JPH09283071A - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JPH09283071A JPH09283071A JP8089305A JP8930596A JPH09283071A JP H09283071 A JPH09283071 A JP H09283071A JP 8089305 A JP8089305 A JP 8089305A JP 8930596 A JP8930596 A JP 8930596A JP H09283071 A JPH09283071 A JP H09283071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray detector
- sample
- objective lens
- fed
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線検出器のチャージアップを避けつつ元素
の定性及び定量分析が正確に行なえる電子線装置を提供
する。 【解決手段】 変換回路１８には、対物レンズの励磁量
が増すにつれてＸ線検出器８が試料から発生する２次電
子の照射を受けない程度に試料に近付くようにＸ線検出
器位置を指定する位置信号Ｍが記憶されており、変換回
路１８は、検出抵抗１５に発生した励磁電流に比例する
電圧Ｅに対応したＸ線検出器位置信号Ｍをモーター駆動
回路１２に送る。モーター駆動回路１２には、Ｘ線検出
器８の現在位置を表わす信号が位置検出器１１から送ら
れており、モーター駆動回路１２は、変換回路１８から
送られてくるＸ線検出器位置信号に対応する位置にＸ線
検出器８が位置するまでモーター９にモーター駆動信号
を送る。
の定性及び定量分析が正確に行なえる電子線装置を提供
する。 【解決手段】 変換回路１８には、対物レンズの励磁量
が増すにつれてＸ線検出器８が試料から発生する２次電
子の照射を受けない程度に試料に近付くようにＸ線検出
器位置を指定する位置信号Ｍが記憶されており、変換回
路１８は、検出抵抗１５に発生した励磁電流に比例する
電圧Ｅに対応したＸ線検出器位置信号Ｍをモーター駆動
回路１２に送る。モーター駆動回路１２には、Ｘ線検出
器８の現在位置を表わす信号が位置検出器１１から送ら
れており、モーター駆動回路１２は、変換回路１８から
送られてくるＸ線検出器位置信号に対応する位置にＸ線
検出器８が位置するまでモーター９にモーター駆動信号
を送る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は電子顕微鏡などの
電子線装置に関する。
電子線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 図１はＸ線分析機能を有する従来の電
子顕微鏡の概略を示したものである。１は電子顕微鏡の
鏡筒であり、その内部は排気装置（図示せず）により高
真空に排気されている。鏡筒１内の電子銃２で発生した
電子は集束レンズ３及び対物レンズ４により集束され、
対物レンズ４の上磁極４ａと下磁極４ｂのギャップ間に
配置された試料５に照射される。対物レンズ４の後段に
は蛍光板６が配置されており、透過型電子顕微鏡モード
の時には蛍光板６によって試料を透過した電子線の像が
観察される。
子顕微鏡の概略を示したものである。１は電子顕微鏡の
鏡筒であり、その内部は排気装置（図示せず）により高
真空に排気されている。鏡筒１内の電子銃２で発生した
電子は集束レンズ３及び対物レンズ４により集束され、
対物レンズ４の上磁極４ａと下磁極４ｂのギャップ間に
配置された試料５に照射される。対物レンズ４の後段に
は蛍光板６が配置されており、透過型電子顕微鏡モード
の時には蛍光板６によって試料を透過した電子線の像が
観察される。
【０００３】試料５の上部には、前記試料５の電子線照
射領域から発生する特性Ｘ線を検出するエネルギー分散
型Ｘ線検出器（ＥＤＳ）７が配置されており、検出され
た特性Ｘ線により照射領域の元素の定性及び定量分析が
行なわれる。このＸ線分析においては、試料上での電子
線の径が変えられて異なる大きさの領域のＸ線分析が行
なわれる。前記Ｘ線検出器７は、試料から発生する２次
電子の照射を受けるとチャージしてＸ線検出が行なえな
くなるので、Ｘ線検出器７は２次電子の照射を受けない
試料から十分離れた位置に固定的に配置されいる。
射領域から発生する特性Ｘ線を検出するエネルギー分散
型Ｘ線検出器（ＥＤＳ）７が配置されており、検出され
た特性Ｘ線により照射領域の元素の定性及び定量分析が
行なわれる。このＸ線分析においては、試料上での電子
線の径が変えられて異なる大きさの領域のＸ線分析が行
なわれる。前記Ｘ線検出器７は、試料から発生する２次
電子の照射を受けるとチャージしてＸ線検出が行なえな
くなるので、Ｘ線検出器７は２次電子の照射を受けない
