DE2640260A1 - Durchstrahlungs-raster-korpuskularstrahlmikroskop - Google Patents
Durchstrahlungs-raster-korpuskularstrahlmikroskopInfo
- Publication number
- DE2640260A1 DE2640260A1 DE19762640260 DE2640260A DE2640260A1 DE 2640260 A1 DE2640260 A1 DE 2640260A1 DE 19762640260 DE19762640260 DE 19762640260 DE 2640260 A DE2640260 A DE 2640260A DE 2640260 A1 DE2640260 A1 DE 2640260A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- television
- luminescent screen
- microscope
- detector
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging ; Apparatus specially adapted therefor, e.g. cameras, TV-cameras, photographic equipment, exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e.g. microscopes for observing image on luminescent screen
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/295—Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/2955—Electron or ion diffraction tubes using scanning ray
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen:
Berlin und München . - -χ . . VPA 76 P 3767 ERD
Die Erfindung betrifft ein Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop
mit einer Fernsehaufnahmeröhre zur Aufnahme und einem Fernseh-Monitor zur Wiedergabe des Beugungsbildes eines zu
untersuchenden Objektes.
5
5
Es sind bereits Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskope bekannt,
bei denen die Einrichtung zur bildlichen Darstellung des Beugungsbildes aus einer Fernsehaufnahmeröhre und einem Fernseh-Monitor
besteht, wobei der Fernseh-Monitor mit der Fernsehaufnahmeröhre synchronisiert ist (US-PS 3 849 647). Durch die speichernde
Eigenschaft des Targets der Fernsehaufnahmeröhre stellt diese aisammen mit dem Fernseh-Monitor ein parallel arbeitendes
Detektorsystem dar, durch das das gesamte Beugungsbild gleichzeitig erfaßt werden kann. Dabei ergibt sich ein wesentlich besseres
Signal-Rausch-Verhältnis als bei sonst üblichen Einrichtungen, bei denen das Beugungsbüd durch einen Detektor nacheinander
abgetastet und dargestellt wird. Ist die Abtastfrequenz der Fernsehauf
nähme röhre groß gegen die Rasterfrequenz, so erhält man tatsächlich
Beugungsbilder der gerade bei der Rasterung durchstrahlten Bereiche. Ist hingegen die Abtastfrequenz der Fernsehröhre
. annähernd gleich der Rasterfrequenz, so erhält man auf dem Fernseh-Monitor
eine Überlagerung vieler Teilbeugungsbilder des abgerasterten Bereiches.
GdI 22 Lo / 31.8.1976 809810/0433
264026Q
-JtT -H- VPA 76 P 5767 BRD
Weiterhin ist es aus dieser US-Patentschrift bekannt, bei einem Eiurchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskop dieser Art oberhalb
der Fernsehaufnahmeröhre einen Hellfeld-Detektor anzuordnen und
dessen Ausgangssignal auf einen zweiten, mit der Objektrasterung synchronisierten Fernseh-Monitor zu geben. Dadurch können Beugungsbild
und Hellfeldbild gleichzeitig beobachtet werden. Die Aufnahme eines Dunkelfeldbildes ist mit dieser Einrichtung nicht
möglich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gerät der eingangs genannten Art zur gleichzeitigen Darstellung von Beugungsbild und
Dunkelfeldabbildung zu schaffen. Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß sich im Strahlkegel hinter dem Objekt
ein Durchsicht-Leuchtschirm befindet, daß eine Lichtoptik so angeordnet ist, daß sie den Leuchtschirm auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre
abbildet, und daß ein die von dem Leuchtschirm ausgehende Strahlung integral erfassender Detektor vorgesehen ist.
Mit Hilfe dieses zwischen Objekt und Fernsehaufnahmeröhre angeordneten
Durchsicht-Leuchtschirmes ist es möglich, neben dem Beugungsbild auch noch das Dunkelfeldbild aufzunehmen. Der Leuchtschirm
wandelt zunächst das elektronenoptische Beugungsbild in ein lichtoptisches um. Dieses wird über die Lichtoptik auf das
Target der Fernsehaufnahmeröhre abgebildet. Gleichzeitig wird die von dem Leuchtschirm ausgehende Strahlung.durch einen Detektor
integral erfaßt, aus dessen Signal das Dunkelfeldbild aufgebaut wird. Es können dazu zwei unterschiedliche Wege beschritten werden.
