JPS6133360U - 電子線エネルギ−分析装置 - Google Patents
電子線エネルギ−分析装置Info
- Publication number
- JPS6133360U JPS6133360U JP11818284U JP11818284U JPS6133360U JP S6133360 U JPS6133360 U JP S6133360U JP 11818284 U JP11818284 U JP 11818284U JP 11818284 U JP11818284 U JP 11818284U JP S6133360 U JPS6133360 U JP S6133360U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- energy
- energy analyzer
- beam energy
- analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例の構成図、第2図は本考案装
置のワブラー用コイルに供給される方形波信号、第3図
は従来装置の構成図、第4図は試料を透過した電子線の
エネルギースペクトルを示すグラフである。 1:電子銃、2:電子線、3:集束レンズ、4:試料、
5:対物レンズ、6:制限視野絞り、7:入射レンズ、
8:エネルギーアナライザ、8a, 8bt 8c
:励磁コイル、9:励磁電線、10 at i Oa
’1 1 0””エネルギー分散した電′子、11:
エネルギー選択スリット、12:中間レンズ、13:投
影レンズ、14:スクリーン、15:エネルギーフィル
タ像、16:色消し像、17a,17b,17c:ワブ
ラー用コイル、18:ワブラー用コイル電源。
置のワブラー用コイルに供給される方形波信号、第3図
は従来装置の構成図、第4図は試料を透過した電子線の
エネルギースペクトルを示すグラフである。 1:電子銃、2:電子線、3:集束レンズ、4:試料、
5:対物レンズ、6:制限視野絞り、7:入射レンズ、
8:エネルギーアナライザ、8a, 8bt 8c
:励磁コイル、9:励磁電線、10 at i Oa
’1 1 0””エネルギー分散した電′子、11:
エネルギー選択スリット、12:中間レンズ、13:投
影レンズ、14:スクリーン、15:エネルギーフィル
タ像、16:色消し像、17a,17b,17c:ワブ
ラー用コイル、18:ワブラー用コイル電源。
Claims (1)
- 集束された電子線を試料に照射する手段、該試料により
エネルギー損失をうけた電子線をエネルギー分析するた
めのエネルギーアナライザ、該エネルギーアナライザを
通過した電子線を表示スクリーン上に結像するためのレ
ンズ系を備えた装置において、該エネルギーアナライザ
のエネルギー掃引コイルに周期的な方形波信号を供給す
るための手段を設けたことを特徴とする電子線エネルギ
ー分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11818284U JPS6133360U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 電子線エネルギ−分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11818284U JPS6133360U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 電子線エネルギ−分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6133360U true JPS6133360U (ja) | 1986-02-28 |
Family
ID=30677070
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11818284U Pending JPS6133360U (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 電子線エネルギ−分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6133360U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10162772A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Jeol Ltd | エネルギーフィルタ |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP11818284U patent/JPS6133360U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10162772A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-19 | Jeol Ltd | エネルギーフィルタ |
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