試料から十分離れた位置に固定的に配置されいる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 しかし、Ｘ線検出器
を試料から十分離して配置すると、検出される特性Ｘ線
の量は少なくなり、元素の定性及び定量分析が正確に行
なわれない場合がある。
を試料から十分離して配置すると、検出される特性Ｘ線
の量は少なくなり、元素の定性及び定量分析が正確に行
なわれない場合がある。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、元素の定性及び定量分析が正確に行
なえる電子線装置を提供することにある。
ので、その目的は、元素の定性及び定量分析が正確に行
なえる電子線装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の電子線装置は、電子を発生する電子発生源と、該
電子発生源で発生した電子を試料上に集束する集束レン
ズと、前記試料の上部に配置され試料から発生するＸ線
を検出するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器の前記試料から
の距離を可変とするＸ線検出器移動機構とを備え、該Ｘ
線検出器移動機構は前記集束レンズの励磁量に基づいて
制御されることを特徴とする。
発明の電子線装置は、電子を発生する電子発生源と、該
電子発生源で発生した電子を試料上に集束する集束レン
ズと、前記試料の上部に配置され試料から発生するＸ線
を検出するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器の前記試料から
の距離を可変とするＸ線検出器移動機構とを備え、該Ｘ
線検出器移動機構は前記集束レンズの励磁量に基づいて
制御されることを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態を説明する。
施の形態を説明する。
【０００８】図２は本発明を電子顕微鏡に適用した例を
示した図であり、前記図１と同一番号を付したものは同
一構成要素を示し、その説明を省略する。
示した図であり、前記図１と同一番号を付したものは同
一構成要素を示し、その説明を省略する。
【０００９】図２において、Ｘ線検出器８は、モーター
９の回転により試料５に近付いたり試料５から遠ざかる
移動軸１０に固定されており、Ｘ線検出器８と試料５と
の距離は可変である。Ｘ線検出器８の現在位置は、モー
ター９に接続された位置検出器１１により検出され、得
られたＸ線検出器８の現在位置を表わす信号はモーター
９を駆動させるモーター駆動回路１２に送られる。
９の回転により試料５に近付いたり試料５から遠ざかる
移動軸１０に固定されており、Ｘ線検出器８と試料５と
の距離は可変である。Ｘ線検出器８の現在位置は、モー
ター９に接続された位置検出器１１により検出され、得
られたＸ線検出器８の現在位置を表わす信号はモーター
９を駆動させるモーター駆動回路１２に送られる。
【００１０】１３は対物レンズの対物レンズコイルであ
り、対物レンズコイル１３には対物レンズ励磁電流源１
４により励磁電流が供給される。対物レンズコイル１３
に直列に検出抵抗１５が接続されており、検出抵抗１５
の両端には励磁電流に比例した電圧Ｅが発生し、この電
圧Ｅは電圧検出回路１６により検出される。電圧検出回
路１６で検出された電圧Ｅは、ＡＤ変換器１７を介して
変換回路１８に送られる。変換回路１８には、各電圧Ｅ
1 ，Ｅ2 ，…Ｅn に対応してＸ線検出器位置信号Ｍ1 ，
Ｍ2 ，…Ｍn が記憶されており、変換回路１８は電圧Ｅ
に対応したＸ線検出器位置信号Ｍを読出してモーター駆
動回路１２に送る。モーター駆動回路１２は、モーター
９を回転させ、Ｘ線検出器をＸ線検出器位置信号Ｍに対
応した位置に移動させる。
り、対物レンズコイル１３には対物レンズ励磁電流源１
４により励磁電流が供給される。対物レンズコイル１３
に直列に検出抵抗１５が接続されており、検出抵抗１５
の両端には励磁電流に比例した電圧Ｅが発生し、この電
圧Ｅは電圧検出回路１６により検出される。電圧検出回
路１６で検出された電圧Ｅは、ＡＤ変換器１７を介して
変換回路１８に送られる。変換回路１８には、各電圧Ｅ
1 ，Ｅ2 ，…Ｅn に対応してＸ線検出器位置信号Ｍ1 ，
Ｍ2 ，…Ｍn が記憶されており、変換回路１８は電圧Ｅ
に対応したＸ線検出器位置信号Ｍを読出してモーター駆
動回路１２に送る。モーター駆動回路１２は、モーター
９を回転させ、Ｘ線検出器をＸ線検出器位置信号Ｍに対
応した位置に移動させる。
【００１１】次に、この構成の動作を説明する。
【００１２】対物レンズ励磁電流源１４を制御すると、
対物レンズコイル１３に流れる励磁電流が変化して試料
上の電子線の径が変化する。すなわち、対物レンズコイ
ル１３に流れる励磁電流が多くなるにつれて試料上の電
子線の径は小さくなる。そして、電圧Ｅは、対物レンズ
