JPS5946747A - 荷電粒子線エネルギ−分析装置 - Google Patents
荷電粒子線エネルギ−分析装置Info
- Publication number
- JPS5946747A JPS5946747A JP57157589A JP15758982A JPS5946747A JP S5946747 A JPS5946747 A JP S5946747A JP 57157589 A JP57157589 A JP 57157589A JP 15758982 A JP15758982 A JP 15758982A JP S5946747 A JPS5946747 A JP S5946747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- energy
- analyzer
- lens system
- particle beam
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は広い１ネルギー範囲に渡り高分解能の１ネルＶ
−分析が可能な装置に関する。
−分析が可能な装置に関する。
例えば、透過電子顕微鏡におい−（は試１′Ｍを透過し
た電子線をコーネルギーアプライリ゛−に５９さ、該試
料によるエネルギー［］スのスペクトルを得る装置が実
用されている。この装置の−（ζ１を第１図（Ｊ示しで
ある。図中、１は試料であり、該試オ′１には図示外の
電子銃から放射され集束レンズにＪ、・）で集束された
電子線２が照！＝ＩされＣいる。試わ１１は薄い電子の
通過しヤ）りいものＣあり、該試わ１を通過し、エネル
ギーロスを受けた電子は対物レンズ他の結像レンズ系３
にＪ、り結像さ４する。該結像後の電子は］ニネルＡ：
−ノ′ブライザ−１に）９人され、１オルギ一分析され
て検出器のスリツ１−５１に結１象（）Ａ−ノｊス）さ
れる。該スリット（ｐ、１ｊｊｊ過（〕た電子線は検出
器６にＪ：り検出され、その出力は増幅器７を介して表
示ｎ ｆｆｃｆ又ｔｉｔ記ｓ ｉｔ Ｅ３ ＋＝供給さ
れる。前記エネルギーアナライザーの励磁−」・ｒル０
には電源１０Ｊ、リエネルー１゛一部引信号が供給され
Ｃおり、異なった−［ネル１ニーの電１′ル・次々（４
二検出器に大剣ｌしめている。前記電源からの出力の一
部は前記表示装置８にも送られ−（おり、該表示装１Ｎ
十には前記検出器からのイへ号に基づくエネルギースペ
ク１−ルが１９られる。
た電子線をコーネルギーアプライリ゛−に５９さ、該試
料によるエネルギー［］スのスペクトルを得る装置が実
用されている。この装置の−（ζ１を第１図（Ｊ示しで
ある。図中、１は試料であり、該試オ′１には図示外の
電子銃から放射され集束レンズにＪ、・）で集束された
電子線２が照！＝ＩされＣいる。試わ１１は薄い電子の
通過しヤ）りいものＣあり、該試わ１を通過し、エネル
ギーロスを受けた電子は対物レンズ他の結像レンズ系３
にＪ、り結像さ４する。該結像後の電子は］ニネルＡ：
−ノ′ブライザ−１に）９人され、１オルギ一分析され
て検出器のスリツ１−５１に結１象（）Ａ−ノｊス）さ
れる。該スリット（ｐ、１ｊｊｊ過（〕た電子線は検出
器６にＪ：り検出され、その出力は増幅器７を介して表
示ｎ ｆｆｃｆ又ｔｉｔ記ｓ ｉｔ Ｅ３ ＋＝供給さ
れる。前記エネルギーアナライザーの励磁−」・ｒル０
には電源１０Ｊ、リエネルー１゛一部引信号が供給され
Ｃおり、異なった−［ネル１ニーの電１′ル・次々（４
二検出器に大剣ｌしめている。前記電源からの出力の一
部は前記表示装置８にも送られ−（おり、該表示装１Ｎ
十には前記検出器からのイへ号に基づくエネルギースペ
ク１−ルが１９られる。
この様な装置において、試料を通過し殆んど１−ネルギ
ー［−１スを受りイｇい電子は結像レンズ糸により図中
ａ （実線）の位置に結像づるに対し、−［ネルギーロ
スのある電子は例えば１）（点線）の位置に結像覆る。
ー［−１スを受りイｇい電子は結像レンズ糸により図中
ａ （実線）の位置に結像づるに対し、−［ネルギーロ
スのある電子は例えば１）（点線）の位置に結像覆る。
これらの点を大剣点どした電子線はアナライＩＪ’ −
４により分光されると同時に夫々点ａ′及びｌ］ ’
に結像りる。図から解るＪ、うにａ′はスリット５上に
丁度フォーカスしているが、ｂ′はそれよりか４１つ前
方にフォーカスし−Ｃいるので前記電源１０からの掃引
信号によって磁場強度を変化させ、点線で示す電子がス
リン１〜５を通過づるようにしＣも該電子線は既に分散
されはじめているので、その一部は該スリン１〜により
