JP2000106116A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
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- JP2000106116A JP2000106116A JP10276048A JP27604898A JP2000106116A JP 2000106116 A JP2000106116 A JP 2000106116A JP 10276048 A JP10276048 A JP 10276048A JP 27604898 A JP27604898 A JP 27604898A JP 2000106116 A JP2000106116 A JP 2000106116A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 アライメントコイルの調整の操作性を向上さ
せた走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 加速電圧と対物レンズのレンズ強度に対
応してメモリー２２のテーブルＴ１からアライメントコ
イル１４に流す電流値のデータを読みだし、電源１６か
らアライメントコイル１４にデータに応じた電流を流
す。この動作によって最初の電子ビームの軸合わせが行
われるが、この軸合わせによっても像がぼけているよう
な場合、電源１６が再調整される。この再調整によって
アライメントコイル１４が正確に調整され、像の観察が
実行される。この再調整によるデータはインターフェー
ス１８に一時的に記憶され、次に電子銃１の加速電圧電
源１９を制御して加速電圧を変えたとき、メモリー２２
のテーブルＴ１の該当部分のデータは、再調整したデー
タに書き換えられる。
せた走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 加速電圧と対物レンズのレンズ強度に対
応してメモリー２２のテーブルＴ１からアライメントコ
イル１４に流す電流値のデータを読みだし、電源１６か
らアライメントコイル１４にデータに応じた電流を流
す。この動作によって最初の電子ビームの軸合わせが行
われるが、この軸合わせによっても像がぼけているよう
な場合、電源１６が再調整される。この再調整によって
アライメントコイル１４が正確に調整され、像の観察が
実行される。この再調整によるデータはインターフェー
ス１８に一時的に記憶され、次に電子銃１の加速電圧電
源１９を制御して加速電圧を変えたとき、メモリー２２
のテーブルＴ１の該当部分のデータは、再調整したデー
タに書き換えられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子ビームの軸合
わせ操作を簡単に正確に行うことができる走査電子顕微
鏡に関する。
わせ操作を簡単に正確に行うことができる走査電子顕微
鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、電子銃から発生し
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
によって集束し、試料上に照射すると共に、試料上で電
子ビームを２次元的に走査し、試料から発生した２次電
子や反射電子を検出し、検出信号を陰極線管に供給して
試料の走査像を得るようにしている。
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
によって集束し、試料上に照射すると共に、試料上で電
子ビームを２次元的に走査し、試料から発生した２次電
子や反射電子を検出し、検出信号を陰極線管に供給して
試料の走査像を得るようにしている。
【０００３】このような走査電子顕微鏡では、コンデン
サレンズや対物レンズ等のレンズやガンアライメントコ
イルや軸合わせ用アライメントコイルを調整して、電子
ビームを最適の条件で試料に照射する必要があるが、こ
の調整作業は厄介で熟練が要求される。
サレンズや対物レンズ等のレンズやガンアライメントコ
イルや軸合わせ用アライメントコイルを調整して、電子
ビームを最適の条件で試料に照射する必要があるが、こ
の調整作業は厄介で熟練が要求される。
【０００４】このため、ある種の走査電子顕微鏡では、
装置の製造工程の最終調整段階で、複数の加速電圧と対
物レンズのレンズ強度（試料と対物レンズとの間の距離
に相当）ごとに装置を調整した際、得られた軸合わせ用
データをメモリーに記憶させている。このようにする
と、実際の装置の使用時には、加速電圧と対物レンズの
