DE2640260C3 - Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop - Google Patents
Durchstrahl ungs-Raster-KorpuskularstrahlniikroskopInfo
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 4
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000023077 detection of light stimulus Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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Description
Die Erfindung betrifft ein Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop
mit einer Fernsehaufnahmeröhre zur Aufnahme und einem Fernseh-Monitor zur Wiedergabe des Beugiingsbildes eines zu untersuchenden
Objektes.
Es sind bereits Durchstrahlungs- Raster- Elektronenmikroskope bekannt, bei denen die Einrichtung zur
bildlichen Darstellung des Beugungsbildes aus einer Fernsehaufnahmeröhre und einem Fernseh-Monitor
besteht, wobei der Fernseh-Monitor mit der Fernsehaufnahmeröhre synchronisiert ist (US-PS 38 49 647).
Durch die speichernde Eigenschaft des Targets der Fernsehaufnahmeröhre stellt diese zusammen mit dem
Fernseh-Monitor ein parallel arbeitendes Detektorsystem dar, durch das das gesamte Beugungsbild
gleichzeitig erfaßt werden kann. Dabei ergibt sich ein
wesentlich besseres Signal-Rausch-Verhältnis als bei s sonst üblichen Einrichtungen, bei denen das Beugungsbild durch einen Detektor nacheinander abgetastet und
dargestellt wird Ist die Abtastfrequenz der Fernsehaufnahmeröhre groß gegen die Rasterfrequenz, so erhält
man tatsächlich Beugungsbilder der gerade bei der Rasterung durchstrahlten Bereiche. Ist hingegen die
Abtastfrequenz der Fernsehröhre annähernd gleich der Rasterfrequenz, so erhält man auf dem Fernseh-Monitor
eine Überlagerung vieler Teilbeugungsbilder des abgerasterten Bereiches.
Weiterhin ist es aus dieser US-Patentschrift bekannt, bei einem Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskop
dieser Art oberhalb der Fernsehaufnahmeröhre einen Hellfeld-Deiektor anzuordnen und dessen Ausgangssignal
auf einen zweiten, mit der Objektrasterung synchronisierten Fernseh-Monitor zu geben. Dadurch
können Beugungsbild und Hellfeldbild gleichzeitig beobachtet werden. Die Aufnahme eines Dunkelfeldbildes
ist mit dieser Einrichtung nicht möglich.
Bei Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskopen ist es auch bekannt (DE-OS 21 10 325), zur getrennten gleichzeitigen Erfassung von Hell- und Dunkelfeldbild einen integralen ringförmigen Detektor mit zentraler öffnung und in Strahlrichtung gesehen hinter dieser öffnung einen weiteren integralen Detektor vorzusehen.
Bei Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskopen ist es auch bekannt (DE-OS 21 10 325), zur getrennten gleichzeitigen Erfassung von Hell- und Dunkelfeldbild einen integralen ringförmigen Detektor mit zentraler öffnung und in Strahlrichtung gesehen hinter dieser öffnung einen weiteren integralen Detektor vorzusehen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Mikroskop der eingangs genannten Art zur gleichzeitigen
Darstellung von Beugungsbild und Dunkelfeldabbildung zu schaffen.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß sich im Strahlkegel hinter dem Objekt ein
Durchsicht-Leuchtschirm befindet, daß eine Lichtoptik so angeordnet ist, daß sie den Leuchtschirm auf das
Target der Fernsehaufnahmeröhre abbildet und daß ein die von dem Leuchtschirm ausgehende dem Dunkelfeldbild
entsprechende Strahlung integral erfassender Detektor vorgesehen ist Mit Hilfe dieses zwischen Objekt
und Fernsehaufnahmeröhre angeordneten Durchsicht-Leuchtschirmes ist es möglich, neben dem Beugungsbild
auch noch das Dunkelfeldbild aufzunehmen. Der Leuchtschirm wandelt zunächst das elektronenoptische
Beugungsbild in ein lichtoptisches um. Dieses wird über die Lichtoptik auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre
abgebildet Gleichzeitig wird die von dem
so Leuchtschirm ausgehende Strahlung durch einen Detektor integral erfaßt, aus dessen Signal das Dunkelfeldbild
aufgebaut wird. Es können dazu zwei unterschiedliche Wege beschritten werden. Einerseits kann ein Detektor
verwendet werden, dessen Empfindlichkeit im optischen Bereich der vom Leuchtschirm ausgehenden Strahlung
liegt, und andererseits ein Detektor, dessen Empfindlichkeit im Bereich von am Leuchtschirm ausgelösten
Sekundärkorpuskeln liegt
Im ersten Fall ist bei einer bevorzugten Ausführung der Erfindung der Leuchtschirm gegen die Mikroskopachse schräggestellt und an seiner in Strahlrichtung rückwärtigen Seite mit einem lichtempfindlichen Element als Detektor verbunden. Die Vorderseite des Leuchtschirmes wird über die Lichtoptik sowie gegebenenfalls Umlenkspiegel auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre abgebildet.
