JP6971388B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Claims (5)
- 試料へ電子線を照射する電子顕微鏡であって、
電子線を照射する照射部と、
第1の蛍光体を含み、前記照射部による電子線の照射により試料から発生する信号を検出して透過像を撮像する透過像撮像部と、
前記透過像撮像部の前記第1の蛍光体への前記信号の電流値を計測する電流値計測部と、
前記電流値計測部により計測された電流値と、前記第1の蛍光体の面積とに基づいて電子線密度を算出する電子線密度算出部と、
前記電子線密度算出部により算出された電子線密度に関する情報を用いて出力制御する制御部と、
を備え、
前記透過像撮像部と前記試料との間に位置する第2の蛍光体をさらに含み、
前記電子線密度算出部は、前記第2の蛍光体における試料から発生する信号の電流値と、前記第1の蛍光体における試料から発生する信号の電流値との相関関係に基づいて、前記電流値計測部により計測された電流値を補正して、補正した結果と前記第1の蛍光体の面積とに基づいて電子線密度を算出する、電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記制御部は、前記電子線密度算出部により算出された電子線密度に関する情報を用いた出力制御として、前記電子線密度をインジケータで表示させる、電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
基準となる電子線密度を設定する設定部と、
前記電子線密度算出部により算出された電子線密度と、前記設定部により設定された電子線密度との比較をする比較部と、をさらに備え、
前記制御部は、前記電子線密度算出部により算出された電子線密度に関する情報に基づいた出力制御として、前記比較部による比較結果に基づいた出力制御する、電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の電子顕微鏡において、
前記制御部は、前記比較部による比較結果に基づいた出力制御として、前記比較結果を表示させる、電子顕微鏡。 - 請求項3または4に記載の電子顕微鏡において、
前記制御部は、前記比較部による比較結果に基づいた出力制御として、前記比較結果に基づいて前記照射部による照射状態を変更させる、電子顕微鏡。
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