JPS606070B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS606070B2 JPS606070B2 JP13043280A JP13043280A JPS606070B2 JP S606070 B2 JPS606070 B2 JP S606070B2 JP 13043280 A JP13043280 A JP 13043280A JP 13043280 A JP13043280 A JP 13043280A JP S606070 B2 JPS606070 B2 JP S606070B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- focus
- detector
- scanning
- horizontal scan
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、試料の高さが巻じるしく異る場合でも、いず
れの位置にもフオーカスの合った走査画像を得ることの
できる走査電子顕微鏡に関するものである。
れの位置にもフオーカスの合った走査画像を得ることの
できる走査電子顕微鏡に関するものである。
一般に走査電子顕微鏡においては、焦点深度が深いので
、試料にある程度の凹凸があっても、全体にフオーカス
が合い、極めて立体的な画像が得られるという特徴があ
る。
、試料にある程度の凹凸があっても、全体にフオーカス
が合い、極めて立体的な画像が得られるという特徴があ
る。
しかし乍ら、凹凸が非常に激しい場合や、試料に断層が
ある場合等においては、全面にフオーカスの合った鮮明
な画像を得ることはできない。本発明はこの様な点に鑑
みてなされたもので、電子線の焦点を水平走査と同期し
た二段階に切換え〜その焦点の合っている試料部分のみ
を陰極線管上に表示するようになしたものである。
ある場合等においては、全面にフオーカスの合った鮮明
な画像を得ることはできない。本発明はこの様な点に鑑
みてなされたもので、電子線の焦点を水平走査と同期し
た二段階に切換え〜その焦点の合っている試料部分のみ
を陰極線管上に表示するようになしたものである。
以下本発明を図面に基づいて説明する。
第１図のブロック図において、１は電子銃であり、この
電子銃からの電子線は、集東レンズ２、対物レンズ３に
よって電子プローブとして細く集東され、試料４上に投
射される。
電子銃からの電子線は、集東レンズ２、対物レンズ３に
よって電子プローブとして細く集東され、試料４上に投
射される。
集東レンズ２と対物レンズ３との間には二段の電子線偏
向コイル５ａ，５ｂが配設され、走査電源６より水平、
垂直鏡歯状波信号が供給され、それによって電子線は試
料４上で水平、垂直方向（二次元的）に走査されること
になる。該走査電源６からの信号は陰極線管７の偏向コ
イルにも供給され、前記電子線の走査と同期して陰極線
管は走査される。電子線の走査により試料各部から発生
、散乱する２次電子や反射電子は検出器８により試料情
報信号として検出され、増中器９，１０を介して陰極線
管７の輝度変調グリッドーこ印加される。１１は対物レ
ンズ３の励磁電源で、１２ａ，１２ｂはその基準電源で
ある。
向コイル５ａ，５ｂが配設され、走査電源６より水平、
垂直鏡歯状波信号が供給され、それによって電子線は試
料４上で水平、垂直方向（二次元的）に走査されること
になる。該走査電源６からの信号は陰極線管７の偏向コ
イルにも供給され、前記電子線の走査と同期して陰極線
管は走査される。電子線の走査により試料各部から発生
、散乱する２次電子や反射電子は検出器８により試料情
報信号として検出され、増中器９，１０を介して陰極線
管７の輝度変調グリッドーこ印加される。１１は対物レ
ンズ３の励磁電源で、１２ａ，１２ｂはその基準電源で
ある。
この基準電源は夫々独別に及び若しくは相関的に可変で
き、スイッチ１３によっていずれかが電源１１に接続さ
れる。従って、この基準電源の電圧を予じめ所定な値だ
け異ならせておけばスイッチ１３の切換えにより、対物
レンズ３に供給される電流が切換えられる。前記スイッ
チ１３は走査電源６の水平走査に同期しており、一水平
走査毎に基準電源１２ａ，１２ｂを切換えて後続する働
きをする。これにより対物レンズの焦点距離が、２段階
に交互に切換えられることになる。尚、この焦点距離の
切換に当っては、対物しンズ３に補助コイルを設け、そ
のコイルへ流す電流を切換えるようにすると早い変化に
応答できるので好都合である。１４はアナログ遅延回路
であり、丁度水平走査の一周期に対応する時間だけ検出
信号を遅らせ、比較回路１５に送り込む。
き、スイッチ１３によっていずれかが電源１１に接続さ
れる。従って、この基準電源の電圧を予じめ所定な値だ
け異ならせておけばスイッチ１３の切換えにより、対物
レンズ３に供給される電流が切換えられる。前記スイッ
チ１３は走査電源６の水平走査に同期しており、一水平
走査毎に基準電源１２ａ，１２ｂを切換えて後続する働
きをする。これにより対物レンズの焦点距離が、２段階
に交互に切換えられることになる。尚、この焦点距離の
切換に当っては、対物しンズ３に補助コイルを設け、そ