Im ersten Fall ist bei einer bevorzugten Ausführung der Erfindung der Leuchtschirm gegen die Mikroskopachse schräggestellt und an seiner in Strahlrichtung rückwärtigen Seite mit einem lichtempfindlichen Element als Detektor verbunden. Die Vorderseite des Leuchtschirmes wird über die Lichtoptik sowie gegebenenfalls Umlenkspiegel auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre abgebildet.
Um ein einwandfreies Dunkelfeldbild zu erhalten, ist in beiden Fällen darauf zu achten, daß der Primärstrahl,
d. h. also das Hellfeldbiid, unterdrückt wird. Die
einfachste Möglichkeit dazu wäre eine Blende im Strahlengang vor dem Leuchtschirm von der Größe des
Primärstrahlkegels. Vorteilhafter jedoch ist es, anstelle dieser Blende einen Hellfeld-Detektor zu verwenden.
So ergibt sich die Möglichkeit, nebe.i dem Dunkelfeldbild
und dem Beugungsbild gleichzeitig oder wahlweise auch noch das Hellfeldbild darzustellen. Für die
gleichzeitige Darstellung wäre dann ein weiterer Fernseh-Monitor notwendig.
In Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, daß die Fernsehaufnahmeröhre außerhalb der Mikroskopachse
angeordnet ist und daß die Lichtoptik und ein Umlenkspiegel derart angeordnet sind, daß der
Leuchtschirm wiederum auf die Fernsehaufnahmeröhre abgebildet wird Dadurch ist es möglich, die Fernsehaufnahmeröhre
außerhalb des evakuierten Mikroskopraumes anzuordnen, beispielsweise an einem Fensterbauteil.
Darüber hinaus bleibt der Raum unterhalb des Leuchtschirmes bei dieser Anordnung frei für weitere
Geräte. Es ist in diesem Fall von Vorteil, daß der Leuchtschirm und alle in Strahlrichtung hinter diesem
angeordneten Teile ein Loch mit der Mikroskopachse als Zentrum aufweisen, durch das achsnahe Korpuskeln
zu einem Energieanalysator gelangen können. Neben der gleichzeitigen Darstellung von Beugungs- und
Dunkelfeldbild besteht somit die Möglichkeit, zusätzlich und ebenfalls gleichzeitig entweder das Hellfeldbild
darzustellen oder eine Energieverlustanalyse vorzunehmen.
Man erhält somit eine optimale Information über das zu untersuchende Objekt, wobei sich durch die
gleichzeitige Registrierung der verschiedenen Informationen kurze Bestrahlungszeiten und damit eine geringe
Objektschädigung und eine geringe Kontamination ergeben. Es ergibt sich außerdem eine bessere
Zuordnung von Bild und Beugungsbild, wodurch beispielsweise bei kristallographischen Untersuchungen
die Grenze zwischen zwei Kristallbereichen unterschiedlicher Kristallorientierung, eine sogenannte ίο
Korngrenze, einfach und exakt lokalisiert werden kann. Beim Überqueren der Korrigrenze ändert sich das
Beugungsbild spninghaft.
In Weiterbildung der Erfindung ist es außerdem vorgesehen, daß zwischen dem Leuchtschirm und der
Fernsehaufnahmeröhre ein Bildverstärker angeordnet ist.
In den Fig. I bis 3 sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt, wobei die Fig. 2 und 3 nur die
Teile unterhalb des Objektes zeigen.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskop
ist die Strahlquelle mit 1 bezeichnet; sie kann beispielsweise eine Feldemissionskathode
aufweisen. Der Strahl 2 wird durch eine Objektivlinse 3 auf das Objekt 4 fokussiert. Er wird
durch ein Ablenksystem 5 in üblicher Weise so ausgelenkt, daß der Fokus Fauf dem Objekt 4 ein Raster
beschreibt Nach Durchtritt durch das Objekt 4 bildet der Strahl 2 einen Primärstrahlkegel 2a und einen
Streustrahlkegel 2b. Im Primärstrahlkegel hinter dem Objekt 4 ist ein Detektor angeordnet, der aus einem
Szintillationsdetektor 6, einem gekrümmten Lichtleiter 7 und einem Photoelektronen-Vervielfacher 8 besteht.