レンズ強度を指定すると、それに応じてメモリーから所
定のデータが読み出せ、そのデータに基づいて各アライ
メントコイルを制御すれば、簡単に電子ビームの調整が
行える。
装置の製造工程の最終調整段階で、複数の加速電圧と対
物レンズのレンズ強度（試料と対物レンズとの間の距離
に相当）ごとに装置を調整した際、得られた軸合わせ用
データをメモリーに記憶させている。このようにする
と、実際の装置の使用時には、加速電圧と対物レンズの
レンズ強度を指定すると、それに応じてメモリーから所
定のデータが読み出せ、そのデータに基づいて各アライ
メントコイルを制御すれば、簡単に電子ビームの調整が
行える。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た方式では、データが得られている特定の加速電圧と対
物レンズのレンズ強度との組み合わせで使用する場合に
は正確に軸合わせを行うことができるものの、この特定
の加速電圧以外の加速電圧を用いた場合には、軸合わせ
の調整を行う必要がある。
た方式では、データが得られている特定の加速電圧と対
物レンズのレンズ強度との組み合わせで使用する場合に
は正確に軸合わせを行うことができるものの、この特定
の加速電圧以外の加速電圧を用いた場合には、軸合わせ
の調整を行う必要がある。
【０００６】このため、最近では、装置調整時に特徴点
となる加速電圧値と対物レンズのレンズ強度との組み合
わせごとに各電子アライメントコイルを調整してデータ
を得、他の加速電圧と対物レンズのレンズ強度との組み
合わせにおけるデータについては補間演算を施して算出
し、各加速電圧と対物レンズのレンズ強度との組み合わ
せごとのデータを得るようにしている。
となる加速電圧値と対物レンズのレンズ強度との組み合
わせごとに各電子アライメントコイルを調整してデータ
を得、他の加速電圧と対物レンズのレンズ強度との組み
合わせにおけるデータについては補間演算を施して算出
し、各加速電圧と対物レンズのレンズ強度との組み合わ
せごとのデータを得るようにしている。
【０００７】図１はある対物レンズのレンズ強度におけ
る加速電圧ごとのアライメントコイルに流す電流値変化
を示している。この場合、特徴点となる加速電圧、例え
ば、５ｋＶ、１０ｋＶ、２０ｋＶ、３０ＫＶで装置を調
整してアライメントコイルに流す電流の最適値Ｍ１〜Ｍ
４を測定し、その値をメモリーに記憶する。そして、特
徴点以外の加速電圧における電流値については、直線近
似によりその値を算出し同様にメモリーに記憶する。
る加速電圧ごとのアライメントコイルに流す電流値変化
を示している。この場合、特徴点となる加速電圧、例え
ば、５ｋＶ、１０ｋＶ、２０ｋＶ、３０ＫＶで装置を調
整してアライメントコイルに流す電流の最適値Ｍ１〜Ｍ
４を測定し、その値をメモリーに記憶する。そして、特
徴点以外の加速電圧における電流値については、直線近
似によりその値を算出し同様にメモリーに記憶する。
【０００８】このような事前のデータの取得と記憶をし
た後、実際の装置の使用時には、加速電圧と対物レンズ
のレンズ強度が決まると、その組み合わせに対応してメ
モリーからアライメントコイルに流す電流値のデータを
読みだし、アライメントコイルを制御する。しかしなが
ら、実際に測定した特徴点以外の加速電圧の対物レンズ
のレンズ強度の組み合わせ部分では、必ずしも直線近似
では正確な値となっておらず、アライメントコイルの再
調整が必要となっていた。
た後、実際の装置の使用時には、加速電圧と対物レンズ
のレンズ強度が決まると、その組み合わせに対応してメ
モリーからアライメントコイルに流す電流値のデータを
読みだし、アライメントコイルを制御する。しかしなが
ら、実際に測定した特徴点以外の加速電圧の対物レンズ
のレンズ強度の組み合わせ部分では、必ずしも直線近似
では正確な値となっておらず、アライメントコイルの再
調整が必要となっていた。
【０００９】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、アライメントコイルの調整の操作
性を向上させた走査電子顕微鏡を実現するにある。
もので、その目的は、アライメントコイルの調整の操作
性を向上させた走査電子顕微鏡を実現するにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】第１の発明に基づく走査
電子顕微鏡は、電子銃と、電子銃からの電子ビームを試
料上に細く集束するためのコンデンサレンズと対物レン
ズとを含むレンズ系と、試料上で電子ビームを２次元的
に走査するための走査手段と、電子銃における電子ビー
