JPH0355935B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0355935B2 JPH0355935B2 JP6741880A JP6741880A JPH0355935B2 JP H0355935 B2 JPH0355935 B2 JP H0355935B2 JP 6741880 A JP6741880 A JP 6741880A JP 6741880 A JP6741880 A JP 6741880A JP H0355935 B2 JPH0355935 B2 JP H0355935B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- scanning
- output
- video signal
- generation circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 13
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査電子顕微鏡等における画像表示装
置の改良に関する。
置の改良に関する。
走査電子顕微鏡やＸ線マイクロアナライザー等
の電子線装置においては、電子線による試料走査
と同期させたブラウン管（CRT）の輝度変調信
号として試料から得られる検出信号を用いて試料
走査像を表示するのが普通であるが、この輝度変
調走査像とは別に所謂Ｙ軸変調像（YMI）を表
示し得るようにした装置も多い。このYMI表示
の原理を説明するために第１図に走査電子顕微鏡
の構成を示す。
の電子線装置においては、電子線による試料走査
と同期させたブラウン管（CRT）の輝度変調信
号として試料から得られる検出信号を用いて試料
走査像を表示するのが普通であるが、この輝度変
調走査像とは別に所謂Ｙ軸変調像（YMI）を表
示し得るようにした装置も多い。このYMI表示
の原理を説明するために第１図に走査電子顕微鏡
の構成を示す。
第１図の装置において、電子銃１から発生した
電子線２は集束レンズ３により試料４に細く収束
された状態で照射する。電子線照射により試料４
から発生した２次電子等の信号は検出器５により
検出され、その出力は増幅器６と連動切換スイツ
チ７，８の端子ａを介してブラウン管９の輝度変
調用グリツド１０に印加される。該ブラウン管９
の偏向コイル１１Ｘ，１１Ｙには夫々水平走査信
号発生回路１２と該回路と同期した垂直走査信号
発生回路１３からの走査信号が直接又は加算回路
１４を介して供給される。一方前記走査信号発生
回路１２，１３の出力は倍率増幅器１５を介して
前記試料照射電子線に対する偏向コイル１６Ｘ，
１６Ｙにも供給されているので、ブラウン管９の
画面には試料表面に関する通常の輝度変調走査像
が表示されることになる。又、前記走査信号発生
回路１２，１３の出力走査信号における帰線時間
にはブランキング回路１７が作動しブラウン管９
のブランキング用グリツド１８にブランキング信
号を印加する。
電子線２は集束レンズ３により試料４に細く収束
された状態で照射する。電子線照射により試料４
から発生した２次電子等の信号は検出器５により
検出され、その出力は増幅器６と連動切換スイツ
チ７，８の端子ａを介してブラウン管９の輝度変
調用グリツド１０に印加される。該ブラウン管９
の偏向コイル１１Ｘ，１１Ｙには夫々水平走査信
号発生回路１２と該回路と同期した垂直走査信号
発生回路１３からの走査信号が直接又は加算回路
１４を介して供給される。一方前記走査信号発生
回路１２，１３の出力は倍率増幅器１５を介して
前記試料照射電子線に対する偏向コイル１６Ｘ，
１６Ｙにも供給されているので、ブラウン管９の
画面には試料表面に関する通常の輝度変調走査像
が表示されることになる。又、前記走査信号発生
回路１２，１３の出力走査信号における帰線時間
にはブランキング回路１７が作動しブラウン管９
のブランキング用グリツド１８にブランキング信
号を印加する。
第１図の装置において、切換スイツチ７，８の
摺動子を端子ｂ側へ切り換えると、ブラウン管９
の輝度変調用グリツド１０には直流電源１９の出
力が印加されるのでブラウン管９の画面を走査す
る電子線の強度は一定となる。同時に検出器５の
出力は増幅器６を介して加算回路１４の一定の入
力に印加されて垂直走査信号と加算された後、該
加算信号が映像信号としてブラウン管９の垂直偏
向コイル１１Ｙに印加される。今、このようにし
て一画面の走査線の数が比較的少ない場合に得ら
れるＹ軸変調像の一例を第２図に示す。第２図に
おいて波形のピークが重なる部分は輝度が高くな
つて、立体感のある肉眼観察が極めて困難とな
る。
摺動子を端子ｂ側へ切り換えると、ブラウン管９
の輝度変調用グリツド１０には直流電源１９の出
力が印加されるのでブラウン管９の画面を走査す
る電子線の強度は一定となる。同時に検出器５の
出力は増幅器６を介して加算回路１４の一定の入
力に印加されて垂直走査信号と加算された後、該
加算信号が映像信号としてブラウン管９の垂直偏
向コイル１１Ｙに印加される。今、このようにし
て一画面の走査線の数が比較的少ない場合に得ら
れるＹ軸変調像の一例を第２図に示す。第２図に
おいて波形のピークが重なる部分は輝度が高くな
