線が照射すること
となり、蛍光体の焼付けを起しやすく陰極線管の
寿命を短かくするためこの改善が望まれていた。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、陰極
線管上に停止した分析点と、試料像に重畳して表
示される試料上の分析点を示す輝点Ｍとの位置ず
れを無くして操作性を向上させると共に、蛍光体
の焼付けを防止して陰極線管の寿命を長くした装
置を提供することを目的としている。
線管上に停止した分析点と、試料像に重畳して表
示される試料上の分析点を示す輝点Ｍとの位置ず
れを無くして操作性を向上させると共に、蛍光体
の焼付けを防止して陰極線管の寿命を長くした装
置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
本問題点を解決するための本発明の構成は、走
査信号発生回路よりの走査信号と分析点設定回路
よりの設定信号とを、切換え回路によつて電子線
を試料上で走査させる電子線走査コイル及び表示
手段の電子線偏向コイルに選択的に供給するよう
に構成し、該切換え回路により走査信号が選択さ
れた場合には、該表示手段に試料から発生する情
報を検出して試料像を表示すると共に、表示され
た試料像に試料上の分析点を示す輝点を重畳させ
て表示し、該設定信号が選択された場合には、該
電子線走査コイルに設定信号を供給し電子線を試
料上で停止した状態で照射して分析する装置にお
いて、前記分析点設定回路よりの設定信号が選択
されて試料を分析する際には少なくとも表示装置
の水平偏向コイル走査信号を供給するように構成
したことを特徴としている。
査信号発生回路よりの走査信号と分析点設定回路
よりの設定信号とを、切換え回路によつて電子線
を試料上で走査させる電子線走査コイル及び表示
手段の電子線偏向コイルに選択的に供給するよう
に構成し、該切換え回路により走査信号が選択さ
れた場合には、該表示手段に試料から発生する情
報を検出して試料像を表示すると共に、表示され
た試料像に試料上の分析点を示す輝点を重畳させ
て表示し、該設定信号が選択された場合には、該
電子線走査コイルに設定信号を供給し電子線を試
料上で停止した状態で照射して分析する装置にお
いて、前記分析点設定回路よりの設定信号が選択
されて試料を分析する際には少なくとも表示装置
の水平偏向コイル走査信号を供給するように構成
したことを特徴としている。
［実施例］
以下本発明の実施例を図面に基づき詳述する。
第１図は本発明の一実施例の構成図であり、第
４図に示す従来装置と同一構成部分には同一番号
を付してその説明を省略する。第１図の実施例装
置で、切換えスイツチ２，３が実線で示す状態、
つまり分析点Ｐを決定するための観察状態では、
走査信号発生回路１よりの走査信号Ｘ，ＹはＸ軸
走査コイル７、Ｙ軸走査コイル８にそれぞれ供給
され、電子線６が試料表面を二次元的に走査する
と共に、陰極線管１０のＸ軸偏向コイル１１、Ｙ
軸偏向コイル１２にも前記した走査信号Ｘ，Ｙが
供給される。そのため、輝点発生回路１９よりの
輝点信号と試料９よりの検出信号Ｓが映像信号増
幅器２０を介して陰極線管１０のグリツドＧに供
給されるため陰極線管１０には第２図に示すよう
な試料像Ａと分析点を示す輝点Ｍが表示される。
４図に示す従来装置と同一構成部分には同一番号
を付してその説明を省略する。第１図の実施例装
置で、切換えスイツチ２，３が実線で示す状態、
つまり分析点Ｐを決定するための観察状態では、
走査信号発生回路１よりの走査信号Ｘ，ＹはＸ軸
走査コイル７、Ｙ軸走査コイル８にそれぞれ供給
され、電子線６が試料表面を二次元的に走査する
と共に、陰極線管１０のＸ軸偏向コイル１１、Ｙ
軸偏向コイル１２にも前記した走査信号Ｘ，Ｙが
供給される。そのため、輝点発生回路１９よりの
輝点信号と試料９よりの検出信号Ｓが映像信号増
幅器２０を介して陰極線管１０のグリツドＧに供
給されるため陰極線管１０には第２図に示すよう
な試料像Ａと分析点を示す輝点Ｍが表示される。
ここで前述した分析点設定操作により、試料上
の分析点を決定した後、切換え回路２，３を点線
で示すように切換えると共にスイツチ２１をオフ
状態にする。この操作によつて、走査信号発生回
路１よりの走査信号Ｘ，Ｙは走査コイル７，８に
は供給されず、陰極線管１０のＸ軸偏向コイル１
１のみに走査信号Ｘが供給される。そのため、電
子線６は試料上の分析点で停止した状態となり、
又、スイツチ２１はオフ状態となつているためグ
リツドＧには検出信号Ｓは供給されず、輝点発生
回路１９よりの輝点信号のみがグリツトＧに供給
される。従つて、陰極線管１０には第３図に示す
ように、走査線ｍは表示されず試料像A′と輝点
M′及び分析点Ｐが表示されるが、走査信号Ｘが
Ｘ軸偏向コイルに常に供給されているため試料像
A′の輝点Ｍと分析点Ｐとの位置ずれはなく、又
走査速度を変化させてもその位置は変化しない。
そのため、従来装置のように操作者に分析点Ｐの
誤設定のように錯覚させることはなく、又、陰極
線管の電子線の走査は停止していないため、管面
上には走査線ｍが表示され蛍光体の焼付けは防止
される。
の分析点を決定した後、切換え回路２，３を点線
で示すように切換えると共にスイツチ２１をオフ
状態にする。この操作によつて、走査信号発生回
路１よりの走査信号Ｘ，Ｙは走査コイル７，８に
は供給されず、陰極線管１０のＸ軸偏向コイル１
１のみに走査信号Ｘが供給される。そのため、電
子線６は試料上の分析点で停止した状態となり、
又、スイツチ２１はオフ状態となつているためグ
リツドＧには検出信号Ｓは供給されず、輝点発生
回路１９よりの輝点信号のみがグリツトＧに供給
される。従つて、陰極線管１０には第３図に示す
ように、走査線ｍは表示されず試料像A′と輝点
M′及び分析点Ｐが表示されるが、走査信号Ｘが
Ｘ軸偏向コイルに常に供給されているため試料像
A′の輝点Ｍと分析点Ｐとの位置ずれはなく、又
走査速度を変化させてもその位置は変化しない。
そのため、従来装置のように操作者に分析点Ｐの
誤設定のように錯覚させることはなく、又、陰極
線管の電子線の走査は停止していないため、管面
上には走査線ｍが表示され蛍光体の焼付けは防止
される。
尚、上記実施例は例示である。上記実施例で
は、電子線６が停止した状態では陰極線管のＸ軸
偏向コイルのみに走査信号Ｘを供給するようにし
たが、Ｙ軸偏向コイルにも走査信号Ｙを供給して
表示しても良い。この場合に、走査信号Ｙは走査
信号Ｘに比較して十分遅いため位置ずれはほとん
ど無視できる。又、走査信号Ｙの走査速度が遅い
場合には、輝点Ｍは間欠的に表示されるが、この
ような場合には、Ｙ軸の走査幅を狭くして分析点
近傍のみを走査するようにすれば良い。
は、電子線６が停止した状態では陰極線管のＸ軸
偏向コイルのみに走査信号Ｘを供給するようにし
たが、Ｙ軸偏向コイルにも走査信号Ｙを供給して
表示しても良い。この場合に、走査信号Ｙは走査
信号Ｘに比較して十分遅いため位置ずれはほとん
ど無視できる。又、走査信号Ｙの走査速度が遅い
場合には、輝点Ｍは間欠的に表示されるが、この
ような場合には、Ｙ軸の走査幅を狭くして分析点
近傍のみを走査するようにすれば良い。
［発明の効果］
以上詳述したように本発明によれば、分析時に
陰極線管上に表示される分析点と観察時に試料像
に重畳して表示される輝点Ｍとの位置のずれを無
くして操作性を向上させると共に、蛍光体の焼付
けを防止して陰極線管の寿命を長くした装置が提
供される。
陰極線管上に表示される分析点と観察時に試料像
に重畳して表示される輝点Ｍとの位置のずれを無
くして操作性を向上させると共に、蛍光体の焼付
けを防止して陰極線管の寿命を長くした装置が提
供される。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は
及び第３図は本発明を説明するための図、第４図
は従来装置の構成図、第５図及び第６図は従来装
置を説明するための図である。 １：走査信号発生回路、２，３：切換えスイツ
チ、４，５：増幅器、６：電子線、７：Ｘ軸走査
コイル、８：Ｘ軸走査コイル、９：試料、１０：
陰極線管、１１：Ｘ軸偏向コイル、１２：Ｙ軸偏
向コイル、１３，１４：増幅器、１５：水平分析
点設定回路、１６：垂直分析点設定回路、１７，
１８：比較回路、１９：輝点発生回路、２０：映
像信号増幅器、２１：スイツチ。
及び第３図は本発明を説明するための図、第４図
は従来装置の構成図、第５図及び第６図は従来装
置を説明するための図である。 １：走査信号発生回路、２，３：切換えスイツ
チ、４，５：増幅器、６：電子線、７：Ｘ軸走査
コイル、８：Ｘ軸走査コイル、９：試料、１０：
陰極線管、１１：Ｘ軸偏向コイル、１２：Ｙ軸偏
向コイル、１３，１４：増幅器、１５：水平分析
点設定回路、１６：垂直分析点設定回路、１７，
１８：比較回路、１９：輝点発生回路、２０：映
像信号増幅器、２１：スイツチ。
Claims (1)
- １ 走査信号発生回路よりの走査信号と分析点設
定回路よりの設定信号とを、切換え回路によつて
電子線を試料上で走査させる電子線走査コイル及
び表示手段の電子線偏向コイルに選択的に供給す
るように構成し、該切換え回路により走査信号が
選択された場合には、該表示手段に試料から発生
する情報を検出して試料像を表示すると共に、表
示された試料像に試料上の分析点を示す輝点を重
畳させて表示し、該設定信号が選択された場合に
は、該電子線走査コイルに設定信号を供給し電子
線を試料上で停止した状態で照射して分析する装
置において、前記分析点設定回路よりの設定信号
が選択されて試料を分析する際には少なくとも表
示装置の水平偏向コイル走査信号を供給するよう
に構成したことを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26900585A JPS62128420A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26900585A JPS62128420A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62128420A JPS62128420A (ja) | 1987-06-10 |
| JPH0578898B2 true JPH0578898B2 (ja) | 1993-10-29 |
Family
ID=17466338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26900585A Granted JPS62128420A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62128420A (ja) |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP26900585A patent/JPS62128420A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62128420A (ja) | 1987-06-10 |
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