ムの加速電圧を決定する加速電圧電源と、電子ビームの
軸合わせを行うための軸合わせコイルと、電子ビームの
加速電圧値に応じた軸合わせコイルのデータを記憶した
記憶手段とを備え、電子ビームの加速電圧に基づき、記
憶手段から軸合わせコイルのデータを読みだし、このデ
ータに基づいて軸合わせコイルを制御するようにした走
査電子顕微鏡において、記憶手段から軸合わせコイルの
データを読みだし、このデータに基づいて軸合わせコイ
ルを制御し、更に再調整した場合、この再調整後の軸合
わせコイルのデータに基づき、記憶手段に記憶してある
軸合わせコイルのデータを書き換えるようにしたことを
特徴としている。
電子顕微鏡は、電子銃と、電子銃からの電子ビームを試
料上に細く集束するためのコンデンサレンズと対物レン
ズとを含むレンズ系と、試料上で電子ビームを２次元的
に走査するための走査手段と、電子銃における電子ビー
ムの加速電圧を決定する加速電圧電源と、電子ビームの
軸合わせを行うための軸合わせコイルと、電子ビームの
加速電圧値に応じた軸合わせコイルのデータを記憶した
記憶手段とを備え、電子ビームの加速電圧に基づき、記
憶手段から軸合わせコイルのデータを読みだし、このデ
ータに基づいて軸合わせコイルを制御するようにした走
査電子顕微鏡において、記憶手段から軸合わせコイルの
データを読みだし、このデータに基づいて軸合わせコイ
ルを制御し、更に再調整した場合、この再調整後の軸合
わせコイルのデータに基づき、記憶手段に記憶してある
軸合わせコイルのデータを書き換えるようにしたことを
特徴としている。
【００１１】第１の発明では、電子ビームの加速電圧に
基づき、記憶手段から軸合わせコイルのデータを読みだ
し、このデータに基づいて軸合わせコイルを制御するよ
うにした走査電子顕微鏡において、記憶手段から軸合わ
せコイルのデータを読みだし、このデータに基づいて軸
合わせコイルを制御し、更に再調整した場合、この再調
整後の軸合わせコイルのデータに基づき、記憶手段に記
憶してある軸合わせコイルのデータを書き換える。
基づき、記憶手段から軸合わせコイルのデータを読みだ
し、このデータに基づいて軸合わせコイルを制御するよ
うにした走査電子顕微鏡において、記憶手段から軸合わ
せコイルのデータを読みだし、このデータに基づいて軸
合わせコイルを制御し、更に再調整した場合、この再調
整後の軸合わせコイルのデータに基づき、記憶手段に記
憶してある軸合わせコイルのデータを書き換える。
【００１２】第２の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、記憶手段に記憶してある軸合わせコ
イルのデータの書き換えは、電子ビームの加速電圧を変
更したときに行うようにしたことを特徴としている。
１の発明において、記憶手段に記憶してある軸合わせコ
イルのデータの書き換えは、電子ビームの加速電圧を変
更したときに行うようにしたことを特徴としている。
【００１３】第３の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、軸合わせコイルのデータは、加速電
圧値と対物レンズのレンズ強度とに応じて用意されてい
ることを特徴としている。
１の発明において、軸合わせコイルのデータは、加速電
圧値と対物レンズのレンズ強度とに応じて用意されてい
ることを特徴としている。
【００１４】第４の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、記憶手段に記憶してある軸合わせコ
イルのデータの書き換えは、軸合わせコイルを再調整し
た際の加速電圧値に対応するデータのみならず、その近
傍のデータについても行うようにしたことを特徴として
いる。
１の発明において、記憶手段に記憶してある軸合わせコ
イルのデータの書き換えは、軸合わせコイルを再調整し
た際の加速電圧値に対応するデータのみならず、その近
傍のデータについても行うようにしたことを特徴として
いる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図２は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の一例を示しており、１は電子銃である。電
子銃１から発生し加速された電子ビームＥＢは、コンデ
ンサレンズ２、対物レンズ３によって試料４上に細く集
束される。更に電子ビームＥＢは走査コイル５によって
走査され、試料４上の所定領域は一次電子ビームＥＢに
よって走査される。
施の形態を詳細に説明する。図２は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の一例を示しており、１は電子銃である。電
