JP2000113845A - 電界放射型走査電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンデンサレンズを小さくしても試料に照射
される電子ビームの電流量を広範囲に変えることができ
る電界放射型走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 エミッタと引出電極と加速電極とを備え
た電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃からの電子ビ
ームを集束するためのコンデンサレンズと、対物レンズ
と、コンデンサレンズと対物レンズとの間に設けられた
対物レンズ絞りとを備え、コンデンサレンズの励磁強度
を変化させて対物レンズ絞りの開口を通過して試料に照
射される照射電流を変化させるようにした電界放射型走
査電子顕微鏡において、照射電流を指定する手段と、該
指定手段による指定照射電流に基づいて電界放射型電子
銃の引出電圧と前記コンデンサレンズの励磁強度を設定
する設定手段を備えて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料上で電子ビー
ムを２次元的に走査し、その走査に基づいて発生した２
次電子等を検出して試料像を得るようにした走査電子顕
微鏡に関し、特に、電子銃として電界放射型電子銃を用
いた電界放射型走査電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】走査電子顕微鏡では、電子銃から発生し
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
によって集束し、試料上に照射すると共に、試料上で電
子ビームを２次元的に走査し、試料から発生した２次電
子や反射電子を検出し、検出信号を陰極線管に供給して
試料の走査像を得るようにしている。

【０００３】このような走査電子顕微鏡において、観察
する試料の種類により、電子銃からの電子ビームの加速
電圧を変化させたり、試料に照射する電子ビームの照射
電流量を変化させるようにしている。この試料に照射す
る電子ビームの照射電流量を変化させる場合には、コン
デンサレンズによって対物レンズ絞りの上部にクロスオ
ーバを結び、コンデンサレンズの励磁を変化させ、対物
レンズ絞りの開口を通過する電子ビームの量を変化させ
るようにしている。

【０００４】図１はこのような走査電子顕微鏡を示して
いる。１は電界放射型電子銃であり、エミッタ２、引出
電極３、接地電位の加速電極４より構成されている。エ
ミッタ２と引出電極３との間には、図示していない電源
より引出電圧が印加され、エミッタ２と加速電極４との
間には、図示していない電源より加速電圧が印加され
る。この電子銃では、引出電圧によりエミッタ２から電
子が引き出され、その電子は加速電圧によって加速され
る。

【０００５】電子銃１から発生し加速された電子ビーム
ＥＢは、コンデンサレンズ５、対物レンズ６によって試
料７上に細く集束される。なお、対物レンズ６の上部に
は、対物レンズ絞り８が配置されており、対物レンズ絞
り８の開口を通過した電子ビームが試料７に照射され
る。なお、対物レンズ６と対物レンズ絞り８との間には
開き角制御レンズ９が設けられているが、この開き角制
御レンズ９は試料７に照射される電子ビームの開き角を
制御する。

【０００６】図示していないが、電子ビームＥＢの光軸
に沿って試料７上で電子ビームを２次元的に走査するた
めの走査コイルが配置されている。この走査コイルによ
る試料上の電子ビームの２次元走査にともなって、例え
ば２次電子が発生するが、この２次電子は図示していな
い２次電子検出器によって検出される。検出器の出力信
号は、電子ビームＥＢの２次元走査に同期した陰極線管
に供給されることから、陰極線管上には試料の走査２次
電子像が表示される。

【０００７】ここで、試料７に照射される電子ビームＥ
Ｂの電流量を変化させる場合、コンデンサレンズ５の励
磁電流が変えられる。図２はこの様子を示しており、試
料７への電子ビームの電流量を大きくする場合には、コ
ンデンサレンズの励磁電流を少なくしてレンズ強度を小
さくし、破線Ｐで示すように電子ビームを集束する。こ
のようなコンデンサレンズの励磁とすると、クロスオー
バの位置が下がり、対物レンズ絞り８の開口を通過する
電子ビームの量が多くなる。