のコイルへ流す電流を切換えるようにすると早い変化に
応答できるので好都合である。１４はアナログ遅延回路
であり、丁度水平走査の一周期に対応する時間だけ検出
信号を遅らせ、比較回路１５に送り込む。
該比較回路には、検出器８からそのまま送り込まれてお
り、前記遅延回路１４の出力と比較される。前述の如く
、遅延回路１４において「丁度一水平走査期間だけ遅延
されるので、相前後する水平走査による信号が対比され
ることになる。そして「 この比較回路においては、遅
延回路１４からの信号強度が検出器からのそれより大き
い期間のみ信号を発しトブランキング回路１６に送る。
その結果、その信号が生じている間は、映像がカットさ
れる。次に本発明の動作を説明する。
り、前記遅延回路１４の出力と比較される。前述の如く
、遅延回路１４において「丁度一水平走査期間だけ遅延
されるので、相前後する水平走査による信号が対比され
ることになる。そして「 この比較回路においては、遅
延回路１４からの信号強度が検出器からのそれより大き
い期間のみ信号を発しトブランキング回路１６に送る。
その結果、その信号が生じている間は、映像がカットさ
れる。次に本発明の動作を説明する。
今、第２図ａに示す如く、試料の高さが箸じるしく異な
る場合、両方の面にフオーカスは合わない。高い方の面
をＳａ、低い方の面をＳｂとし、基準電源１２ａ，１２
ｂを可変して、Ｅ茂，ＥＢｂで示す如く水平走査一本お
きにＳａ，Ｓｂ面にフオーカスが合わされたとすると、
Ｅ脇によっては第２図ｂ，ＥＢｂによっては第２図ｃに
示す如き信号が検出器８から得られる。即ち、フオーカ
スが合っている場合とそうでない場合とでは周波数成分
や信号量に大きな差が生ずる。そして、検出器８からは
−水平走査毎に第２図ｂとｃの信号が交互に出力される
ことになり、この信号が比較回路により比較されるわけ
である。この比較においては例えば信号量の平均値が用
いられる。今、第１水平走査（奇数ライン）で第２図ａ
におけるＥ弦の状態、第２水平走査（偶数ライン）でＥ
Ｂｂの状態にフオーカスがされているとすると、第１水
平走査時における各部の信号は第３図に示す如きものと
なる。同図ａは検出器出力信号、ｂは遅延回路１４の出
力信号、ｃはプランキング信号、ｄは表示される映像信
号である。同図より、第１水平走査時には遅延回路１４
には信号が入力されていないので、全て遅延回路の出力
より検出器出力の方が大きいので、プランキング信号は
発生せず、陰極線管１に表示される信号はそのままの信
号となる。第２水平走査時には第１水平走査時の信号が
遅延回路１４から出力されるので、各部の信号は第４図
の如きものとなる。第４図ａは第２走査で得られた信号
、ｂ図は第３図ａの信号である。この両信号の比較から
、ｂ図の信号が大きい期間のみｃ図の如きプランキング
信号が生じ、結果として、ｄ図の如きＳｂ面にフオーカ
スがあっているときの信号のみが表示される。第３水平
走査時には、第２走査時の信号が遅延回路１４から出力
されるので、各部の信号は第５図の如きものとなり「今
度はＳａ面にフオーカスが合っているときの信号のみが
表示されることになる。以下順次第４図、第５図の状態
が繰り返されるので、陰極線画面上には、Ｓａ，Ｓｂ両
面にフオーカスの合った鮮明な画像が表示されることに
なる。尚、本発明においては、夫々の面の表示が一水平
走査おきに行われるので、分解能の高い観察を行いたい
ときは水平走査線の数を増加する必要がある。
る場合、両方の面にフオーカスは合わない。高い方の面
をＳａ、低い方の面をＳｂとし、基準電源１２ａ，１２
ｂを可変して、Ｅ茂，ＥＢｂで示す如く水平走査一本お
きにＳａ，Ｓｂ面にフオーカスが合わされたとすると、
Ｅ脇によっては第２図ｂ，ＥＢｂによっては第２図ｃに
示す如き信号が検出器８から得られる。即ち、フオーカ
スが合っている場合とそうでない場合とでは周波数成分
や信号量に大きな差が生ずる。そして、検出器８からは
−水平走査毎に第２図ｂとｃの信号が交互に出力される
ことになり、この信号が比較回路により比較されるわけ
である。この比較においては例えば信号量の平均値が用
いられる。今、第１水平走査（奇数ライン）で第２図ａ
におけるＥ弦の状態、第２水平走査（偶数ライン）でＥ
Ｂｂの状態にフオーカスがされているとすると、第１水
平走査時における各部の信号は第３図に示す如きものと
なる。同図ａは検出器出力信号、ｂは遅延回路１４の出
力信号、ｃはプランキング信号、ｄは表示される映像信
号である。同図より、第１水平走査時には遅延回路１４
には信号が入力されていないので、全て遅延回路の出力
より検出器出力の方が大きいので、プランキング信号は
発生せず、陰極線管１に表示される信号はそのままの信
号となる。第２水平走査時には第１水平走査時の信号が
遅延回路１４から出力されるので、各部の信号は第４図
の如きものとなる。第４図ａは第２走査で得られた信号
、ｂ図は第３図ａの信号である。この両信号の比較から
、ｂ図の信号が大きい期間のみｃ図の如きプランキング
信号が生じ、結果として、ｄ図の如きＳｂ面にフオーカ
スがあっているときの信号のみが表示される。第３水平
走査時には、第２走査時の信号が遅延回路１４から出力