子銃１から発生し加速された電子ビームＥＢは、コンデ
ンサレンズ２、対物レンズ３によって試料４上に細く集
束される。更に電子ビームＥＢは走査コイル５によって
走査され、試料４上の所定領域は一次電子ビームＥＢに
よって走査される。
【００１６】走査コイル５には、走査信号発生器６から
走査信号が供給されるが、この走査信号は、倍率制御器
７によって制御される。例えば、低い倍率が指示される
と、倍率制御器７は走査信号発生器６を制御し、比較的
振幅の大きな走査信号を走査コイルに供給する。逆に、
高い倍率が設定されると、倍率制御器７は走査信号発生
器６を制御し、比較的振幅の小さな走査信号を走査コイ
ル５に供給する。
走査信号が供給されるが、この走査信号は、倍率制御器
７によって制御される。例えば、低い倍率が指示される
と、倍率制御器７は走査信号発生器６を制御し、比較的
振幅の大きな走査信号を走査コイルに供給する。逆に、
高い倍率が設定されると、倍率制御器７は走査信号発生
器６を制御し、比較的振幅の小さな走査信号を走査コイ
ル５に供給する。
【００１７】試料４への一次電子ビームＥＢの照射によ
って試料４から発生した、例えば２次電子は、２次電子
検出器８によって検出される。検出器８の出力信号は、
ＡＤ変換器９によってディシタル信号に変換された後、
画像メモリー１０に供給されて記憶される。
って試料４から発生した、例えば２次電子は、２次電子
検出器８によって検出される。検出器８の出力信号は、
ＡＤ変換器９によってディシタル信号に変換された後、
画像メモリー１０に供給されて記憶される。
【００１８】画像メモリー１０に記憶された映像信号は
読み出され、ＤＡ変換器１１を介して陰極線管１２に供
給されることから、陰極線管１２には試料４への所定領
域の走査２次電子像が表示される。
読み出され、ＤＡ変換器１１を介して陰極線管１２に供
給されることから、陰極線管１２には試料４への所定領
域の走査２次電子像が表示される。
【００１９】電子ビームＥＢの光軸に沿って、電子ビー
ムの軸を調整するための各種のアライメントコイルやス
ティグマコイル等が配置されるが、図２ではガンアライ
メントコイル１３とアライメントコイル１４のみが図示
されている。ガンアライメントコイル１３には電源１５
から電子ビームの軸合わせ用電流が流され、また、アラ
イメテントコイル１４には電源１６から電子ビームの軸
合わせ用電流が流される。
ムの軸を調整するための各種のアライメントコイルやス
ティグマコイル等が配置されるが、図２ではガンアライ
メントコイル１３とアライメントコイル１４のみが図示
されている。ガンアライメントコイル１３には電源１５
から電子ビームの軸合わせ用電流が流され、また、アラ
イメテントコイル１４には電源１６から電子ビームの軸
合わせ用電流が流される。
【００２０】電源１５と電源１６はＣＰＵ１７のインタ
ーフェース１８に接続されており、ＣＰＵ１７によって
制御される。また、電子銃１の加速電圧電源１９、コン
デンサレンズ２の電源２０、対物レンズ３の電源２１、
倍率制御器７もインターフェース１８に接続されてい
る。ＣＰＵ１７には、メモリー２２が接続されている。
このような構成の動作を次に説明する。
ーフェース１８に接続されており、ＣＰＵ１７によって
制御される。また、電子銃１の加速電圧電源１９、コン
デンサレンズ２の電源２０、対物レンズ３の電源２１、
倍率制御器７もインターフェース１８に接続されてい
る。ＣＰＵ１７には、メモリー２２が接続されている。
このような構成の動作を次に説明する。
【００２１】通常の走査電子顕微鏡像の観察において
は、電子銃１からの一次電子ビームＥＢをコンデンサレ
ンズ２と対物レンズ３とによって試料４上に細く集束す
ると共に、試料４上の電子ビームの照射範囲を走査コイ
ル５によって２次元的に走査する。試料４への電子ビー
ムの照射によって発生した２次電子は、検出器８によっ
て検出される。
は、電子銃１からの一次電子ビームＥＢをコンデンサレ
ンズ２と対物レンズ３とによって試料４上に細く集束す
ると共に、試料４上の電子ビームの照射範囲を走査コイ
ル５によって２次元的に走査する。試料４への電子ビー
ムの照射によって発生した２次電子は、検出器８によっ
て検出される。
【００２２】検出信号はＡＤ変換器９を介して画像メモ
リー１０に記憶される。画像メモリー１０に記憶された
信号は読み出され、ＡＤ変換器１１を介して陰極線管１
２に供給されることから、陰極線管１２上には試料の走
査２次電子像が表示される。ここで、観察倍率を変える
場合には、倍率制御器７によって走査信号発生器６から