Einerseits kann ein Detektor verwendet werden,- dessen Empfindlichkeit
im optischen Bereich der vom Leuchtschirm ausgehenden Strahlung liegt, und andererseits ein Detektor, dessen Smpfindlichkeit
im Bereich von am Leuchtschirm ausgelösten Sekundärkorpuskeln liegt.
Im ersten Fall ist bei einer bevorzugten Ausführung der Erfindung der Leuchtschirm gegen die Mikroskopachse schräggestellt und an
seiner in Strahlrichtung rückwärtigen Seite mit einem lichtempfindlichen Element als Detektor verbunden. Die Vorderseite des
Leuchtschirmes wird über die Lichtoptik sowie gegebenenfalls Umlenkspiegel
auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre abgebildet.
809810/0433
26A0260
ζ VPA 76 P 3767 BRD Um ein einwandfreies Dunkelfeldbild zu erhalten, ist in beiden Fällen darauf zu achten, daß der Primärstrahl, d. h. also das
Hellfeldbild, unterdrückt wird. Die einfachste Möglichkeit dazu wäre eine Blende im Strahlengang vor dem Leuchtschirm von der
Größe des Primärstrahlkegels. Vorteilhafter jedoch ist es, anstelle dieser Blende einen Hellfeld-Detektor zu verwenden. So ergibt
sich die Möglichkeit, neben dem Dunkelfeldbild und dem Beugungsbild gleichzeitig oder wahlweise auch noch das Hellfeldbild
darzustellen, Für die gleichzeitige Darstellung wäre dann ein weiterer Fernseh-Monitor notwendig.
In Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Fernsehaufnahmeröhre
außerhalb der Mikroskopachse angeordnet ist und daß die Lichtoptik und ein Umlenkspiegel derart angeordnet sind, daß
der Leuchtschirm wiederum auf die Fernsehaufnahmeröhre abgebildet
wird. Dadurch ist es möglich, die Fernsehaufnahmeröhre außerhalb des evakuierten Mikroskopraumes anzuordnen, beispielsweise an
einem Fensterbauteil. Darüber hinaus bleibt der Raum unterhalb des Leuchtschirmes bei dieser Anordnung frei für weitere Geräte.
Es ist in diesem Fall von Vorteil, daß der Leuchtschirm und alle in Strahlrichtung hinter diesem angeordneten Teile ein Loch mit
der Mikroskopachse als Zentrum aufweisen, durch das achsnahe Korpuskeln
zu einem Energieanalysator gelangen können. Neben der gleichzeitigen Darstellung von Beugungs- und Dunkelfeldbild besteht
somit die Möglichkeit, zusätzlich und ebenfalls gleichzeitig entweder das Hellfeldbild darzustellen oder eine Energieverlustanalyse
vorzunehmen.
Man erhält somit eine optimale Information über das zu untersuchende
Objekt, wobei sich durch die gleichzeitige Registrierung der' verschiedenen Informationen kurze Bestrahlungszeiten und damit
eine geringe Objektschädigung und eine geringe Kontamination ergeben. Es ergibt sich außerdem eine bessere Zuordnung von Bild
und Beugungsbild, wodurch beispielsweise bei kristallographischen Untersuchungen die Grenze zwischen zwai Kristallbereichen unterschiedlicher
Kristallorientierung, eine sogenannte Korngrenze, einfach und exakt lokalisiert werden kann. Beim Überqueren der
Korngrenze ändert sich das Beugungsbild sprunghaft.
809810/0433
- ;r - (, VPA 76 P 3767 BRD
In Weiterbildung der Erfindung ist es außerdem vorgesehen, daß zwischen dem Leuchtschirm und der Fernsehaufnahmeröhre ein Bildverstärker
angeordnet ist.