の励磁量が増すにつれて高くなる。電圧検出回路１６で
検出された電圧ＥはＡＤ変換器１７を介して変換回路１
８に送られる。
対物レンズコイル１３に流れる励磁電流が変化して試料
上の電子線の径が変化する。すなわち、対物レンズコイ
ル１３に流れる励磁電流が多くなるにつれて試料上の電
子線の径は小さくなる。そして、電圧Ｅは、対物レンズ
の励磁量が増すにつれて高くなる。電圧検出回路１６で
検出された電圧ＥはＡＤ変換器１７を介して変換回路１
８に送られる。
【００１３】ところで、図３は、対物レンズの励磁量の
変化による試料から発生した２次電子の軌道の変化を示
したものである。図３（ａ）は、対物レンズの励磁量が
多い場合の２次電子の軌道を示したものであり、この場
合には、試料から発生した２次電子は、対物レンズの前
方磁界（試料前方にある磁界）の影響を強く受けて光軸
のまわりを回転しながら電子銃方向に上昇する。このた
め、Ｘ線検出器８を試料にかなり近付けても２次電子が
Ｘ線検出器を照射することはない。また、図３（ｂ）
は、対物レンズの励磁量が少ない場合の２次電子の軌道
を示したものであり、この場合には、試料から発生した
２次電子は、対物レンズの前方磁界の影響をあまり受け
ずに試料から放出した方向に直進する。このため、Ｘ線
検出器８を試料から十分に離さないと２次電子がＸ線検
出器を照射してしまう。このことから、本発明において
は、試料から発生した２次電子の照射を受けてＸ線検出
器がチャージすることなく、かつＸ線検出器を出来る限
り試料に近付けて元素の定性及び定量分析が正確に行な
えるように、対物レンズの励磁量が増すにつれてＸ線検
出器が試料に近付くようにＸ線検出器位置を制御するよ
うにしている。
変化による試料から発生した２次電子の軌道の変化を示
したものである。図３（ａ）は、対物レンズの励磁量が
多い場合の２次電子の軌道を示したものであり、この場
合には、試料から発生した２次電子は、対物レンズの前
方磁界（試料前方にある磁界）の影響を強く受けて光軸
のまわりを回転しながら電子銃方向に上昇する。このた
め、Ｘ線検出器８を試料にかなり近付けても２次電子が
Ｘ線検出器を照射することはない。また、図３（ｂ）
は、対物レンズの励磁量が少ない場合の２次電子の軌道
を示したものであり、この場合には、試料から発生した
２次電子は、対物レンズの前方磁界の影響をあまり受け
ずに試料から放出した方向に直進する。このため、Ｘ線
検出器８を試料から十分に離さないと２次電子がＸ線検
出器を照射してしまう。このことから、本発明において
は、試料から発生した２次電子の照射を受けてＸ線検出
器がチャージすることなく、かつＸ線検出器を出来る限
り試料に近付けて元素の定性及び定量分析が正確に行な
えるように、対物レンズの励磁量が増すにつれてＸ線検
出器が試料に近付くようにＸ線検出器位置を制御するよ
うにしている。
【００１４】すなわち、変換回路１８には、電圧Ｅが高
くなる（対物レンズの励磁量が増す）につれてＸ線検出
器８が試料から発生する２次電子の照射を受けない程度
に試料に近付くようにＸ線検出器位置を指定する一連の
位置信号Ｍが記憶されており、変換回路１８は、検出さ
れた電圧Ｅに対応したＸ線検出器位置信号Ｍを読み出し
てモーター駆動回路１２に送る。
くなる（対物レンズの励磁量が増す）につれてＸ線検出
器８が試料から発生する２次電子の照射を受けない程度
に試料に近付くようにＸ線検出器位置を指定する一連の
位置信号Ｍが記憶されており、変換回路１８は、検出さ
れた電圧Ｅに対応したＸ線検出器位置信号Ｍを読み出し
てモーター駆動回路１２に送る。
【００１５】モーター駆動回路１２には、Ｘ線検出器８
の現在位置を表わす信号が位置検出器１１から送られて
おり、モーター駆動回路１２は、変換回路１８から送ら
れてくるＸ線検出器位置信号に対応する位置にＸ線検出
器８が位置するまでモーター９にモーター駆動信号を送
る。
の現在位置を表わす信号が位置検出器１１から送られて
おり、モーター駆動回路１２は、変換回路１８から送ら
れてくるＸ線検出器位置信号に対応する位置にＸ線検出
器８が位置するまでモーター９にモーター駆動信号を送
る。
【００１６】以上説明した図２の装置により、試料上で
の電子線の径を任意に設定した場合でも、Ｘ線検出器を
試料から発生した２次電子の照射を受けずに試料の近く
まで接近させることができる。このため、従来よりも微
小領域の元素の定性及び定量分析を正確に行なうことが
できる。
の電子線の径を任意に設定した場合でも、Ｘ線検出器を
試料から発生した２次電子の照射を受けずに試料の近く
まで接近させることができる。このため、従来よりも微
小領域の元素の定性及び定量分析を正確に行なうことが
できる。
【００１７】なお、電圧Ｅはレンズ電流の制御に使用さ
れるので、電圧検出回路１６に大きな電流が流れてレン
ズ電流制御に影響が出ないように、電圧検出回路１６の
入力インピーダンスを検出抵抗１５に比べて十分に高く
