KR830002860Y1 - 주사전자현미경 및 그 유사장치의 주사상 관찰장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

주사전자현미경 및 그 유사장치의 주사상 관찰장치

제1도 및 제2도는 각각 본 고안의 한 실시예를 도시한 블럭도.

본 고안은 주사전자현미경 및 그의 유사장치의 주사상 관찰장치에 관한 것으로, 특히 관찰조건의 데이터를 표시하도록 한 주사상 관찰장치에 관한다.

통상적으로, 주사전자현미경에 있어서는, 시료의 주사상이 표시되는 음극선관상에 주사상의 배율 및 가속전압등의 관찰조건이 표시되도록 하고 있는데, 이같은관찰조건의 표시는 주사상을 촬영하고 기록하는 경우에 중요한 것으로 종래에 있어서 이러한 관찰조건의 데이터표시는, 데이터표시회로로부터 신호가 주사상의 신호와 더불어 휘도신호로써 음극선관에 공급되도록 하고 있음과 동시에 시료상의 전자선의 주사속도 및 음극선관의 전자선의 주사속도가 시료 및 관찰조건에 따라서 변하고, 주사상의 신호도 주사속도에 따라서 변하게 하여, 최적의 휘도로서 음극선관에 주사상이 표시될 수 있도록 하고 있으나, 데이터표시회로로부터 음극선관에 공급되는 신호가 일정하기 때문에, 어떤 주사속도에 대해서는 최적의 휘도로서 데이터가 표시될 수 있겠지만, 주사속도가 빨라지면 휘도가 떨어지고, 주사속도가 늦어지면 휘도가 높아지고 만다는 결점이 있었다.

본 고안은 상술한 점에 감안하여 고안된 것으로 주사속도의 변화에도 불구하고, 항상 최적한 휘도로서 관찰조건의 데이터가 표시될 수 있게 하는 주사전자현미경 및 그의 유사장치의 주사상 관찰장치를 제공한다. 이하 첨부도면에 따라서 본 고안의 실시예를 상술한다.

제1도에 있어서, 전자총(1)으로부터의 전자선은 편향코일(2)에 의해서 편향되고, 시료(3)에 주사된다. 편향코일(2)에는 주사속도 변환회로(4)에 의해서 설정된 주사속도에 기인하여 주사 신호를 발생하는 주사신호 발생회로(5)로부터의 주사신호가 공급되고, 그 결과, 시료(3)는 정해진 주사속도로서 전자선에 의해서 주사된다. 주사신호 발생회로(5)로부터의 주사신호는 편향회로(6)를 통해서 음극선관(7)의 편향코일(8)에도 공급된다. 시료(3)에 대한 전자선의 조사에 의해서 시료로부터 발생한 2차 전자 혹은 반사전자는 전자선검출기(9)에 의해서 검출되고, 이 검출된 신호는 증폭기(10)를 통해서 가산기(11)에 공급된다. 가산기(11)에는 주사신호에 동기하여 데이터신호를 발생하는 데이터신호 발생회로(12)로 부터 휘도가변회로(13)를 통해서 데이터신호도 공급된다. 가산기(11)는 양쪽 신호를 가산하고, 가산된 신호는 음극선관(7)의 그리드에 휘도신호로서 공급된다.

상기한 바와 같은 구성에 의하면 주사속도 변환회로(4)에 의해서 소망의 주사속도가 설정되고 데이터신호발생회로(12)에는 음극선관(7) 상의 주사상에 관한 관찰조건의 정보가 입력된다. 이같은 결과로서, 시료(3)는 소망의 주사속도로서 전자선에 의해서 주사되고, 상기기주사시료상의 전자선의 주사와 동기하여 음극선관(7)도 전자선에 의해 주사된다. 시료(3)로부터 발생한 예를들어, 2차 전자는 검출기(9)에 의해서 검출되고, 이 검출신호는 증폭기(10) 및 가산기(11)를 통해서 음극선관(7)에 공급되어, 음극선관(7)에는 시료(3)의 주사상이 표시된다.

한편 전자선의 주사에 동기하여 데이터신호 발생회로(12)로부터는 관찰조건의 데이터신호가 발생되고, 이 데이터신호는 휘도가변회로(13)에 공급된다. 휘도가변회로(13)는 주사속도변환회로(4)에 의해서 선정된 주사속도에 따라서, 예를들어 증폭율이 변하는 가변증폭기로서 데이터신호가 선정된 주사속도에 따른 강도의 휘도신호로 가산기(11)에 공급되게 한다. 따라서, 음극선관(7)에는 시료의 주사상과 더불어 주사속도에 따른 최적의 휘도로서, 상기 주사상의 배율 및 가속전압등의 관찰조건이 표시된다.

제2도는 본 고안의 다른 실시예를 도시한 것으로, 제1도와 같은 구성요소에 대해서는 동일 번호로 병기하고 그에 관한 설명을 생략했다. 이 실시예에 있어서, 음극선관의 전자주사속도는 수직주사에 비해 수평주사쪽이 1000 내지 2000배정도 빠르고, 음극선관의 휘도는 수평주사속도에 밀접하게 관계되는 점에 착안하여 정해진다. 주사신호 발생회로(5)로부터의 수평 및 수직 조사의 동기펄스는 발진기(14)로부터의 발진되는 펄스를 계수하는 카운터(15)에 공급된다. 카운터(15)는 회로(5)로부터 수직동기펄스가 입력되고 발진기(14)로부터 수평동기펄스가 입력되면 발진기(14)로부터의 펄스수를 계수하기 시작해서, 다음의 수평동기펄스가 입력될 때까지 펄스수를 계수한다. 카운터(15)에서 얻어진 펄스수는 수평주사속도에 따르는 것으로, 전압 변환기(16)에서 펄스수에 따른 전압이 얻어진다.

전압변환기(16)에서 얻어진 전압은 음극선관(7)에 공급되는 데이터 신호의 휘도설정전압으로 되어 스위칭회로(17)에 인가된다. 스위칭회로(17)에는 또한 데이터신호 발생회로(12)로부터 휘도발생타이밍신호가 공급되는데, 이같은 타이밍신호가 상기 스위칭회로(17)에 공급되면 전압변환기(16)로부터의 휘도전압이 가산기(11)에 인가된다. 이 실시예에 있어서도 데이터표시를 목적으로 음극선관에 공급되는 신호강도가 주사속도에 따라서 변하게끔 되어 있기 때문에 최적한 휘도조건의 데이터를 표시할 수 있다.

Claims (1)

1. 전자총(1)과, 전자총(1)에 의해 시료면(3) 상에 2차원적으로 발생된 전자빔을 주사하기 위한 편향코일(2) 및 주사신호 발생회로(5)와, 주사신호 발생회로(5)의 출력이 공급되는 음극선관(7)과 시료(3)로 부터 신호를 검출하여 이 검출된 출력신호를 휘도변조 신호로 CRT(7)에 공급하는 검출기(9)와, 데이터 신호를 휘도변조 신호로 CRT(7)에 공급하는 데이터 신호 발생회로(12)등을 구비한 주사전자 현미경 및 그 유사장치의 주사상 관찰장치에 있어서, 주사신호 발생회로(5)의 출력에 대한 주사속도에 관련된 임의의 D.C신호를 발생하는 수단(4)과 데이타신호 발생회로(12)에 의해 발생된 데이터 신호의 신호강도를 임의의 D.C신호치에 따라 제어하는 수단(13)등을 구성시킨 주사전자 현미경 및 그 유사장치의 주사상 관찰장치.