In den Figuren 1 bis 3 sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt, wobei die Figuren 2 und 3 nur die Teile unterhalb
des Objektes zeigen.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskop
ist die Strahlquelle mit 1 bezeichnet; sie kann beispielsweise eine Feldemissionskathode aufweisen. Der Strahl 2
wird durch eine Objektivlinse 3 auf das Objekt 4 fokussiert. Er wird durch ein Ablenksystem 5 in üblicher Weise so ausgelenkt, daß der Fokus F auf dem Objekt 4 ein Raster beschreibt. Nach Durchtritt durch das Objekt 4 bildet der Strahl 2 einen Primärstrahlkegel 2a und einen Streustrahlkegel 2b. Im Primärstrahlkegel hinter dem Objekt 4 ist ein Detektor angeordnet, der aus einem Szintillationsdetektor 6, einem gekrümmten Lichtleiter 7 und einem Photoelektronen-Vervielfacher 8 besteht. Der Ausgang des Photoelektronen-Vervielfachers 8 kann die Helligkeit eines Fernseh-Monitors 9 steuern, dessen Ablenksystem 10 synchron mit dem Ablenksystem 5 betrieben ist. Auf dem Fernseh-Monitor 9 entsteht dabei das Hellfeldbild des Objektes 4. Die an dem Szintillationsdetektor 6 vorbeigehende Strahlung im Streustrahlkegel 2b trifft auf einen Durchsicht-Leuchtschirm 11. Dabei wird die Elektronenstrahlung in Licht umgewandelt.' Gleichzeitig werden aber auch
an der Oberfläche des Durchsicht-Leuchtschirmes 11 Sekundärelektronen ausgelöst.
wird durch eine Objektivlinse 3 auf das Objekt 4 fokussiert. Er wird durch ein Ablenksystem 5 in üblicher Weise so ausgelenkt, daß der Fokus F auf dem Objekt 4 ein Raster beschreibt. Nach Durchtritt durch das Objekt 4 bildet der Strahl 2 einen Primärstrahlkegel 2a und einen Streustrahlkegel 2b. Im Primärstrahlkegel hinter dem Objekt 4 ist ein Detektor angeordnet, der aus einem Szintillationsdetektor 6, einem gekrümmten Lichtleiter 7 und einem Photoelektronen-Vervielfacher 8 besteht. Der Ausgang des Photoelektronen-Vervielfachers 8 kann die Helligkeit eines Fernseh-Monitors 9 steuern, dessen Ablenksystem 10 synchron mit dem Ablenksystem 5 betrieben ist. Auf dem Fernseh-Monitor 9 entsteht dabei das Hellfeldbild des Objektes 4. Die an dem Szintillationsdetektor 6 vorbeigehende Strahlung im Streustrahlkegel 2b trifft auf einen Durchsicht-Leuchtschirm 11. Dabei wird die Elektronenstrahlung in Licht umgewandelt.' Gleichzeitig werden aber auch
an der Oberfläche des Durchsicht-Leuchtschirmes 11 Sekundärelektronen ausgelöst.
Die in Strahlrichtung rückwärtige Seite des Durchsicht-Leuchtschirnes
11 wird mit Hilfe einer Linse 12 auf das Target einer Fernsehaufnahmeröhre 13 abgebildet, deren Ablenksystem 14 synchron
mit dem Ablenksystem 15 eines weiteren Fernseh-Monitors 16 betrieben
wird. Der Ausgang der Ferhsehaufnahmeröhre 13 steuert die
Helligkeit des Fernseh-Monitors 16. Auf dem Fernseh-Monitor 16
wird somit das Beugungsbild des durchstrahlten Objektbereiches dargestellt.
809810/0433
- ? - *% VPA 76 P 3767 BRD
Die an dem Leuchtschirm 11 ausgelösten Sekundärelektronen werden
durch die an einem Sauggitter 21 liegende Saugspannung abgelenkt und in Richtung auf einen Szintillationsdetektor 18 beschleunigt.
Die Saugspannung ist dabei klein gegen die Beschleunigungsspannung für die Primärelektronen, so daß diese dadurch praktisch
nicht abgelenkt werden. Der Szintillationsdetektor ,18 ist über einen Lichtleiter 19 an einen Photoelektronen-Vervielfacher 20 angekoppelt.
An dessen Ausgang steht daher das verstärkte Dunkelfeldsignal an, das wiederum zur Hell- bzw. Dunkelsteuerung eines
Fernseh-Monitors verwendet werden kann. In diesem speziellen Ausführungsbeispiel
kann wahlweise das Hellfeld- oder das Dunkelfeldsignal auf den Fernseh-Monitor 9 gegeben werden. Es ist jedoch
auch möglich, einen weiteren Fernseh-Monitor vorzusehen, um damit gleichzeitig neben dem Beugungsbild das Hellfeld- und das Dunkelfeldbild
zu erhalten.
