JPS6133360U - 電子線エネルギ−分析装置 - Google Patents

電子線エネルギ−分析装置

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JPS6133360U
JPS6133360U JP11818284U JP11818284U JPS6133360U JP S6133360 U JPS6133360 U JP S6133360U JP 11818284 U JP11818284 U JP 11818284U JP 11818284 U JP11818284 U JP 11818284U JP S6133360 U JPS6133360 U JP S6133360U
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JP
Japan
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electron beam
energy
energy analyzer
beam energy
analyzer
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Pending
Application number
JP11818284U
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English (en)
Inventor
哲夫 及川
Original Assignee
日本電子株式会社
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Pending legal-status Critical Current

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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は本考案装
置のワブラー用コイルに供給される方形波信号、第３図
は従来装置の構成図、第４図は試料を透過した電子線の
エネルギースペクトルを示すグラフである。 １：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、４：試料、
５：対物レンズ、６：制限視野絞り、７：入射レンズ、
８：エネルギーアナライザ、８ａ， ８ｂｔ ８ｃ
：励磁コイル、９：励磁電線、１０ ａｔ ｉ Ｏａ
’１ １ ０””エネルギー分散した電′子、１１：
エネルギー選択スリット、１２：中間レンズ、１３：投
影レンズ、１４：スクリーン、１５：エネルギーフィル
タ像、１６：色消し像、１７ａ，１７ｂ，１７ｃ：ワブ
ラー用コイル、１８：ワブラー用コイル電源。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 集束された電子線を試料に照射する手段、該試料により
    エネルギー損失をうけた電子線をエネルギー分析するた
    めのエネルギーアナライザ、該エネルギーアナライザを
    通過した電子線を表示スクリーン上に結像するためのレ
    ンズ系を備えた装置において、該エネルギーアナライザ
    のエネルギー掃引コイルに周期的な方形波信号を供給す
    るための手段を設けたことを特徴とする電子線エネルギ
    ー分析装置。
JP11818284U 1984-07-31 1984-07-31 電子線エネルギ−分析装置 Pending JPS6133360U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10162772A (ja) * 1996-12-03 1998-06-19 Jeol Ltd エネルギーフィルタ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10162772A (ja) * 1996-12-03 1998-06-19 Jeol Ltd エネルギーフィルタ

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