Der Ausgang des Photoelektronen-Vervielfachers 8 kann die Helligkeit eines Fernseh-Monitors 9 steuern,
dessen Ablenksystem 10 synchron mit dem Ablenksystem 5 betrieben ist. Auf dem Fernseh-Monitor 9
entsteht dabei das Hellfeldbild des Objektes 4. Die an dem Szintillationsdetektor 6 vorbeigehende Strahlung
im Streustrahlkegel 2b trifft auf einen Durchsicht-Leuchtschirm U. Dabei wird die Elektronenstrahlung in
Licht umgewandelt Gleichzeitig werden aber auch an der Oberfläche des Durchsicht-Leuchtschirmes 11
Sekundärelektronen ausgelöst
Die in Strahlrichtung rückwärtige Seite des Durchsicht-Leuchtschirmes
11 wird mit Hilf= einer Linse 12 auf das Target einer Fernsehaufnahmeröhre 13
abgebildet, deren Ablenksystem 14 synchron mit dem Ablenksystem 15 eines weiteren Fernseh-Monitors 16
betrieben wird. Der Ausgang der Fernsehaufnahmeröhre 13 steuert die Helligkeit des Fernseh-Monitors 16.
Auf dem Fernseh-Monitor 16 wird somit das Beugungsbild des durchstrahlen Objektbereiches dargestellt
Die an dem Leuchtschirm 11 ausgelösten Sekundärelektronen werden durch die an einem Sauggitter 21
liegende Saugspannung abgelenkt und in Richtung auf einen Szintillationsdetektor 18 beschleunigt Die Saugspannung
ist dabei Wein gegen die Beschleunigungsspannung für die Primärelektronen, so daß diese
dadurch praktisch nicht abgelenkt werden. Der Szintillationsdetektor 18 ist über einen Lichtleiter 19 an
einen Photoelektronen-Vervielfacher 20 angekoppelt. An dessen Ausgang steht daher das verstärkte
DunkelfeWsignal an, das wiederum zur Hell- bzw. Dunkelsteuerung eines Fernseh-Monitors verwendet
werden kann. In diesem speziellen Ausführungsbeispiel kann wahlweise das Hellfeld- oder das Dunkelfeldsignal
auf den Fernseh-Monitor 9 gegeben werden. Es ist jedoch auch möglich, einen weiteren Fernseh-Monitor
vorzusehen, um damit gleichzeitig neben dem Beugungsbild das Hellfeld- und das Dunkelfeldbild zu
erhalten.
F i g. 2 zeigt wiederum den Leuchtschirm 11 sowie das
oberhalb desselben angeordnete Sauggitter 21 und den Szintillationsdetektor 18 mit nachfolgendem Lichtleiter
19 und Photoelektronen-Vervielfacher 20. Abweichend von F i g. 1 wird die in Strahlrichtung rückwärtige Seite
des Leuchtschirmes 11 bei diesem Ausführungsbeispiel über einen Umlenkspiegel 25 und eine Tandemoptik 26
auf einen Bildverstärker 27 abgebildet. Über diesen gelangt das Licht auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre
13, deren Ausgangssignal wiederum zur bildlichen Darstellung des Beugungsbildes auf einen Fernseh-Monitor
16 gegeben ist. Sowohl der Leuchtschirm 11 als auch der Umlenkspiegel 25 weisen ein Loch mit der
Mikroskopachse als Zentrum auf. Durch dieses Loch können achsnahe Elektronen zu einem Energieanalysator
28 gelangen. Neben der gleichzeitigen bildlichen Darstellung von Beugungsbild und Dunkelfeldbild ist
hierbei also auch eine Energieverlustanalyse möglich. Das Ausgangssignal des Energieanalysator 28 gelangt
über einen Spalt 29 auf einen Szintillationsdetektor 30 und von dort über einen Lichtleiter 31 auf einen
Photoelektronen-Vervielfacher 32. Bei bestimmter Erregung des Energieanalysators 28 stellt das Ausgangssignal
des Photoelektronen-Vervielfachers 32 das Hellfeldsignal dar, das wiederum auf einem Fernseh-Monitor
als Hellfeldbild sichtbar gemacht werden kann.
Bei diesem Ausführungsbeispiel ist es also möglich, wahlweise neben dem Beugungsbild und dem Dunkelfeldbild
gleichzeitig das Hellfeldbild zu betrachten oder eine Energieverlustanalyse vorzunehmen.