の走査信号を制御し、試料４上の一次電子ビームＥＢの
走査範囲を変える。
リー１０に記憶される。画像メモリー１０に記憶された
信号は読み出され、ＡＤ変換器１１を介して陰極線管１
２に供給されることから、陰極線管１２上には試料の走
査２次電子像が表示される。ここで、観察倍率を変える
場合には、倍率制御器７によって走査信号発生器６から
の走査信号を制御し、試料４上の一次電子ビームＥＢの
走査範囲を変える。
【００２３】このような走査像の観察時において、試料
４の種類に応じて加速電圧が決定され、また、対物レン
ズ３と試料４との間の距離（ワーキングディスタンスと
いう）も調整される。その結果、加速電圧電源１９が制
御され、電子銃１における電子ビームの加速電圧が所望
の値に設定され、また、ワーキングディスタンスに応じ
て対物レンズ３の電源２１が調整され、電子ビームが試
料４にジャストフォーカスされるように対物レンズのレ
ンズ強度が制御される。
４の種類に応じて加速電圧が決定され、また、対物レン
ズ３と試料４との間の距離（ワーキングディスタンスと
いう）も調整される。その結果、加速電圧電源１９が制
御され、電子銃１における電子ビームの加速電圧が所望
の値に設定され、また、ワーキングディスタンスに応じ
て対物レンズ３の電源２１が調整され、電子ビームが試
料４にジャストフォーカスされるように対物レンズのレ
ンズ強度が制御される。
【００２４】さて、ＣＰＵ１７に接続されたメモリー２
２には、各加速電圧値と対物レンズのレンズ強度に対応
した各アライメントコイルに流す電流のデータがテーブ
ルの形で記憶されている。このテーブルはアライメント
コイルやスティグマコイルの数に対応した数が設けられ
ている。
２には、各加速電圧値と対物レンズのレンズ強度に対応
した各アライメントコイルに流す電流のデータがテーブ
ルの形で記憶されている。このテーブルはアライメント
コイルやスティグマコイルの数に対応した数が設けられ
ている。
【００２５】例えば、アライメントコイル１４用のテー
ブルＴ１には、装置の製造過程での調整段階で、特徴点
となる加速電圧と対物レンズのレンズ強度との組み合わ
せ、例えば、複数の対物レンズのレンズ強度に対して５
ｋＶ、１０ｋＶ、２０ｋＶ、３０ＫＶで装置を調整して
アライメントコイル１４に流す電流の最適値を測定し、
その値をメモリー２２のテーブルＴ１に記憶する。そし
て、特徴点以外の加速電圧における電流値については、
直線近似によりその値を算出し同様にメモリー２２のテ
ーブルＴ１に記憶する。
ブルＴ１には、装置の製造過程での調整段階で、特徴点
となる加速電圧と対物レンズのレンズ強度との組み合わ
せ、例えば、複数の対物レンズのレンズ強度に対して５
ｋＶ、１０ｋＶ、２０ｋＶ、３０ＫＶで装置を調整して
アライメントコイル１４に流す電流の最適値を測定し、
その値をメモリー２２のテーブルＴ１に記憶する。そし
て、特徴点以外の加速電圧における電流値については、
直線近似によりその値を算出し同様にメモリー２２のテ
ーブルＴ１に記憶する。
【００２６】このような事前のデータの取得と記憶をし
た後、実際の装置の使用時には、加速電圧と対物レンズ
のレンズ強度が決まると、その組み合わせに対応してメ
モリー２２のテーブルＴ１からアライメントコイル１４
に流す電流値のデータを読みだし、電源１６からアライ
メントコイル１４にデータに応じた電流を流す。
た後、実際の装置の使用時には、加速電圧と対物レンズ
のレンズ強度が決まると、その組み合わせに対応してメ
モリー２２のテーブルＴ１からアライメントコイル１４
に流す電流値のデータを読みだし、電源１６からアライ
メントコイル１４にデータに応じた電流を流す。
【００２７】このデータのうち、特に、近似によって求
めたデータの場合、時として、必ずしも正確なアライメ
ントデータではない場合が生じる。その場合、オペレー
タはアライメントコイル１４の電源１６を手動で調整
し、電子ビームの最適な軸合わせを行うことになる。
めたデータの場合、時として、必ずしも正確なアライメ
ントデータではない場合が生じる。その場合、オペレー
タはアライメントコイル１４の電源１６を手動で調整
し、電子ビームの最適な軸合わせを行うことになる。
【００２８】この結果、例えば装置製造過程で実際に測
定した特徴点が図３に示すように加速電圧が５ｋＶと１
０ｋＶであり、その他の加速電圧におけるデータを直線
近似で算出した場合、加速電圧を７ｋＶに制御すると、
アメイメントコイル１４に流す電流のデータはＡとな
る。このデータＡに基づいて電源１６が制御され、アラ
イメントコイル１４に電流が流され、電子ビームの軸合
わせが行われる。