つて、立体感のある肉眼観察が極めて困難とな
る。
本発明はこのような欠点を除くことを目的とす
るもので、簡単な構成のブランキング信号発生回
路を従来装置に付加することにより、立体感のあ
るＹ軸変調走査像を得ることを特徴とする。以下
面に基づいて本発明を詳説する。
るもので、簡単な構成のブランキング信号発生回
路を従来装置に付加することにより、立体感のあ
るＹ軸変調走査像を得ることを特徴とする。以下
面に基づいて本発明を詳説する。
第３図は本発明の一実施例装置を示す略図で、
第１図と同一符合を付したものは同一構成物を表
わしており第１図の装置と比較して第２のブラン
キング信号発生回路２０が設けられその出力が前
述したブランキング回路１７の出力と加算回路２
１により加算されてブラウン管９のブランキング
用グリツド１８に印加される構成となつている。
又、通常の電子線走査は上から下へ移動するが、
第３図の装置においては垂直走査信号発生回路１
３が下から上へ移動するような走査信号を発生す
る。
第１図と同一符合を付したものは同一構成物を表
わしており第１図の装置と比較して第２のブラン
キング信号発生回路２０が設けられその出力が前
述したブランキング回路１７の出力と加算回路２
１により加算されてブラウン管９のブランキング
用グリツド１８に印加される構成となつている。
又、通常の電子線走査は上から下へ移動するが、
第３図の装置においては垂直走査信号発生回路１
３が下から上へ移動するような走査信号を発生す
る。
第４図は前記ブランキング信号発生回路２０の
構成の一例を示すもので、入力端子Ｘからの映像
信号は直列接続されたｎ個のアナログ遅延素子
BBD（BUCKET BRIGADE DEVICE）Ｂ１，
Ｂ２，Ｂ３…，Bo-1，Boの一端に印加されると
共にｎ個の比較回路Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，…，Co
-1，Coの一方の入力端子に印加される。各比較回
路の他の入力端子には夫々前記BBDの各出力が
印加されており、BBDからの出力信号が端子Ｘ
からの入力映像信号よりも大きいときに比較回路
は出力信号を発生しOR回路２３を介介して出力
端子Ｙに出力信号を与える。ここで前記BBDの
遅延時間は、水平走査信号発生回路１２の繰り返
し周期と一致しており、その個数ｎは一画面を走
査する水平走査線の数に一致させることが望まし
いが、画面巾一杯のピーク信号が生じる可能性が
少ない場合にはその半数程度にしても差し支えな
い。
構成の一例を示すもので、入力端子Ｘからの映像
信号は直列接続されたｎ個のアナログ遅延素子
BBD（BUCKET BRIGADE DEVICE）Ｂ１，
Ｂ２，Ｂ３…，Bo-1，Boの一端に印加されると
共にｎ個の比較回路Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，…，Co
-1，Coの一方の入力端子に印加される。各比較回
路の他の入力端子には夫々前記BBDの各出力が
印加されており、BBDからの出力信号が端子Ｘ
からの入力映像信号よりも大きいときに比較回路
は出力信号を発生しOR回路２３を介介して出力
端子Ｙに出力信号を与える。ここで前記BBDの
遅延時間は、水平走査信号発生回路１２の繰り返
し周期と一致しており、その個数ｎは一画面を走
査する水平走査線の数に一致させることが望まし
いが、画面巾一杯のピーク信号が生じる可能性が
少ない場合にはその半数程度にしても差し支えな
い。
第５図及び第６図は第４図に示す回路の動作を
説明するためのもので、第５図の横軸Ｈは時間
（又はブラウン管画面の水平軸）を、又縦軸Ｖは
映像信号値に垂直走査信号値を加算した値を表わ
したものである。第５図において、最初（画面の
最下段）の電子線走査によつて得られる映像信号
波形l1とその後に得られる各映像信号波形l2，l3，
…，lo-1，loが順次上方に表示される。このとき、
最初の映像信号波形l1が発生した状態ではブラン
キング信号発生回路２０の各BBDの出力が零で
あるため各比較回路Ｃ１，Ｃ２，…，Coは信号
を出力せず従つてOR回路の出力も第６図中Ｎ１
に示す如く何の信号も生じない。次に２回目の映
像信号l2が発生するとBBDのＢ１の出力に映像信
号l1が現われて、比較回路Ｃ１において信号l2と
比較されl2＜l1のときに信号を発生し、OR回路２
３をとおして第６図N2に示すようなブランキン
グ信号が出力端子Ｙに現われる。更に映像信号l3
を発生すると、BBDのB1の出力に映像信号l2が
Ｂ２の出力に映像信号l1が現われて比較回路Ｃ
１，Ｃ２において夫々l3とl2、l3とl1の大小が比較
されl3＜l2，l3＜l1のいずれか、又は双方が満たさ
れるときに比較回路から出力信号が発生し、OR
回路２３で加算されたブランキング信号波形は第
６図中Ｎ３で示すものとなる。以後同様にしてブ
ランキング信号No-1，No等が発生するが、これ
らのブランキング信号は新たな映像信号（実際に
は検出器からの映像信号に垂直走査信号値を加え
たもの）のレベルがそれ以前に発生した映像信号
のレベルより小さな場合、即ち、新たな映像信号
がそれ以前に発生した映像信号に基づくライン表
示位置より下側の表示位置に対応する値を有する