Die Fig.3 zeigt eine besonders raumgünstige Ausführungsform, bei der wiederum der vom Objekt
ausgehende Elektronenstrahl auf den Leuchtschirm 11 fällt. Dieser Leuchtschirm ist unter einem Winkel von
45° gegen die Mikroskopachse geneigt. Das auf der in .Strahlrichtung rückwärtigen Seite des Leuchtschirmes
11 austretende Licht wird über einen Lichtleiter 35 auf
einen Photoelektronen-Vervielfacher 36 gelenkt. An stelle des Photoelektronen-Vervielfachers 36 kann auch
jedes andere integrierende lichtempfindliche Element verwende). werfen. Der Leuchtschirm Ii und der
nachfolgende Lichtleiter 35 besitzen ein Loch mit der Mikroskopachse als Zentrum, durch das wiederum
achsnahe Elektronen zu einem hier nicht dargestellten Energieanalysator gelangen können. Der Lichtleiter 35
kann massiv sein, er kann jedoch auch aus einem Bündel von um den Kanal herumgelegten lichtleitenden Fasern
aufgebaut sein.
Die Vorderseite des Leuchtschirmes 11 wird über einen Umlenkspiegel 37 sowie eine Lichtoptik 38
wiederum auf die Fernsehaufnahmerohre 13 abgebildet,
deren Ausgangssignal dann wiederum das Beugungsbild liefert.
In diesem Ausführungsbeispiel sind der Leuchtschirm 11 mit dem anschließenden Lichtleiter 35 sowie der
Umlenkspiegel 37 in einem kompakten Bauteil 40 angeordnet, das über Dichtungen 41 vakuumdicht an die
Mikroskopsäule angeschlossen werden kann. Ein Fenster 42 dient als Vakuumabschluß zwischen dem
Umlenkspiegel 37 und der Lichtoptik 38, die ebenso wie die Fernsehaufnahmeröhre 13 außerhalb des Vakuums
angeordnet ist. Über einen Flansch 43 kann ein hier nicht dargestellter Energieanalysator angeschlossen
werden.
Bei diesem in der F i g. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel wird im Gegensatz zu den beiden vorherigen
Ausfiihrungsbeispielen auch das Dunkeifeidsignal über
vom ' euehtschirm ausgehendes Licht erhalten iino
nicht über Sekundärelektronen In allen drei Aubführungsbeispielen
wird jedoch die von einer Seite des Leuchtschirmes ausgehende Strahlung zur Erzeugung
des Beugungsbildes und die von der entgegengeseUien
Seite ausgehende Strahlung 7λτ Erzeugung des
Dunkelfeldbildes verwendet. Es sind jedoch auch
ίο Ausführungsbeispiele möglich, bei denen nur die vcn
einer Seite des Leuchtschirmes ausgehende Strahlung verwendet wird, um beide Signale zu erhalten,
beispielsweise kann die Rückseite des Leuchtschirmes über einen halbdurchiässtgen Spiegel einmal auf die
Ferrisehaufnahmeröhre und zum anderen auf ein integrierendes lichtempfindliches Element abgebildet
werden. Mit einer derartigen Anordnung ist jedoch immer eine intensilätshalbierung der einzelnen Signale
verbunden, weswegen man wohl bevorzugt die anderen
2« Ausführungsbeispiele verwenden wird.
Bei den dargestellten Ausführungsbeispiele η ist die Lichtoptik, die den Leuchtschirm auf das Target der
Fernsehaufnahmeröhre abbildet, als Linsenoptik ausgebildet. Man kann sie jedoch auch, insbesondere im
Ausführungsbeispiel nach F i f. 1, durch eine Faseroptik realisieren.
Die Erfindung beschränkt sich nicht nur auf die dargestellten Durchstrahlungs-Raster-Elektronenmikroskope;
sie gilt gleichermaßen auch für Durchstrahlungs-Raster-Ionenmikroskope.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (7)
1. Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop
mit einer Fernsehaufnahmeröhre zur Aufnahme und einem Fernseh-Monitor zur Wiedergabe des Beugungsbildes eines zu untersuchenden
Objektes, dadurch gekennzeichnet, daß sich im Strahlkegel hinter dem Objekt (4) ein
Durchsicht-Leuchtschirm (11) befindet, daß eine Uchtoptik (12,26,38) so angeordnet ist, daß sie den
Leuchtschirm (11) auf das Target der Fernsehaufnahmeröhre (13) abbildet, und daß ein die von dem
Leuchtschirm (U) ausgehende dem Dunkelfeldbild entsprechende Strahlung integral erfassender Detektor
(18,36) vorgesehen ist
2. Mikroskop nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Detektor (36), dessen Empfindlichkeit
im optischen Bereich der vom Leuchtschirm (11) ausgehenden Strahlung liegt (F i g. 3).