定した特徴点が図３に示すように加速電圧が５ｋＶと１
０ｋＶであり、その他の加速電圧におけるデータを直線
近似で算出した場合、加速電圧を７ｋＶに制御すると、
アメイメントコイル１４に流す電流のデータはＡとな
る。このデータＡに基づいて電源１６が制御され、アラ
イメントコイル１４に電流が流され、電子ビームの軸合
わせが行われる。
【００２９】ここまでが自動的に行われるが、この軸合
わせによっても像がぼけているような場合、電源１６が
再調整される。この再調整によってＡ＋Ａ´のデータに
よりアライメントコイル１４が正確に調整され、像の観
察が実行される。
わせによっても像がぼけているような場合、電源１６が
再調整される。この再調整によってＡ＋Ａ´のデータに
よりアライメントコイル１４が正確に調整され、像の観
察が実行される。
【００３０】このＡ´のデータはインターフェース１８
に一時的に記憶され、次に電子銃１の加速電圧電源１９
を制御して加速電圧を変えたとき、メモリー２２のテー
ブルＴ１の該当部分のデータは、ＡからＡ＋Ａ´に書き
換えられる。このメモリーのテーブル内容の書き換え
は、オペレータの指示によって行うこともできるが、装
置の操作性を向上させるためには、加速電圧の切り換え
をトリガーとして行うことが望ましい。
に一時的に記憶され、次に電子銃１の加速電圧電源１９
を制御して加速電圧を変えたとき、メモリー２２のテー
ブルＴ１の該当部分のデータは、ＡからＡ＋Ａ´に書き
換えられる。このメモリーのテーブル内容の書き換え
は、オペレータの指示によって行うこともできるが、装
置の操作性を向上させるためには、加速電圧の切り換え
をトリガーとして行うことが望ましい。
【００３１】このデータの書き換えは、実際に観察を行
った特定の対物レンズのレンズ強度における加速電圧
（上記の例では７ｋＶ）のみであっても良いが、その加
速電圧の近傍の加速電圧や対物レンズのレンズ強度に対
してもデータの書き換えを行うことは望ましい。例え
ば、加速電圧７ｋＶで実際の観察を行い、書き換えデー
タを取得した場合、例えば、加速電圧６ｋＶにおけるデ
ータＢをＢ＋Ｂ´に、加速電圧８ｋＶにおけるデータＣ
をＣ＋Ｃ´に、９ｋＶにおけるデータＤをＤ＋Ｄ´に書
き換えると、その後のアライメントコイル１４の調整の
正確さが増すことになる。
った特定の対物レンズのレンズ強度における加速電圧
（上記の例では７ｋＶ）のみであっても良いが、その加
速電圧の近傍の加速電圧や対物レンズのレンズ強度に対
してもデータの書き換えを行うことは望ましい。例え
ば、加速電圧７ｋＶで実際の観察を行い、書き換えデー
タを取得した場合、例えば、加速電圧６ｋＶにおけるデ
ータＢをＢ＋Ｂ´に、加速電圧８ｋＶにおけるデータＣ
をＣ＋Ｃ´に、９ｋＶにおけるデータＤをＤ＋Ｄ´に書
き換えると、その後のアライメントコイル１４の調整の
正確さが増すことになる。
【００３２】上記したステップは、アライメントコイル
１４だけではなく、ガンアライメントコイル１３や図示
していない他のアライメントコイル、スティグマコイル
に対しても行われる。ただし、ガンアライメントコイル
１３における電子ビームの軸調整は、対物レンズ３のレ
ンズ強度には影響されないため、軸調整用のデータは、
もっぱら加速電圧のみに依存することになる。
１４だけではなく、ガンアライメントコイル１３や図示
していない他のアライメントコイル、スティグマコイル
に対しても行われる。ただし、ガンアライメントコイル
１３における電子ビームの軸調整は、対物レンズ３のレ
ンズ強度には影響されないため、軸調整用のデータは、
もっぱら加速電圧のみに依存することになる。
【００３３】以上本発明の一実施の形態を説明したが、
本発明はこの形態に限定されるものではない。例えば、
メモリー内のテーブルの書き換え動作を加速電圧を変え
た際に行うようにしたが、対物レンズのレンズ強度を変
えた際に行うようにしても良い。
本発明はこの形態に限定されるものではない。例えば、
メモリー内のテーブルの書き換え動作を加速電圧を変え
た際に行うようにしたが、対物レンズのレンズ強度を変
えた際に行うようにしても良い。
【００３４】
【発明の効果】第１の発明では、電子ビームの加速電圧
に基づき、記憶手段から軸合わせコイルのデータを読み
だし、このデータに基づいて軸合わせコイルを制御する
ようにした走査電子顕微鏡において、記憶手段から軸合
わせコイルのデータを読みだし、このデータに基づいて
軸合わせコイルを制御し、更に再調整した場合、この再
調整後の軸合わせコイルのデータに基づき、記憶手段に
記憶してある軸合わせコイルのデータを書き換えるよう
に構成した。この結果、装置の使用にともなって、軸合