Fig. 2 zeigt wiederum den Leuchtschirm 11 sowie das oberhalb desselben
angeordnete Sauggitter 21 und den Szintillationsdetektor mit nachfolgendem Lichtleiter 19 und Photoelektronen-Vervielfächer
20. Abweichend von Fig. 1 wird die in Strahlrichtung rückwärtige Seite des Leuchtschirmes 11 bei diesem Ausführungsbeispiel
über einen Umlenkspiegel 25 und eine Tandemcptik 26 auf einen Bildverstärker 27 abgebildet. Über diesen gelangt das Licht
auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre 13, deren Ausgangssignal wiederum zur bildlichen Darstellung des Beugungsbildes auf einen
Fernseh-Monitor 16 gegeben ist.· Sowohl der Leuchtschirm 11 als auch der Umlenkspiegel 25 weisen ein Loch mit der Mikroskopachse
als Zentrum auf. Durch dieses Loch können achsnahe Elektronen zu einem Energieanalysator 28 gelangen. Neben der gleichzeitigen
bildlichen Darstellung von Beugungsbild und Dunkelfeldbild ist
hierbei also auch eine Energieverlustanalyse möglich. Das Ausgangssignal
des Energieanalysator 28 gelangt über einen Spalt 29
auf einen Szintillationsdetektor 30 und von dort über einen Lichtleiter 31 auf einen Photoelektronen-Vervielfacher 32. Bei bestimmter
Erregung des Energieanalysators 28 stellt das Ausgangssignal des Photoelektronen-Vervielfachers 32 das Hellfeldsignal
dar, das wiederum auf einem Fernseh-Monitor als Hellfeldbild sichtbar gemacht werden kann.
809810/0433
- Sr- & VPA 76 P 3767 BRD
Bei diesem Ausführungsbeispiel ist es also möglich, wahlweise neben dem Beugungsbild und dem Dunkelfeidbild gleichzeitig das
Hellfeldbild zu betrachten oder eine Energieverlustanalyse vorzunehmen.
5
5
Die Figur 3 zeigt eine besonders raumgünstige Ausführungsform, bei der wiederum der vom Objekt ausgehende Elektronenstrahl auf
den Leuchtschirm 11 fällt. Dieser Leuchtschirm ist unter einem Winkel von 45 ° gegen die Mikroskopachse geneigt. Das auf der in
Strahlrichtung rückwärtigen Seite des Leuchtschirmes 11 austretende
Licht wird über einen Lichtleiter 35 auf einen Photcelektronen-Vervielfacher
36 gelenkt. Anstelle des Photoelektronen-Vervielfachers
36 kann auch jedes andere integrierende lichtempfindliche
Element verwendet werden. Der Leuchtschirm 11 und der nachfolgende Lichtleiter 35 besitzen ein Loch mit der Mikroskopachse
als Zentrum, durch das wiederum achsnahe Elektronen zu einem hier nicht.dargestellten Energieanalysator gelangen können. Der
Lichtleiter 35 kann massiv sein, er kann jedoch auch aus einem
Bündel von um den Kanal herumgelegten lichtleitenden Fasern aufgebaut sein.
Die Vorderseite des Leuchtschirmes 11 wird über einen Umlenkspiegel
37 sowie eine Lichtoptik 38 wiederum auf die Ferasehaufnähme~
röhre 13 abgebildet, deren Ausgangssignal dann wiederum das Beugungsbild
liefert.
In diesem Ausführungsbeispiel sind der Leuchtschirm 11 mit dem anschließenden Lichtleiter 35 sowie der Umlenkspiegel 37 in einem
kompakten Bauteil 40 angeordnet, das über Dichtungen 41 vakuumdicht an die Mikroskopsäule angeschlossen werden kann. Ein Fenster
42 dient als Vakuumabschluß zwischen dem Umlenkspiegel 37 und der Lichtoptik 38, die ebenso wie die Fernsehaufnahneröhre
außerhalb des Vakuums angeordnet ist. Über einen Flansch 43 kann ein hier nicht dargestellter'Energieanalysator angeschlossen werden.
Bei diesem in der Figur 3 dargestellten Ausführungsbeispiel wird im Gegensatz zu den beiden vorherigen Ausführungsbeispielen auch
das Dunkelfeldsignal über vom Leuchtschirm ausgehendes Licht er-
809810/0433
- f - oj VPA 76 P 3767 BRD
halten und nicht über Sskundärelektronen. In allen drei Ausführungsbeispielen
wird jedoch die von einer Seite des Leuchtschirmes ausgehende Strahlung zur Erzeugung des Beugungsbildes und die
von der entgegengesetzten Seite ausgehende Strahlung zur Erzeugung des Dunkelfeldbildes verwendet. Es sind jedoch auch Ausführungsbeispiele möglich, bei denen nur die von einer Seite des Leuchtschirmes
ausgehende Strahlung verwendet wird, um beide Signale zu erhalten. Beispielsweise kann die Rückseite des Leuchtschirmes
über einen halbdurchlässigen Spiegel einmal auf die Fernsehaufnahmeröhre
und zum anderen auf ein integrierendes lichtempfindliches Element abgebildet werden. Mit einer derartigen Anordnung
ist jedoch immer eine Intensitätshalbierung der einzelnen Signale verbunden, weswegen man wohl bevorzugt die anderen Ausführungsbeispiele verwenden wird.
