JPS6126249U - 最適絞り径指示装置 - Google Patents

最適絞り径指示装置

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JPS6126249U
JPS6126249U JP11227484U JP11227484U JPS6126249U JP S6126249 U JPS6126249 U JP S6126249U JP 11227484 U JP11227484 U JP 11227484U JP 11227484 U JP11227484 U JP 11227484U JP S6126249 U JPS6126249 U JP S6126249U
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JP
Japan
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aperture diameter
optimum
beam current
current value
aperture
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Pending
Application number
JP11227484U
Other languages
English (en)
Inventor
昭次郎 田形
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図は本考案の１実施例を説明する図である。 １・・・電子銃、２・・・収束レンズ、３・・・対物レ
ンズ、４・・・リミッタ、５・・・対物レンズ絞り、６
・・・試料、７・・・絶縁部、８・・・スイッチ、９４
・・・高圧電源部、１０・・・収束レンズ電源部、１１
・・・対物レンズ電源部、１２・・・絞り検出指示回路
、１３・・・電流検出演算回路、１４・・・比較表示Ｌ
ＥＤ回路、１５・・・電流表示ＬＥＤ回路。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１） 走査形分析装置の対物レンズ絞り７バ最適な
    絞り径にセットされているか否かを表示する最適絞り径
    指示装置であって、絞り装置にセントされているセット
    絞り径を検出する絞り径検出手段、絞り装置ｆＪ．）ら
    電子線電流値を検出し，て該電子線電流値と上記セット
    絞り径とをもとに試料照射ビーム電流値を計算して該試
    料照射ビーム電流値を表示するビーム電流演算表示手段
    、および収束レンズの励磁に従って求められる最適絞り
    径と上記セット絞り径との比較を行い両者が一致するか
    否かに応じて異なる表示態様により最適絞り径に相尚す
    る値を衷示する絞り径比較表示手段を備えたことを特徴
    とする最適絞り径指示装置。
  2. （２）絞り径比較表示手段は、最適絞り径とセット絞り
    径とが一致した場合には一定の輝度により、一致しなか
    った場合には点滅して最適絞り径に相当する値を表示す
    ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第（１）項
    に記載の最適絞り径指示装置。
JP11227484U 1984-07-24 1984-07-24 最適絞り径指示装置 Pending JPS6126249U (ja)

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