わせコイルの制御の正確性が増し、加速電圧を細かく変
えても軸合わせ操作を容易に短時間に行うことができ、
装置の操作性が向上する。
に基づき、記憶手段から軸合わせコイルのデータを読み
だし、このデータに基づいて軸合わせコイルを制御する
ようにした走査電子顕微鏡において、記憶手段から軸合
わせコイルのデータを読みだし、このデータに基づいて
軸合わせコイルを制御し、更に再調整した場合、この再
調整後の軸合わせコイルのデータに基づき、記憶手段に
記憶してある軸合わせコイルのデータを書き換えるよう
に構成した。この結果、装置の使用にともなって、軸合
わせコイルの制御の正確性が増し、加速電圧を細かく変
えても軸合わせ操作を容易に短時間に行うことができ、
装置の操作性が向上する。
【００３５】第２の発明では、記憶手段に記憶してある
軸合わせコイルのデータの書き換えは、電子ビームの加
速電圧を変更したときに行うようにしたので、データの
書き換えを自動的に行うことができ、より操作性が向上
する。
軸合わせコイルのデータの書き換えは、電子ビームの加
速電圧を変更したときに行うようにしたので、データの
書き換えを自動的に行うことができ、より操作性が向上
する。
【００３６】第３の発明では、軸合わせコイルのデータ
は、加速電圧値と対物レンズのレンズ強度とに応じて用
意されているので、加速電圧のみならず対物レンズのレ
ンズ強度を細かく変えても、軸合わせ操作を容易に短時
間に行うことができ、装置の操作性が向上する。
は、加速電圧値と対物レンズのレンズ強度とに応じて用
意されているので、加速電圧のみならず対物レンズのレ
ンズ強度を細かく変えても、軸合わせ操作を容易に短時
間に行うことができ、装置の操作性が向上する。
【００３７】第４の発明では、記憶手段に記憶してある
軸合わせコイルのデータの書き換えは、軸合わせコイル
を再調整した際の加速電圧値に対応するデータのみなら
ず、その近傍のデータについても行うようにしたので、
加速電圧を細かく変えても軸合わせ操作を容易に短時間
に行うことができ、装置の操作性がより向上する。
軸合わせコイルのデータの書き換えは、軸合わせコイル
を再調整した際の加速電圧値に対応するデータのみなら
ず、その近傍のデータについても行うようにしたので、
加速電圧を細かく変えても軸合わせ操作を容易に短時間
に行うことができ、装置の操作性がより向上する。
【図１】加速電圧に応じたアライメテントコイルデータ
を示す図である。
を示す図である。
【図２】本発明に基づく走査電子顕微鏡の一例を示す図
である。
である。
【図３】加速電圧に応じたアライメントコイルデータと
書き換えられるデータを説明するための図である。
書き換えられるデータを説明するための図である。
１ 電子銃 ２ コンデンサレンズ ３ 対物レンズ ４ 試料 ５ 走査コイル ６ 走査信号発生器 ７ 倍率制御器 ８ ２次電子検出器 ９ ＡＤ変換器 １０ 画像メモリー １１ ＤＡ変換器 １２ 陰極線管 １３ ガンアライメントコイル １４ アライメントコイル １５，１６ 電源 １７ ＣＰＵ １８ インターフェース １９ 加速電圧電源 ２０ コンデンサレンズ電源 ２１ 対物レンズ電源 ２２ メモリー
Claims (4)
- 【請求項１】 電子銃と、電子銃からの電子ビームを試
料上に細く集束するためのコンデンサレンズと対物レン
ズとを含むレンズ系と、試料上で電子ビームを２次元的
に走査するための走査手段と、電子銃における電子ビー
ムの加速電圧を決定する加速電圧電源と、電子ビームの
軸合わせを行うための軸合わせコイルと、電子ビームの
加速電圧値に応じた軸合わせコイルのデータを記憶した
記憶手段とを備え、電子ビームの加速電圧に基づき、記
憶手段から軸合わせコイルのデータを読みだし、このデ
ータに基づいて軸合わせコイルを制御するようにした走
査電子顕微鏡において、記憶手段から軸合わせコイルの
データを読みだし、このデータに基づいて軸合わせコイ
ルを制御し、更に再調整した場合、この再調整後の軸合
わせコイルのデータに基づき、記憶手段に記憶してある
軸合わせコイルのデータを書き換えるようにした走査電
子顕微鏡。 - 【請求項２】 記憶手段に記憶してある軸合わせコイル
のデータの書き換えは、電子ビームの加速電圧を変更し
たときに行うようにした請求項１記載の走査電子顕微
鏡。 - 【請求項３】 軸合わせコイルのデータは、加速電圧値
と対物レンズのレンズ強度とに応じて用意されている請
求項１記載の走査電子顕微鏡。 - 【請求項４】 記憶手段に記憶してある軸合わせコイル
のデータの書き換えは、軸合わせコイルを再調整した際
の加速電圧値に対応するデータのみならず、その近傍の