場合に発生する。このことはブラウン管画面の下
側（視覚的には手前側）に表示される映像信号は
画面の上側（視覚的には遠方）に表示される映像
信号によつてカツトされる部分（第５図中に破線
で示してある）が生じることを意味しており、ブ
ラウン管画面に表示されるYMIの観察に立体感
を与えて観察を容易にする。又、一面の走査や終
了する毎に前記BBDの全ては垂直走査信号の帰
線時間に発生するブランキング信号によつてクリ
アーされる。このための手段として、第７図に示
す如く、入力端子Ｘと第１段目のBBDであるＢ
１との間にＣ−MOSスイツチ２４を設け、該ス
イツチを垂直走査信号発生回路１３からのブラン
キング信号によつてオフになるように構成しても
よい。
説明するためのもので、第５図の横軸Ｈは時間
（又はブラウン管画面の水平軸）を、又縦軸Ｖは
映像信号値に垂直走査信号値を加算した値を表わ
したものである。第５図において、最初（画面の
最下段）の電子線走査によつて得られる映像信号
波形l1とその後に得られる各映像信号波形l2，l3，
…，lo-1，loが順次上方に表示される。このとき、
最初の映像信号波形l1が発生した状態ではブラン
キング信号発生回路２０の各BBDの出力が零で
あるため各比較回路Ｃ１，Ｃ２，…，Coは信号
を出力せず従つてOR回路の出力も第６図中Ｎ１
に示す如く何の信号も生じない。次に２回目の映
像信号l2が発生するとBBDのＢ１の出力に映像信
号l1が現われて、比較回路Ｃ１において信号l2と
比較されl2＜l1のときに信号を発生し、OR回路２
３をとおして第６図N2に示すようなブランキン
グ信号が出力端子Ｙに現われる。更に映像信号l3
を発生すると、BBDのB1の出力に映像信号l2が
Ｂ２の出力に映像信号l1が現われて比較回路Ｃ
１，Ｃ２において夫々l3とl2、l3とl1の大小が比較
されl3＜l2，l3＜l1のいずれか、又は双方が満たさ
れるときに比較回路から出力信号が発生し、OR
回路２３で加算されたブランキング信号波形は第
６図中Ｎ３で示すものとなる。以後同様にしてブ
ランキング信号No-1，No等が発生するが、これ
らのブランキング信号は新たな映像信号（実際に
は検出器からの映像信号に垂直走査信号値を加え
たもの）のレベルがそれ以前に発生した映像信号
のレベルより小さな場合、即ち、新たな映像信号
がそれ以前に発生した映像信号に基づくライン表
示位置より下側の表示位置に対応する値を有する
場合に発生する。このことはブラウン管画面の下
側（視覚的には手前側）に表示される映像信号は
画面の上側（視覚的には遠方）に表示される映像
信号によつてカツトされる部分（第５図中に破線
で示してある）が生じることを意味しており、ブ
ラウン管画面に表示されるYMIの観察に立体感
を与えて観察を容易にする。又、一面の走査や終
了する毎に前記BBDの全ては垂直走査信号の帰
線時間に発生するブランキング信号によつてクリ
アーされる。このための手段として、第７図に示
す如く、入力端子Ｘと第１段目のBBDであるＢ
１との間にＣ−MOSスイツチ２４を設け、該ス
イツチを垂直走査信号発生回路１３からのブラン
キング信号によつてオフになるように構成しても
よい。
尚、本発明によるYMIの表示はブラウン管画
面を下から上へ走査する方式であるので、通常の
走査像との切換えに際しては垂直走査信号の波形
を第８図ａに示すものからｂに示すものへ変える
必要がある。この切換が好ましくない場合には垂
直走査信号の波形を第８図ａに示すものに固定し
ておき、第４図の各比較回路に送られる入力映像
信号の極性を反転させるようにしても良い。この
ように構成することにより、各映像信号のレベル
がそれ以前の水平走査期間に得られた映像信号の
レベルよりも大きいとき、即ち、各映像信号がそ
れ以前に得られた映像信号に基づくライン表示位
置より上側の表示位置に対応する値を有するとき
に、ブランキング信号が発生することになり、そ
のＹ軸変調像は第９図に示すようなものになる。
面を下から上へ走査する方式であるので、通常の
走査像との切換えに際しては垂直走査信号の波形
を第８図ａに示すものからｂに示すものへ変える
必要がある。この切換が好ましくない場合には垂
直走査信号の波形を第８図ａに示すものに固定し
ておき、第４図の各比較回路に送られる入力映像
信号の極性を反転させるようにしても良い。この
ように構成することにより、各映像信号のレベル
がそれ以前の水平走査期間に得られた映像信号の
レベルよりも大きいとき、即ち、各映像信号がそ
れ以前に得られた映像信号に基づくライン表示位
置より上側の表示位置に対応する値を有するとき
に、ブランキング信号が発生することになり、そ
のＹ軸変調像は第９図に示すようなものになる。
第１図はＹ軸変調走査像を表示する装置の構成
図、第２図は第１図の装置によつて表示されるＹ
軸変調像の一例を示す図、第３図は本発明の一実
施例装置の構成図、第４図及び第７図は第３図の
装置に使用される回路を示す図、第５図，第６
図，及び第８図は第３図の装置の動作を説明する
ための略図、第９図は本発明の他の実施例装置の
動作を説明するための略図である。 １：電子銃、４：試料、５：検出器、１２：水
平走査信号発生回路、１３：垂直走査信号発生回
路、１４：加算回路、１５：倍率制御回路、１
７：ブランキング回路、２０：ブランキング信号
発生回路、２１：加算回路、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，
…，Bo-1，Bo：遅延素子、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…，
Co-1，Co：比較回路、２３：OR回路、２４：Ｃ
−MOS。
図、第２図は第１図の装置によつて表示されるＹ
軸変調像の一例を示す図、第３図は本発明の一実
施例装置の構成図、第４図及び第７図は第３図の
装置に使用される回路を示す図、第５図，第６
図，及び第８図は第３図の装置の動作を説明する
ための略図、第９図は本発明の他の実施例装置の
動作を説明するための略図である。 １：電子銃、４：試料、５：検出器、１２：水
平走査信号発生回路、１３：垂直走査信号発生回
路、１４：加算回路、１５：倍率制御回路、１
７：ブランキング回路、２０：ブランキング信号
発生回路、２１：加算回路、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，
…，Bo-1，Bo：遅延素子、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３…，
Co-1，Co：比較回路、２３：OR回路、２４：Ｃ
−MOS。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子線を試料表面に集束させた状態で照射す
る手段と、前記試料表面上における電子線の照射
位置を水平走査信号発生回路と垂直走査信号発生
回路の出力によつて二次元的に走査する偏向手段
と、電子線照射により試料から発生する信号を検
出する検出手段と、前記水平走査信号発生回路の
出力がその水平偏向手段に供給される画像表示手
段と、該画像表示手段の垂直偏向手段に前記検出
手段の出力信号と前記垂直走査信号発生回路の出
力を加算したものを映像信号として供給する手段
を具備する装置において、前記画像表示手段の表
示画面を上から下へ走査する場合には各水平走査
毎に得られる映像信号がそれ以前に得られた映像
信号に基づくライン表示位置より上側の表示位置
に対応するときに前記画像表示手段にブランキン
グ信号を与え、該表示画面を下から上へ走査する
場合には各水平走査毎に得られる映像信号がそれ
以前に得られた映像信号に基づくライン表示位置
より下側の表示位置に対応するときに前記画像表
示手段にブランキング信号を与えるブランキング
信号発生手段を設けたことを特徴とする走査電子
顕微鏡等用画像表示装置。 ２ 前記ブランキング信号発生手段を、前記映像
信号が加算される直列接続されたｎ個の遅延素子
と、該遅延素子の出力と前記映像信号の出力強度
を比較するｎ個の比較回路とを用いて構成すると
共に、前記遅延素子の遅延時間を前記水平走査信
号発生回路の出力周期と一致させたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載される走査電子
顕微鏡等用画像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6741880A JPS56162466A (en) | 1980-05-21 | 1980-05-21 | Picture display unit for scanning electron microscope etc. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6741880A JPS56162466A (en) | 1980-05-21 | 1980-05-21 | Picture display unit for scanning electron microscope etc. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56162466A JPS56162466A (en) | 1981-12-14 |
| JPH0355935B2 true JPH0355935B2 (ja) | 1991-08-26 |
Family
ID=13344334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6741880A Granted JPS56162466A (en) | 1980-05-21 | 1980-05-21 | Picture display unit for scanning electron microscope etc. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56162466A (ja) |
-
1980
- 1980-05-21 JP JP6741880A patent/JPS56162466A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56162466A (en) | 1981-12-14 |
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