Bei den dargestellten Ausführungsbeispielen ist die Lichtoptik, die den Leuchtschirm auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre abbildet,
als Linsenoptik ausgebildet. Man kann sie jedoch auch, insbesondere im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1, durch eine Faseroptik
realisieren.
Die Erfindung beschränkt sich nicht nur auf die dargestellten Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskope; sie gilt gleichermaßen
auch für Durchstrahlungs-Raster-Ionenmikroskope.
3 Figuren
7 Ansprüche
7 Ansprüche
809810/0433
Claims (7)
1.^Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop mit einer
?ernsehaufnahraeröhre zur Aufnahme und eiern Fernseh-Monitor zur
Wiedergabe des Beugungsbildes eines zu untersuchenden Objektes, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlkegel hinter dem Objekt
(4) ein Durchsicht-Leuchtschirm (11) befindet, daß eine Lichtoptik (12) so angeordnet ist, daß sie den Leuchtschirm (11) auf
das Target der Fernsehaufnahmeröhre (13) abbildet, und daß ein die von dem Leuchtschirm (11) ausgehende Strahlung integral erfassender
Detektor (18) vorgesehen ist.
2. Mikroskop nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Detektor (36), dessen Empfindlichkeit im optischen Bereich der vom Leuchtschirm
(11) ausgehenden Strahlung liegt.
3. Mikroskop nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Detektor (18), dessen Empfindlichkeit im Bereich von am Leuchtschirm (11)
ausgelösten Sekundärkcrpuskeln liegt.
4. Mikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm (11) gegen die Mikroskopachse schräggestellt ist,
daß er an seiner in Strahlrichtung rückwärtigen Seite mit einem lichtempfindlichen Element (36) als Detektor verbunden ist und
daß die Vorderseite des Leuchtschirmes (11) über die Lichtoptik (38) sowie gegebenenfalls Umlenkspiegel (37) auf das Target der
Fernsehaufnahmeröhre (13) abgebildet wird.
5. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 4,. dadurch gekennzeichnet,
daß die Fernsehaufnahmer-öhre (13) außerhalb der Mikroskopachse
angeordnet ist und daß die Lichtoptik (26, 38) und ein Umlenkspiegel (25, 37) derart angeordnet sind, daß der Leuchtschirm
(11) .wiederum auf die 'Ferns ehaufnahmer öhre (13) abgebildet
wird.
6. Mikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm (11) und alle in Strahlrichtung hinter diesem ange-
809810/0433
ORIGINAL INSPECTED
7β ρ 3767 BRD
ordneten Teile ein Loch mit der Mikroskopachse als Zentrum aufweisen,
durch das achsnahe Korpuskeln zu einem Energieanalysator (28) gelangen können. 2640260
7. Mikroskop nach- einem der Ansprüche ΐ bis 6, dadurch gekennzeichnet,
daß zv/ischen dem Leuchtschirm (11) und der Fernsehaufnahmeröhre (13) ein Bildverstärker (27) angeordnet ist.
