KR830002861Y1 - 주사전자 현미경 및 그의유사장치의 주사상 관찰장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

주사전자 현미경 및 그의 유사장치의 주사상 관찰장치

도면은 본 고안의 한 실시예를 도시한 블럭도.

본 고안은 주사전자현미경 및 그 유사장치의 주사상 관찰장치에 관한 것으로, 특히, 관찰조건의 데이터를 주사상과 더불어 음극선관상에 표시하도록 한 주사상 관찰장치에 관한 것이다.

통상적으로, 주사전자현미경에 있어서는 시료의 주사상을 표시하는 음극선관상에 주사상의 배율 및 가속전압등의 관찰조건을 표시할 수 있도록 되어 있는데, 이같은 관찰조건의 데이터표시는 주사상을 촬영하고 기록하는 경우에 중요한 것으로, 종래에 있어서, 이같은 데이터표시는 데이터 표시회로로부터의 신호가 주사상의 신호와 더불어 휘도신호로서 음극선관에 공급되도록 하고 있으나, 데이터 표시회로로부터 음극선관에 공급되는 신호의 강도가 주사상의 신호강도와는 무관하게 일정의 강도로 되어 있어 음극선관상에서는 항상 일정 휘도의 표시가 행해지게 되므로 그 결과 예로서, 투과주사상을 관찰하는 경우, 주사상의 신호강도가 약한 때에는 데이터표시의 휘도가 주사상의 휘도에 비해 과도하게 높아져서 주사상의 관찰에 불편 및 불합리가 초래된다는 결점이 있다.

본 고안은 상술한 점을 감안하여 고안한 것으로서, 음극선관에 공급되는 데이터신호강도가 주사상의 신호강도에 따라서 변하게끔 구성하여 항상 최적의 휘도로서 관찰조건의 데이터가 표시될 수 있게 하는 주사전자현미경 및 그의 유사장치의 주사상 관찰장치를 제공한다. 이하 첨부도면에 기초하여 본 고안의 실시예를 상술한다.

도면에 있어서 전자총(1)으로 부터의 전자선은 편향코일(2)에 의해서 편향되어, 사료(3)에 조사되는데, 편향코일(2)에는 주사신호 발생회로(4)로부터의 주사신호가 공급되므로, 그 결과, 시료(3)는 정해진 주사속도 및 주사범위에서 전자선에 의해서 주사된다. 또한 주사신호 발생회로(4)로부터의 주사신호는 편향회로(5)를 통해서 음극선관(6)의 편향코일(7)에도 공급된다. 한편, 이같은 시료(3)에 대한 전자자선의 조사에 의해 시료로부터의 발생하는 2차 전자 혹은 반사전자는 전자선검출기(8)에 의해서 검출되고, 이 검출된 신호는 증폭기(9)에 의해서 증폭된 후, 가산기(10) 및 최고치 검출회로(11)에 공급된다.

여기서 최고치 검출회로(11)는 주사신호 발생회로(4)로부터의 동기신호에 근거하여 한개의 화면을 형성하기 위한 주사신호의 최고지를 검출하는데 이 경우 검출된 최고치는 최고치홀드회로(12)에 공급되어서 홀드된다. 이같이 최고치홀드회로(12)에서 홀드된 신호는 스위치회로(13)에 공급되는데, 이 스위치회로(13)에는 주사신호 발생회로(4)로 부터의 주사신호에 동기하여 데이타표시신호를 발생하는 데이터신호발생회로(14)로 부터의 데이터 표시신호도 공급된다. 스위치회로(13)의 출력신호는 증폭기(9)로부터의 주사상신호와 가산기(10)에 의해서 가산되고, 이 가산된 신호는 음극선관(6)의 그리드에 휘도신호로서 공급된다.

상술한 바와 같은 구성에 의하면, 주사신호 발생회로(4)에서, 소망의 주사속도가 설정되고, 데이터신호발생회로(14)에는 음극선관(6) 위의 주사상에 관한 관찰조건의 정보가 입력된다. 이 결과, 시료(3)는 소망의 주사속도로서 전자선에 의해서 주사되고, 이같은 시료상의 전자선의 주사와 동기하여 음극선관(6)도 전자선에 의해 주사된다. 이 경우 시료(3)로 부터 발생하는 2차전자는 검출기(8)에 의해서 검출되고, 이 검출된 신호는 증폭기(9) 및 가산기(10)를 통해서 음극선관(6)에 공급되어 음극선관(6)에는 시료(3)의 주사상이 표시되게 된다.

이때, 증폭기(9)의 출력신호는 최고치 검출회로(11)에도 공급되고, 이 검출회로(11)에 의해서는 주사상의 한 화면을 형성하는 신호(시료의 주사범위를 1회 주사하는 것에 의해 얻어진 신호)의 최고치가 검출된다. 이같이 검출된 최고치는, 2회째의 시료주사기간중 최고치 홀드회로(12)에서 홀드됨과 더불어 스위치회로(13)에 인가된다. 또한 스위치회로(13)에는 데이터신호발생회로(14)로 부터의 데이터 신호가 휘도발생타이밍신호로서 공급되는데, 이같은 휘도발생타이밍신호의 공급에 의해 최고치신호는, 데이터표시를 목적으로 휘도신호로서 가산기(10)에 공급된다. 따라서 시료의 주사상과 더불어 음극선관(6)에 주사상의 최고휘도로서 주사상의 배율, 가속전압등의 데이터가 표시되는, 예를들어 주사상의 신호강도가 전체적으로 낮아졌을 경우 신호강도에 따라서 데이터표시의 휘도도 낮아지게 되어, 주사상과 데이터 표시의 휘도가 항상 평형상태로 되는 주사상 관찰장치가 제공된다.

이상과 같이 본 고안을 상술했으나, 본 고안은 상기한 실시예에 한정됨이 없이 몇개의 변형이 가능하다. 예를들면, 데이터를 항상 주사상의 최고휘도로서 표시하도록 구성했으나, 주사상의 신호중에, 최고치와 최저치를 검출하고, 상기 최고치와 최저치의 중간신호 강도를 얻어, 이 신호 강도로서 데이터를 표시하여도 좋다.

Claims (1)

1. 전자총(1)과, 전자총(1)에 의해 시료면(3)상에 발생된 전자빔을 2차원적으로 주사하기 위한 편향코일(2) 및 주사신호발생회로(4)와, 주사신호 발생회로(4)의 출력이 공급되는 음극선관(6)과 시료(3)로부터 신호를 검출하여 이 검출된 출력신호를 휘도변조신호로 CRT(6)에 공급하는 전자선 검출회로(8)와, 데이터 신호를 휘도변조 신호로 CRT(6)에 공급하는 데이터 신호 발생회로(14)등을 구비한 주사전자현미경 및 그의 유사장치의 주사상 관찰장치에 있어서, CRT상의 하나의 프레임주사동안 검출기(8)의 출력에서 검출된 최대치와 관련된 임의의 D.C 신호를 발생하는 검출회로(11)와, 회로(11)에서 공급된 임의의 D.C 신호를 홀드하는 홀드회로(12)와, 입력신호로 홀드회로(12)의 출력을 공급받고, 스위칭 제어신호로 데이터 신호 발생회로(14)에서 발생된 데이터신호를 공급받아 휘도변조신호를 CRT(6)의 출력신호에 공급되는 스위칭회로(3) 등을 구성시킨 주사상 관찰장치.