【０００８】逆に、試料７への電子ビームの電流量を小
さくする場合には、コンデンサレンズの励磁電流を多く
してレンズ強度を大きくし、実線Ｑで示すように電子ビ
ームを集束する。このようなコンデンサレンズの励磁と
すると、クロスオーバの位置が上がり、対物レンズ絞り
８の開口を通過する電子ビームの量が少なくなる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、走査電子顕
微鏡の鏡筒をなるべくコンパクトに小さくするために
は、コンデンサレンズ５も小さくすることが必要であ
る。このコンデンサレンズを小さくすると、クロスオー
バーをより上方に結ばせるためには、より大きな励磁電
流が必要となる。

【００１０】コンデンサレンズ５は通常、コイルと磁極
片を使用しているが、広範囲にクロスオーバの位置を変
化させ、試料に照射される電子ビームの電流量を変えよ
うとすると、励磁電流の可変範囲を大きくせざるを得な
い。すなわち、試料に照射される電子ビームの電流量を
少なくするためには、大きな励磁電流をコンデンサレン
ズに供給する必要がある。

【００１１】大きな励磁電流をコンデンサレンズ５のコ
イルに流した場合、コイルの発熱によりコイルや磁極片
を含むコンデンサレンズ全体が加熱される。このコンデ
ンサレンズの加熱により鏡筒全体も加熱され、鏡筒内部
の真空が悪化するという問題が生じる。この問題は特に
高真空が要求される電界放射型電子銃にとっては無視で
きない。

【００１２】このため、従来、コンデンサレンズを小形
化するには限界があり、コンデンサレンズはある程度大
きく設計せざるを得ない。本発明は、このような点に鑑
みてなされたもので、その目的は、コンデンサレンズを
小さくしても試料に照射される電子ビームの電流量を広
範囲に変えることができる電界放射型走査電子顕微鏡を
実現するにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】（１）前記した課題を解
決する第１の発明は、エミッタと引出電極と加速電極と
を備えた電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃からの
電子ビームを集束するためのコンデンサレンズと、対物
レンズと、コンデンサレンズと対物レンズとの間に設け
られた対物レンズ絞りとを備え、コンデンサレンズの励
磁強度を変化させて対物レンズ絞りの開口を通過して試
料に照射される照射電流を変化させるようにした電界放
射型走査電子顕微鏡において、照射電流を指定する手段
と、該指定手段による指定照射電流に基づいて電界放射
型電子銃の引出電圧と前記コンデンサレンズの励磁強度
を設定する設定手段を備えたことを特徴としている。

【００１４】この発明の構成によれば、試料に照射され
る照射電流を指定した場合に、その指定に応じて電界放
射型電子銃の引出電圧とコンデンサレンズの励磁強度を
設定することにより、コンデンサレンズを小さくしても
試料に照射される電子ビームの電流量を広範囲に変える
ことができる。

【００１５】（２）前記した課題を解決する第２の発明
は、エミッタと引出電極と加速電極とを備えた電界放射
型電子銃と、電界放射型電子銃からの電子ビームを集束
するためのコンデンサレンズと、対物レンズと、コンデ
ンサレンズと対物レンズとの間に設けられた対物レンズ
絞りとを備え、コンデンサレンズの励磁強度を変化させ
て対物レンズ絞りの開口を通過して試料に照射される照
射電流を変化させるようにした電界放射型走査電子顕微
鏡において、照射電流を指定する手段と、該指定手段に
よる指定照射電流に基づいて電界放射型電子銃の引出電
圧を少なくとも２段階に切り換える切換手段を備えたこ
とを特徴としている。

【００１６】この発明の構成によれば、試料に照射され
る照射電流を指定した場合に、その指定に応じて電界放
射型電子銃の引出電圧を少なくとも２段階に切り換える
ようにして、コンデンサレンズを小さくしても試料に照
射される電子ビームの電流量を広範囲に変えることがで
きる。

【００１７】（３）この場合において、電子銃の下部に
設けたアライメントコイルに供給する補正電流の情報を
引出電圧に応じて記憶する手段を設け、引出電圧が変え
られた場合には、その引出電圧に応じた補正電流情報に
基づいた補正電流を前記アライメントコイルに供給する
ようにしたことを特徴としている。

【００１８】この発明の構成によれば、電子銃の下部に
設けたアライメントコイルに補正電流を供給し、電子ビ
ームのずれを補正することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図３は本発明に基づく電界
放射型走査電子顕微鏡を示しており、図１と同一ないし
は類似の構成要素には同一番号が付されている。

【００２０】図中１は電界放射型電子銃であり、エミッ
タ２、引出電極３、接地電位の加速電極４より構成され
ている。エミッタ２と引出電極３との間には、高電圧駆
動回路１０より引出電圧が印加され、エミッタ２と加速
電極４との間には、高電圧駆動回路１０より加速電圧が
印加される。

【００２１】この電子銃では、引出電圧によりエミッタ
２から電子が引き出され、その電子は加速電圧によって
加速される。なお、高電圧駆動回路１０からの引出電圧
は、引出電圧制御回路１１によって制御される。また、
引出電圧制御回路１１は操作卓１８を備えたＣＰＵ１２
によって制御される。

【００２２】電子銃１から発生し加速された電子ビーム
は、コンデンサレンズ５、対物レンズ６によって試料７
上に細く集束される。コンデンサレンズ５への励磁電流
はコンデンサレンズ駆動回路１３から供給されるが、コ
ンデンサレンズ駆動回路１３はコンデンサレンズ制御回
路１４により制御される。なお、コンデンサレンズ制御
回路１４はＣＰＵ１２により制御される。

【００２３】対物レンズ６の上部には、対物レンズ絞り
８が配置されており、対物レンズ絞り８の開口を通過し
た電子ビームが試料７に照射される。なお、対物レンズ
６と対物レンズ絞り８との間には開き角制御レンズ９が
設けられているが、この開き角制御レンズ９は試料７に
照射される電子ビームの開き角を制御する。対物レンズ
６と開き角制御レンズ９は、それぞれＣＰＵ１２により
制御される。

【００２４】図示していないが、電子ビームＥＢの光軸
に沿って試料７上で電子ビームを２次元的に走査するた
めの走査コイルが配置されている。この走査コイルによ
る試料上の電子ビームの２次元走査にともなって、例え
ば２次電子が発生するが、この２次電子は図示していな
い２次電子検出器によって検出される。検出器の出力信
号は、電子ビームＥＢの２次元走査に同期した陰極線管
に供給されることから、陰極線管上には試料の走査２次
電子像が表示される。

【００２５】電子銃１とコンデンサレンズ５との間に
は、アライメントコイル１５が配置されている。アライ
メントコイル１５には、アライメント回路１６から電子
ビームの光軸からのずれを補正するためのメモリー１７
に記憶された値に基づくアライメント電流が供給され
る。このような構成の動作を次に説明する。

【００２６】図４は、ある引出電圧ＶｓHにおけるコン
デンサレンズの励磁電流Ｉｃと試料上に照射される電子
ビームの照射電流Ｉｐとの関係及び照射電流Ｉｐとプロ
ーブ径Ｄｐとの関係を示す図である。この図から、励磁
電流Ｉｃが大きくなる程照射電流Ｉｐが小さくなるこ
と、及びプローブ径Ｄｐは照射電流Ｉｐが小さい領域で
は一定で、ある限度を超えると急激に増大することが分
かる。

【００２７】通常、走査電子顕微鏡においては、このプ
ローブ径Ｄｐが変化しない照射電流量の領域が使用され
る。従って、コンデンサレンズの励磁電流Ｉｃは、下限
値Ｉｃ１と上限値Ｉｃ２の間で調節され、それにより、
照射電流ＩｐをＩｐ２からＩｐ１まで変化させることが
できる。照射電流がＩｐ１に近い小電流領域では、コン
デンサレンズの励磁電流は上限値Ｉｃ２に近い大電流領
域となり、前記したように、コンデンサレンズの発熱に
伴う悪影響が顕著となる。

【００２８】ところで、図４は、ある引出電圧ＶｓHに
おけるＩｃとＩｐ、及びＩｐとＤｐの関係を示している
が、ここで引出電圧をＶｓHよりも低いＶｓLに下げる
と、エミッタ２からの元々の電子の発生量が減少するこ
とから、Ｉｐ−Ｄｐ曲線が図５に示すようにａからｂへ
と左方へ平行移動すると共に、Ｉｃ−Ｉｐ直線もｃから
ｄへと左方へ平行移動する。図５から低い引出電圧ＶSL
を用いれば、照射電流ＩｐがＩｐ１に近い小電流領域を
使用する場合であっても、必要となるコンデンサレンズ
の励磁電流は高い引出電圧の場合の上限値Ｉｃ２よりも
小さなＩｃ３ですむことが分かる。

【００２９】そこで、本発明では、照射電流が大きな図
５中Ａの領域では高い引出電圧ＶｓHを用い、照射電流
が小さな図５中Ｂの領域では低い引出電圧ＶｓLを用い
ることにより、コンデンサレンズ励磁電流を大きくしな
くても小さな照射電流を実現することを基本にしてい
る。

【００３０】即ち、ＣＰＵ１２には、図５におけるＩｃ
−Ｉｐ直線ｃ、ｄ及び直線ｃに従う制御と直線ｄに従う
制御との切り換えを行なうための境界照射電流値Ｉｐ３
が制御用データとして格納されている。いま、オペレー
タにより操作卓１８を介して照射電流値Ｉｐ４が入力さ
れると、ＣＰＵ１２は入力された照射電流値Ｉｐ４を境
界照射電流値Ｉｐ３と比較し、Ｉｐ４が前記領域Ａにあ
る場合、引出電圧制御回路１１に領域Ａ用の高い引出電
圧ＶｓHを発生するように指令すると共に、直線ｃに基
づいて照射電流値Ｉｐ４を実現するためのコンデンサレ
ンズ励磁電流値Ｉｃ４を決定し、コンデンサレンズ励磁
電流がこの値になるように制御回路１４に指令する。

【００３１】一方、オペレータにより操作卓１８を介し
て照射電流値Ｉｐ５が入力されると、ＣＰＵ１２は入力
された照射電流値Ｉｐ５を境界照射電流値Ｉｐ３と比較
し、Ｉｐ５が前記領域Ｂにあるので、引出電圧制御回路
１１に領域Ｂ用の低い引出電圧ＶｓLを発生するように
指令すると共に、直線ｄに基づいて照射電流値Ｉｐ５を
実現するためのコンデンサレンズ励磁電流値Ｉｃ５を決
定し、コンデンサレンズ励磁電流がこの値になるように
制御回路１４に指令する。

【００３２】なお、上記実施の形態例では操作卓１８よ
り照射電流値を直接入力したが、照射電流の指定方法は
直接数値入力以外に各種の方法が採用できる。例えば、
エンコーダ等により指定値を発生させてもよいし、アッ
プダウンカウンタを用い、クロックパルスをアップカウ
ント或いはダウンカウントさせて指定値を順次発生させ
てもよい。

【００３３】エンコーダ等を用いた場合、照射電流値を
徐々に変化させることが可能である。即ち、照射電流の
現在の値がＩｐ５で、ここから上昇させる場合、エンコ
ーダからの指定値はＩｐ５から徐々に上昇し、ＣＰＵ１
２はエンコーダからの指定値を境界照射電流値Ｉｐ３と
比較し、指定値が前記領域Ｂにある間は、引出電圧制御
回路１１に領域Ｂ用の低い引出電圧ＶｓLを発生するよ
うに指令すると共に、直線ｄに基づいて指定値を実現す
るためのコンデンサレンズ励磁電流値を決定し、コンデ
ンサレンズ励磁電流がこの値になるように制御回路１４
に指令する。

【００３４】そして、指定値がＩｐ３を超えると、ＣＰ
Ｕ１２は入力された指定値が前記領域Ａにあると判断
し、引出電圧制御回路１１に領域Ａ用の高い引出電圧Ｖ
ｓHを発生するように指令すると共に、直線ｃに基づい
て照射電流値Ｉｐ４を実現するためのコンデンサレンズ
励磁電流Ｉｃ４を決定し、コンデンサレンズ励磁電流が
この値になるように制御回路１４に指令する。