する必要がある。
れるので、電圧検出回路１６に大きな電流が流れてレン
ズ電流制御に影響が出ないように、電圧検出回路１６の
入力インピーダンスを検出抵抗１５に比べて十分に高く
する必要がある。
【００１８】以上本発明の一例を説明したが、本発明は
これに限定されない。例えば、対物レンズの励磁電流値
に対応させてＸ線検出位置信号を変換回路に予め記憶
し、対物レンズ励磁電流源から励磁電流を直接読み取っ
てその励磁電流に対応したＸ線検出位置信号を変換回路
からモーター駆動回路に供給してもよい。
これに限定されない。例えば、対物レンズの励磁電流値
に対応させてＸ線検出位置信号を変換回路に予め記憶
し、対物レンズ励磁電流源から励磁電流を直接読み取っ
てその励磁電流に対応したＸ線検出位置信号を変換回路
からモーター駆動回路に供給してもよい。
【００１９】また、上記例では対物レンズの励磁電流を
検出してＸ線検出器の位置を変えているが、集束レンズ
３の励磁電流が対物レンズの励磁電流の変化に連動して
変化するモードにおいては、集束レンズの励磁電流を検
出してＸ線検出器の位置を変えるようにしてもよい。
検出してＸ線検出器の位置を変えているが、集束レンズ
３の励磁電流が対物レンズの励磁電流の変化に連動して
変化するモードにおいては、集束レンズの励磁電流を検
出してＸ線検出器の位置を変えるようにしてもよい。
【００２０】さらに、対物レンズの励磁電流に応じたＸ
線検出器の位置制御は、最も単純には２段階で良い。即
ち、適宜なしきい値により励磁電流の大小を判別し、そ
の判別結果に応じて励磁電流が大の時Ｘ線検出器を試料
に接近させ、小の時Ｘ線検出器を試料から離すように位
置を２段階に制御すれば良い。
線検出器の位置制御は、最も単純には２段階で良い。即
ち、適宜なしきい値により励磁電流の大小を判別し、そ
の判別結果に応じて励磁電流が大の時Ｘ線検出器を試料
に接近させ、小の時Ｘ線検出器を試料から離すように位
置を２段階に制御すれば良い。
【００２１】
【発明の効果】 本発明によれば、集束レンズの励磁量
に応じてＸ線検出器と試料との距離を変えるので、試料
から発生する２次電子の照射を受けてＸ線検出器がチャ
ージすることはなく、また、集束レンズの励磁量が多い
場合にはＸ線検出器を試料により近付けることができて
検出Ｘ線量が増え、元素の定性及び定量分析が正確に行
なえる。
に応じてＸ線検出器と試料との距離を変えるので、試料
から発生する２次電子の照射を受けてＸ線検出器がチャ
ージすることはなく、また、集束レンズの励磁量が多い
場合にはＸ線検出器を試料により近付けることができて
検出Ｘ線量が増え、元素の定性及び定量分析が正確に行
なえる。
【図１】Ｘ線検出器を備えた従来の電子顕微鏡の概略を
示した図である。
示した図である。
【図２】本発明の一例として示した電子顕微鏡の概略を
示した図である。
示した図である。
【図３】対物レンズの励磁量の変化による試料から発生
した２次電子の軌道の変化を示したものである。
した２次電子の軌道の変化を示したものである。
１ 鏡筒 ２ 電子銃 ３ 集束レンズ ４ 対物レンズ ４ａ 上磁極 ４ｂ 下磁極 ５ 試料 ６ 蛍光板 ７ エネルギー分散型Ｘ線検出器（ＥＤＳ） ８ Ｘ線検出器 ９ モーター １０ 移動軸 １１ 位置検出器 １２ モーター駆動回路 １３ 対物レンズコイル １４ 対物レンズ励磁電流源 １５ 検出抵抗 １６ 電圧検出回路 １７ ＡＤ変換器 １８ 変換回路
フロントページの続き (72)発明者 石橋 有 東京都昭島市武蔵野３丁目１番２号 日本 電子株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 電子を発生する電子発生源と、該電子発
生源で発生した電子を試料上に集束する集束レンズと、
前記試料の上部に配置され試料から発生するＸ線を検出
するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器の前記試料からの距離
を可変とするＸ線検出器移動機構とを備え、該Ｘ線検出
器移動機構は前記集束レンズの励磁量に基づいて制御さ
れることを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8089305A JPH09283071A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8089305A JPH09283071A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 電子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09283071A true JPH09283071A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=13966962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8089305A Pending JPH09283071A (ja) | 1996-04-11 | 1996-04-11 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09283071A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007256038A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Jeol Ltd | 表面分析装置 |