3. Mikroskop nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Detektor (18), dessen Empfindlichkeit
im Bereich von am Leuchtschirm (11) ausgelösten Sekundärkorpuskeln liegt (F i g. la und 2).
4. Mikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm (11) gegen die
Mikroskopachse schräggestellt ist, daß er an seiner in Strahlrichtung rückwärtigen Seite mit einem
lichtempfindlichen Element (36) als Detektor verbunden ist und daß die Vorderseite des Leuchtschirmes
(11) über die Lichtoptik (38) sowie gegebenenfalls Umlenkspiegel (37) auf das Target der
Fernsehaufnahmeröhre (13) abgebildet wird.
5. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Fernsehaufnahmeröhre
(13) außerhalb der Mikroskopachse angeordnet ist und daß die Lichtoptik (26, 38) und ein
Umlenkspiegel (25, 37) derart angeordnet sind, daß der Leuchtschirm (11) wiederum auf die Fernsehaufnahmeröhre
(13) abgebildet wird (F i g. 2 und 3).
6. Mikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtschirm (U) und alle in
Strahlrichtung hinter diesem angeordneten Teile ein Loch mit der Mikroskopachse als Zentrum aufweisen,
durch das achsnahe Korpuskeln zu einem Energieanalysator (28) gelangen können (F i g. 2).
7. Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Leuchtschirm
(11) und der Fernsehaufnahmeröhre (13) ein Bildverstärker (27) angeordnet ist.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762640260 DE2640260C3 (de) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop |
FR7724359A FR2363883A1 (fr) | 1976-09-03 | 1977-08-08 | Microscope a balayage a transmission, a faisceau corpusculaire |
NL7709151A NL7709151A (nl) | 1976-09-03 | 1977-08-18 | Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling. |
JP10351677A JPS5331955A (en) | 1976-09-03 | 1977-08-29 | Transmission scanning particle beam microscope |
GB3668177A GB1588234A (en) | 1976-09-03 | 1977-09-02 | Transmission type beam nicroscopes utilising a scanning technique |
US06/007,647 US4211924A (en) | 1976-09-03 | 1979-01-29 | Transmission-type scanning charged-particle beam microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762640260 DE2640260C3 (de) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2640260A1 DE2640260A1 (de) | 1978-03-09 |
DE2640260B2 DE2640260B2 (de) | 1978-06-22 |
DE2640260C3 true DE2640260C3 (de) | 1979-03-01 |
Family
ID=5987354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19762640260 Expired DE2640260C3 (de) | 1976-09-03 | 1976-09-03 | Durchstrahl ungs-Raster-Korpuskularstrahlniikroskop |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5331955A (de) |
DE (1) | DE2640260C3 (de) |
FR (1) | FR2363883A1 (de) |
GB (1) | GB1588234A (de) |
NL (1) | NL7709151A (de) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2160739A (en) * | 1984-06-23 | 1985-12-24 | Mclennan Marine Limited | Night vision systems |
JPS6196643A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 透過型電子顕微鏡 |
JPH071688B2 (ja) * | 1991-02-15 | 1995-01-11 | 株式会社島津製作所 | 走査型反射電子回折顕微鏡 |
JPH06213832A (ja) * | 1993-01-18 | 1994-08-05 | Shimadzu Corp | 回折電子検出装置 |
JP4255843B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2009-04-15 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡 |
WO2019193624A1 (ja) * | 2018-04-02 | 2019-10-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
-
1976
- 1976-09-03 DE DE19762640260 patent/DE2640260C3/de not_active Expired
-
1977
- 1977-08-08 FR FR7724359A patent/FR2363883A1/fr active Granted
- 1977-08-18 NL NL7709151A patent/NL7709151A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-08-29 JP JP10351677A patent/JPS5331955A/ja active Pending
- 1977-09-02 GB GB3668177A patent/GB1588234A/en not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5331955A (en) | 1978-03-25 |
DE2640260B2 (de) | 1978-06-22 |
FR2363883A1 (fr) | 1978-03-31 |
NL7709151A (nl) | 1978-03-07 |
FR2363883B1 (de) | 1980-04-04 |
DE2640260A1 (de) | 1978-03-09 |
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Date | Code | Title | Description |
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OAP | Request for examination filed | ||
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