されるので、各部の信号は第５図の如きものとなり「今
度はＳａ面にフオーカスが合っているときの信号のみが
表示されることになる。以下順次第４図、第５図の状態
が繰り返されるので、陰極線画面上には、Ｓａ，Ｓｂ両
面にフオーカスの合った鮮明な画像が表示されることに
なる。尚、本発明においては、夫々の面の表示が一水平
走査おきに行われるので、分解能の高い観察を行いたい
ときは水平走査線の数を増加する必要がある。
又、ＳａとＳｂが大きく離れているときは、焦点距離の
切換中が大きくなり、像に回転が生ずるので、この切襖
に同期してスキャンローテーションを働かせ、像の回転
を相殺すると良い。以上の如くなせば、凹凸の激しいも
のや、断層のある試料について、広い範囲にわたり、フ
オーカスの合った状態で画像表示することができる。
切換中が大きくなり、像に回転が生ずるので、この切襖
に同期してスキャンローテーションを働かせ、像の回転
を相殺すると良い。以上の如くなせば、凹凸の激しいも
のや、断層のある試料について、広い範囲にわたり、フ
オーカスの合った状態で画像表示することができる。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック線図、第２図
乃至第５図はその動作説明図である。 １・・・電子銃、２…集東レンズ、３…対物レンズ、４
・・・試料、５ａ，及び５ｂ・・・偏向コイル、６・・
・走査電源、７・・・陰極線管、８・・・検出器、９及
び１０・・・増中器、１１・・・対物レンズ電源、１２
ａ，１２ｂ・・・基準電源、１３・・・スイッチ、１４
…遅延回路、１５…比較回路、１６…プランキング回路
。 汁１図 矛２図 矛３図 オ４図 オタ図
乃至第５図はその動作説明図である。 １・・・電子銃、２…集東レンズ、３…対物レンズ、４
・・・試料、５ａ，及び５ｂ・・・偏向コイル、６・・
・走査電源、７・・・陰極線管、８・・・検出器、９及
び１０・・・増中器、１１・・・対物レンズ電源、１２
ａ，１２ｂ・・・基準電源、１３・・・スイッチ、１４
…遅延回路、１５…比較回路、１６…プランキング回路
。 汁１図 矛２図 矛３図 オ４図 オタ図
Claims (1)
- １ 電子線により試料表面を水平及び垂直方向に走査し
、該走査により試料各部より発生する情報を検出器によ
り検出し、前記水平、垂直走査と同期した陰極線管に輝
度変調信号として導入し、試料画像を表示する装置にお
いて、前記電子線の焦点を一水平走査毎に二段階に交互
に切換える手段、検出信号を水平走査の一周期だけ遅延
させる手段、該遅延手段からの出力信号と検出器からの
検出信号を比較する回路及び該比較回路において、遅延
回路からの出力信号の方が大きい期間のみ、前記陰極線
管をプランキング状態にする為の信号発生回路を備えて
いることを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13043280A JPS606070B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13043280A JPS606070B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5755045A JPS5755045A (en) | 1982-04-01 |
| JPS606070B2 true JPS606070B2 (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=15034092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13043280A Expired JPS606070B2 (ja) | 1980-09-19 | 1980-09-19 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606070B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0662183U (ja) * | 1993-02-16 | 1994-09-02 | 宣幸 高桑 | 防水扉装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3684943B2 (ja) * | 1999-10-19 | 2005-08-17 | 株式会社日立製作所 | ビーム走査形検査装置 |
-
1980
- 1980-09-19 JP JP13043280A patent/JPS606070B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0662183U (ja) * | 1993-02-16 | 1994-09-02 | 宣幸 高桑 | 防水扉装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5755045A (en) | 1982-04-01 |
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