| JP2008286735A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Jeol Ltd | 蛍光ｘ線分析装置のｅｄｓヘッド保護方法及び保護機構 |
| WO2023007608A1 (ja) * | 2021-07-28 | 2023-02-02 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置および試料の解析方法 |
-
1996
- 1996-04-11 JP JP8089305A patent/JPH09283071A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007256038A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Jeol Ltd | 表面分析装置 |
| JP2008286735A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Jeol Ltd | 蛍光ｘ線分析装置のｅｄｓヘッド保護方法及び保護機構 |
| WO2023007608A1 (ja) * | 2021-07-28 | 2023-02-02 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置および試料の解析方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001084942A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH09283071A (ja) | 電子線装置 | |
| JP2992688B2 (ja) | 複合荷電粒子ビーム装置 | |
| JP3021917B2 (ja) | 電子ビーム装置における自動焦点合わせと非点収差補正方法 | |
| JPH03134944A (ja) | 電子線装置 | |
| US2440640A (en) | Electron microanalyzer | |
| JPS5854463B2 (ja) | 電子プロ−ブ装置 | |
| JP3351647B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP2000106116A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP3342580B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| JP4146103B2 (ja) | 電界放射型電子銃を備えた電子ビーム装置 | |
| JPS62143351A (ja) | 自動光軸調整装置 | |
| JPH09245703A (ja) | 荷電粒子ビームの軸合わせ装置 | |
| JPH11135052A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS5919408B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH073772B2 (ja) | 電子ビ−ム収束装置 | |
| JPS5858779B2 (ja) | 電子顕微鏡等用視野移動装置 | |
| JP4163393B2 (ja) | 粒子線装置におけるフォーカス調整方法 | |
| JPS6342460Y2 (ja) | ||
| JPH04522Y2 (ja) | ||
| JPS645746B2 (ja) | ||
| JPS59194336A (ja) | Ｘ線マイクロアナライザ− | |
| JPS5864743A (ja) | 電子線装置 | |
| JPH08138601A (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JPH0323617A (ja) | イオンビーム描画方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030715 |