遮断されると同時に異なったエネルギーの電子が入射す
るようになる。従っＣ、エネルギー分析の分解能は著し
く低いものとなる。しかも、その分解能は］−ネル二ｌ
゛−の違いにより箕なるのでその解析は厄介なしのとな
る。
４により分光されると同時に夫々点ａ′及びｌ］ ’
に結像りる。図から解るＪ、うにａ′はスリット５上に
丁度フォーカスしているが、ｂ′はそれよりか４１つ前
方にフォーカスし−Ｃいるので前記電源１０からの掃引
信号によって磁場強度を変化させ、点線で示す電子がス
リン１〜５を通過づるようにしＣも該電子線は既に分散
されはじめているので、その一部は該スリン１〜により
遮断されると同時に異なったエネルギーの電子が入射す
るようになる。従っＣ、エネルギー分析の分解能は著し
く低いものとなる。しかも、その分解能は］−ネル二ｌ
゛−の違いにより箕なるのでその解析は厄介なしのとな
る。
而して、本発明【３１．１記の従来１’：、 ’ｉ：の
６゛′）欠点を解消することを目的とりる“しのＣ゛、
（の（１４成は集束された荷電粒子線を試１′８１に照
射ｊＪる手段、該試料による一Ｉ］ネルギー損失をうｔ
Ｊ ７こ（ｉ？ｌ電本＼゛１ｒ線を結像づるレンズ系、
該レンズ系からの荷電粒子線を・］−ネルギー分析りる
アノ−ライＩＪ”−１該ノ′ナライザーにより分離され
た荷電粒子線を検出づる検出器、前記アナライ１アーを
掃引りる手段及び前記検出器の出力信号が導入される前
記（吊用に同期しｌこ表材（叉ＬＪ記録装動を備えた装
置において、前記アノライザ“−の１吊引に対応して前
記結像レンズ系σ） 助＋ １ａ強１文を）ハ択された
エネルギーの動電粒子が常に前記検出器のスリブ１ヘト
に集束されるよう）、二制■１する萄電粒子線エネルギ
ー分析駁同を１７１黴と１」るものである。
６゛′）欠点を解消することを目的とりる“しのＣ゛、
（の（１４成は集束された荷電粒子線を試１′８１に照
射ｊＪる手段、該試料による一Ｉ］ネルギー損失をうｔ
Ｊ ７こ（ｉ？ｌ電本＼゛１ｒ線を結像づるレンズ系、
該レンズ系からの荷電粒子線を・］−ネルギー分析りる
アノ−ライＩＪ”−１該ノ′ナライザーにより分離され
た荷電粒子線を検出づる検出器、前記アナライ１アーを
掃引りる手段及び前記検出器の出力信号が導入される前
記（吊用に同期しｌこ表材（叉ＬＪ記録装動を備えた装
置において、前記アノライザ“−の１吊引に対応して前
記結像レンズ系σ） 助＋ １ａ強１文を）ハ択された
エネルギーの動電粒子が常に前記検出器のスリブ１ヘト
に集束されるよう）、二制■１する萄電粒子線エネルギ
ー分析駁同を１７１黴と１」るものである。
以下本発明の一実施例を添イ」図面に基づき訂ｊホする
。
。
第２図は本発明の一実施例を承り・しの（゛、第′１図
と同一符号は同一の構成要素を示しＣいる。１１は結像
レンズ系の電源１２からのｌｌ′ｌ流電流全電流りる回
路で、増幅器１３からの信号により制御される。該増幅
器には前記エネルギーアノライザーの１吊引電源の出力
が送られ−ており、従って前記レンズ電流はアナライザ
ーの掃引に比例して可変されることになる。即ち、電子
線のエネルギー１」スがない、或いは少い場合に対し、
エネルギーロスが多くなると結像レンズ系の励磁強度を
弱くして結像点１）を下方に下げるようにすると第３図
に示す如く、今まＣスリン１〜５の前方にフォーカスし
ていた電子【ま］−１ｑスリツｌ〜上にフォーカスする
ように４１す、従来の如き分散過程でのスリン１〜への
入射がなくなる。
と同一符号は同一の構成要素を示しＣいる。１１は結像
レンズ系の電源１２からのｌｌ′ｌ流電流全電流りる回
路で、増幅器１３からの信号により制御される。該増幅
器には前記エネルギーアノライザーの１吊引電源の出力
が送られ−ており、従って前記レンズ電流はアナライザ
ーの掃引に比例して可変されることになる。即ち、電子
線のエネルギー１」スがない、或いは少い場合に対し、
エネルギーロスが多くなると結像レンズ系の励磁強度を
弱くして結像点１）を下方に下げるようにすると第３図
に示す如く、今まＣスリン１〜５の前方にフォーカスし
ていた電子【ま］−１ｑスリツｌ〜上にフォーカスする
ように４１す、従来の如き分散過程でのスリン１〜への
入射がなくなる。
以上のように本発明ではエネルギーノアナラぞり−をど
の様に掃引しても、それに応じて結（（：レンズ系の励
磁強度が可変され、常に選択されたエネルギーの電子は
スリット５上でフォーカスするのでエネルギーロスが大
きくなるにつれて分解能が次第に低下すると言う従来の
