JPS60105055U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

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Publication number
JPS60105055U
JPS60105055U JP19762483U JP19762483U JPS60105055U JP S60105055 U JPS60105055 U JP S60105055U JP 19762483 U JP19762483 U JP 19762483U JP 19762483 U JP19762483 U JP 19762483U JP S60105055 U JPS60105055 U JP S60105055U
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JP
Japan
Prior art keywords
objective lens
field
electron beam
deflection means
electronic microscope
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Pending
Application number
JP19762483U
Other languages
English (en)
Inventor
健二 小原
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２図は一実
施例装置に使用される視野補正入力回路の構成図、第３
図は本考案を説明するための図である。 １：試料、２：透過電子線、３：対物レンズ、４：結像
レンズ系、５：蛍光板、６：偏向コイル、７゛：偏向信
号発生回路、８：対物レンズ用電源、９：フォーカス調
整回路、１０：視野移動入力回路、１１：加算回路、１
２：演算回路、１３：視野補正入力回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズ磁場内に配置される試料を照射する電子線又
    は試料を透過する電子線を偏向するための偏向手段と、
    該偏向手段へ可変直流信号を供給する視野移動手段と、
    該視野移動手段の出力Ｘと前記対物レンズへ供給される
    励磁電流の値Ｉ及びその変化量ΔＩに基づいて前記偏向
    手段へ供給する補正信号の強さを演算する演算手段を設
    けたことを特徴とする電子顕微鏡。
JP19762483U 1983-12-22 1983-12-22 電子顕微鏡 Pending JPS60105055U (ja)

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JP19762483U JPS60105055U (ja) 1983-12-22 1983-12-22 電子顕微鏡

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JPS60105055U true JPS60105055U (ja) 1985-07-17

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ID=30756015

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