809810/0433
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762640260 DE2640260C3 (de) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop |
FR7724359A FR2363883A1 (fr) | 1976-09-03 | 1977-08-08 | Microscope a balayage a transmission, a faisceau corpusculaire |
NL7709151A NL7709151A (nl) | 1976-09-03 | 1977-08-18 | Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling. |
JP10351677A JPS5331955A (en) | 1976-09-03 | 1977-08-29 | Transmission scanning particle beam microscope |
GB3668177A GB1588234A (en) | 1976-09-03 | 1977-09-02 | Transmission type beam nicroscopes utilising a scanning technique |
US06/007,647 US4211924A (en) | 1976-09-03 | 1979-01-29 | Transmission-type scanning charged-particle beam microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762640260 DE2640260C3 (de) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2640260A1 true DE2640260A1 (de) | 1978-03-09 |
DE2640260B2 DE2640260B2 (de) | 1978-06-22 |
DE2640260C3 DE2640260C3 (de) | 1979-03-01 |
Family
ID=5987354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19762640260 Expired DE2640260C3 (de) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5331955A (de) |
DE (1) | DE2640260C3 (de) |
FR (1) | FR2363883A1 (de) |
GB (1) | GB1588234A (de) |
NL (1) | NL7709151A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0499490A2 (de) * | 1991-02-15 | 1992-08-19 | Shimadzu Corporation | Raster Reflektions-Beugungselektronenmikroskop |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2160739A (en) * | 1984-06-23 | 1985-12-24 | Mclennan Marine Limited | Night vision systems |
JPS6196643A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 透過型電子顕微鏡 |
JPH06213832A (ja) * | 1993-01-18 | 1994-08-05 | Shimadzu Corp | 回折電子検出装置 |
JP4255843B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2009-04-15 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡 |
WO2019193624A1 (ja) * | 2018-04-02 | 2019-10-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
-
1976
- 1976-09-03 DE DE19762640260 patent/DE2640260C3/de not_active Expired
-
1977
- 1977-08-08 FR FR7724359A patent/FR2363883A1/fr active Granted
- 1977-08-18 NL NL7709151A patent/NL7709151A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-08-29 JP JP10351677A patent/JPS5331955A/ja active Pending
- 1977-09-02 GB GB3668177A patent/GB1588234A/en not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0499490A2 (de) * | 1991-02-15 | 1992-08-19 | Shimadzu Corporation | Raster Reflektions-Beugungselektronenmikroskop |
EP0499490A3 (de) * | 1991-02-15 | 1992-08-26 | Shimadzu Corporation | Raster Reflektions-Beugungselektronenmikroskop |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2640260B2 (de) | 1978-06-22 |
JPS5331955A (en) | 1978-03-25 |
FR2363883B1 (de) | 1980-04-04 |
FR2363883A1 (fr) | 1978-03-31 |
DE2640260C3 (de) | 1979-03-01 |
NL7709151A (nl) | 1978-03-07 |
GB1588234A (en) | 1981-04-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102006050600B4 (de) | Spektrometer zur Oberflächenanalyse und Verfahren dafür | |
US4211924A (en) | Transmission-type scanning charged-particle beam microscope | |
DE3924605C2 (de) | Rasterelektronenmikroskop | |
DE3785818T2 (de) | Betrachtung von lichtundurchlässigen Proben durch Transmission von Strahlen. | |
DE112015000433T5 (de) | Probenhalter, Betrachtungssystem und Bilderzeugungsverfahren | |
DE69924240T2 (de) | Ladungsträgerteilchenstrahlvorrichtung | |
DE2646472A1 (de) | Elektronenmikroskop | |
DE3249005T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bilderzeugung | |
DE19719718A1 (de) | Szintillator, Bildaufnahmevorrichtung unter Verwendung desselben sowie Systeme unter Verwendung dieser Vorrichtung | |
EP0428906B1 (de) | Korpuskularstrahlgerät | |
EP1347490A2 (de) | Blenden-Zusatzvorrichtung für ein Rasterelektronenmikroskop | |
DE112010005188B4 (de) | Vorrichtung zum Bestrahlen mit geladenen Teilchen | |
DE2640260C3 (de) | Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop | |
DE2309181A1 (de) | Mit elektronenstrahlabtastung arbeitende analysevorrichtung | |
US4789780A (en) | Apparatus for energy-selective visualization | |
DE69918958T2 (de) | Rasterelektronenmikroskop mit einem ortssensitiven detektor | |
DE60033374T2 (de) | Röntgenmikroskop mit einer röntgenstrahlungsquelle für weiche röntgenstrahlungen | |
DE2043749C3 (de) | Raster-Korpuskularstrahlmikroskop | |
DE1917065B2 (de) | Elektronenstrahlabtastgeraet | |
DE2659427C2 (de) | Verfahren zum linearen optischen Filtern eines zweidimensionalen Bilds zu Korrekturzwecken und Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens | |
DE112018007534T5 (de) | Einrichtung für strahl geladener teilchen | |
DE1204350B (de) | Elektronenmikroskop | |
DE1058166B (de) | Elektronenmikroskop | |
DE69630240T2 (de) | Genaues Bildsystem mit dünnem und dichtem Szintillator sowie EBCCD | |
DE1764166C3 (de) | Ionen Elektronen Bildwandler |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |