JPS6031655U - イオンマイクロアナライザ - Google Patents

イオンマイクロアナライザ

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Publication number
JPS6031655U
JPS6031655U JP12325683U JP12325683U JPS6031655U JP S6031655 U JPS6031655 U JP S6031655U JP 12325683 U JP12325683 U JP 12325683U JP 12325683 U JP12325683 U JP 12325683U JP S6031655 U JPS6031655 U JP S6031655U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion
micro analyzer
secondary ions
ion micro
mass spectrometry
Prior art date
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Pending
Application number
JP12325683U
Other languages
English (en)
Inventor
泉　栄一
忠男 三村
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のＩＭＡの原理図、第２図は試料例を示す
図、第３図は従来の分布像（特定質量イオン像）を示す
図、第４図は従来の表面像（全二次イオン像）を示す図
、第５図、第６図は本考案の実施例説明図、第７図、第
９図は分布像表示例を示す図、第８図は他の実施例の説
明図である。 １・・・イオン銃、２・・・イオンビーム、３・・・偏
向電極、４・・・試料、５・・・二次イオン、６・・・
質量分析計、７・・・増巾器、８・・・偏向コイル、９
・・・ＣＲＴ。 １０・・・励磁回路、１１・・・走査信号発生器、１２
・・・偏向電源、１３・・・スイッチ、１４・・・検知
器、１５・・・カラー表示装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料に一次イオンビームを照射することにより放出する
    二次イオンを検出する手段と該二次イオンを質量分析す
    る手段と前記質量分析後の特定質量二次イオンを検出す
    る手段を備えたイオンマイクロアナライザにおいて、各
    々の検出信号を異った色または輝度にて同時表示する手
    段を備えたことを特徴とするイオンマイクロアナライザ
    。
JP12325683U 1983-08-10 1983-08-10 イオンマイクロアナライザ Pending JPS6031655U (ja)

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JP12325683U JPS6031655U (ja) 1983-08-10 1983-08-10 イオンマイクロアナライザ

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JP12325683U JPS6031655U (ja) 1983-08-10 1983-08-10 イオンマイクロアナライザ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6031655U true JPS6031655U (ja) 1985-03-04

Family

ID=30281428

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12325683U Pending JPS6031655U (ja) 1983-08-10 1983-08-10 イオンマイクロアナライザ

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JP (1) JPS6031655U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019114567A (ja) * 2009-11-06 2019-07-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ イオンビーム装置および試料解析方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019114567A (ja) * 2009-11-06 2019-07-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ イオンビーム装置および試料解析方法

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