データについても行うようにした請求項１記載の走査電
子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27604898A JP3524776B2 (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27604898A JP3524776B2 (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000106116A true JP2000106116A (ja) | 2000-04-11 |
| JP3524776B2 JP3524776B2 (ja) | 2004-05-10 |
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ID=17564072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27604898A Expired - Fee Related JP3524776B2 (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 走査電子顕微鏡 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3524776B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292682A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Mitsubishi Electric Corp | Ｃａｄ／ｃａｍ装置及び電子ビーム照射装置 |
| JP2007012544A (ja) * | 2005-07-04 | 2007-01-18 | Jeol Ltd | 収差補正装置を備えた荷電粒子ビーム装置 |
| JP2009211962A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
| US7605381B2 (en) | 2001-05-30 | 2009-10-20 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam alignment method and charged particle beam apparatus |
| JP2011134719A (ja) * | 2011-02-14 | 2011-07-07 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線調整方法及び荷電粒子線装置 |
| JP2012109274A (ja) * | 2012-03-05 | 2012-06-07 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
| JP2013080723A (ja) * | 2012-12-28 | 2013-05-02 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線装置 |
| JP2013196862A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Hitachi High-Tech Science Corp | 集束イオンビーム装置およびイオンビーム光学系の調整方法 |
-
1998
- 1998-09-29 JP JP27604898A patent/JP3524776B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4705812B2 (ja) * | 2005-07-04 | 2011-06-22 | 日本電子株式会社 | 収差補正装置を備えた荷電粒子ビーム装置 |
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| JP2013196862A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Hitachi High-Tech Science Corp | 集束イオンビーム装置およびイオンビーム光学系の調整方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3524776B2 (ja) | 2004-05-10 |
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