装置のもつ弊害は完全に解消される。
の様に掃引しても、それに応じて結（（：レンズ系の励
磁強度が可変され、常に選択されたエネルギーの電子は
スリット５上でフォーカスするのでエネルギーロスが大
きくなるにつれて分解能が次第に低下すると言う従来の
装置のもつ弊害は完全に解消される。
尚、」、記に１本発明の一例Ｃあり、種々の変更が可能
であることは論を侍だ４↑い。例２は、１記（５１透過
電子顕微鏡（Ｊ適用した電子線の１ε１合を説明したが
、荷ｒ口粒子線としてはイオン（′あ・）（ち１ｐい。
であることは論を侍だ４↑い。例２は、１記（５１透過
電子顕微鏡（Ｊ適用した電子線の１ε１合を説明したが
、荷ｒ口粒子線としてはイオン（′あ・）（ち１ｐい。
又、Ｉネルギーアナライザー【ま図示の様４Ｔ形状に限
定されるｂのではない。
定されるｂのではない。
第１図は従来の装置の一例を示（１７１１１９図、第２
図は本発明の一実施例を示すツ゛１１ツク図、第３図は
第２図の作用を説明りるための図Ｃｉｔりる。 １：試わｌ、２：照Ｑ＝Ｉ電子線、３：結１へ！レンズ
系、／Ｉ：王ネルギーアリライリ゛−１！３：検出器ス
リット、６：検出器、７：増幅器、Ｅ３：表示■は記♀
７装置、９：励磁コイル、１０ ： Ｉｉｉ！引電源、
１１；制御回路、１２レンズ電源、１３；増幅器。 ９肖四′［出願人 日本電子株式会に１ 代表者 伊藤 −人 第３図 ′、ｉ ｂ １１゛・ ｊ：１゜
図は本発明の一実施例を示すツ゛１１ツク図、第３図は
第２図の作用を説明りるための図Ｃｉｔりる。 １：試わｌ、２：照Ｑ＝Ｉ電子線、３：結１へ！レンズ
系、／Ｉ：王ネルギーアリライリ゛−１！３：検出器ス
リット、６：検出器、７：増幅器、Ｅ３：表示■は記♀
７装置、９：励磁コイル、１０ ： Ｉｉｉ！引電源、
１１；制御回路、１２レンズ電源、１３；増幅器。 ９肖四′［出願人 日本電子株式会に１ 代表者 伊藤 −人 第３図 ′、ｉ ｂ １１゛・ ｊ：１゜
Claims (1)
- 集束された荷電粒子線を試料に照Ｉ７Ｊする手段、該試
Ｙ１によるエネルギー１０失をうりだ荷電粒子線を結像
ザるレンズ系、該レンズ系からの荷電粒子線をエネルギ
ー分析覆るアナライザー、該アナライザーにＪ：り分離
された荷電粒子線を検出器る検出器、前記アナライザー
を掃引する手段及び前記検出器の出力信号が導入される
前記１ｍ引に同期し−た表示又は記録装置を備えた装置
において、前記１プライ（アーの掃引に対応して前記結
像レンズ系の励磁強度を選択されたエネルギーの荷電粒
子が常に前記検出器のスリン１〜士に集束されるように
制御することを特徴とする荷電粒子線エネルギー分析装
置１゜
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157589A JPS5946747A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 荷電粒子線エネルギ−分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157589A JPS5946747A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 荷電粒子線エネルギ−分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5946747A true JPS5946747A (ja) | 1984-03-16 |
| JPS645746B2 JPS645746B2 (ja) | 1989-01-31 |
Family
ID=15653004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57157589A Granted JPS5946747A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 荷電粒子線エネルギ−分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946747A (ja) |
-
1982
- 1982-09-09 JP JP57157589A patent/JPS5946747A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS645746B2 (ja) | 1989-01-31 |
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