【００３５】逆向きの変化の場合には、逆に、指定値が
Ｉｐ３を下回ると、ＣＰＵ１２により引出電圧が領域Ａ
用の高い引出電圧ＶｓHから領域Ｂ用の低い引出電圧Ｖ
ｓLに切り換えられる。このようにして、境界照射電流
値Ｉｐ３に基づいて引出電圧が高い値と低い値に切り換
えられる。

【００３６】このような制御を行なうことにより、小さ
な照射電流の領域を比較的小さなコンデンサレンズ励磁
電流で実現できる。このため、コンデンサレンズの発熱
を最小に抑えることが可能となる。従って、鏡筒内の真
空度を悪化させることが防止できると共に、小型のコン
デンサレンズを採用することが可能となる。

【００３７】上記した図５の領域Ｂにおいては、電子銃
１における引出電圧をＶｓHよりＶｓLに変化することに
ともなって、電界放射型電子銃の静電レンズ作用にも変
化が生じ、発生する電子ビームが光軸からずれることに
なる。このずれが無視できない場合には、引出電圧の切
り換えに関連させて例えば以下のような制御を行えばよ
い。即ち、メモリー１７に引出電圧に対応したアライメ
ント補正値を記憶させておき、引出電圧を変えた場合に
は、その引出電圧に応じたアライメント補正値をメモリ
ー１７から読みだし、アライメント回路１６に供給す
る。アライメント回路１６は補正値に応じてアライメン
トコイル１５に補正電流を供給し、電子銃１からの電子
ビームの光軸からのずれを補正する。

【００３８】なお、試料上に照射されるプローブの径
は、２つのパラメータ、すなわち、コンデンサレンズ５
で結ぶクロスオーバーの位置、および、引出電圧の値に
よる電子源位置（仮想光源位置）の移動によって異なっ
てくる。このため、それぞれのパラメータの変化の際に
は、光学系の計算式により常に最適なプローブ径が得ら
れるように、ＣＰＵ１２で計算を行い、その計算に基づ
いて各レンズを制御することは好ましい。

【００３９】以上、本発明の一実施の形態例を説明した
が、本発明はこの形態に限定されるものではない。例え
ば、上記実施の形態例では照射電流の可変範囲をＡとＢ
の２つの領域に分けたが、３つ以上の領域に分け、それ
ぞれの領域に対応した引出電圧を選択するようにしても
よい。領域同士の境界領域は、オーバラップさせるよう
にしてもよい。

【００４０】また、指定照射電流値Ｉｐを実現するため
のコンデンサレンズ励磁電流値Ｉｃの決定は、Ｉｐ−Ｉ
ｃ変換テーブルを用意し、指定された照射電流値に対応
するコンデンサレンズ励磁電流値を読み出すようにして
もよいし、図５の直線ｃ、ｄを関数として記憶し、指定
された照射電流値をその関数に代入して演算により求め
るようにしてもよい。

【００４１】更に、上記実施の形態例では指定された照
射電流値に応じて引出電圧及びコンデンサレンズ励磁電
流が設定されるようにしたが、先に引出電圧を指定し、
その後コンデンサレンズ励磁電流をＩｃ１とＩｃ３の間
で適宜調節することにより照射電流を調節するようにし
てもよい。例えば、照射電流の可変範囲を大電流領域と
小電流の２つの間で選択できるレンズ選択スイッチを設
け、このスイッチにより大電流領域が選択された場合に
は引出電圧が高い引出電圧ＶｓHに設定され、小電流領
域が選択された場合には引出電圧が低い引出電圧ＶｓL
に設定されるようにする。その後、コンデンサレンズ励
磁電流を適宜選択調整すれば、スイッチにより大電流領
域が選択された場合には照射電流をＩｐ３とＩｐ２との
間で可変でき、小電流領域が選択された場合には照射電
流をＩｐ１とＩＰ３の間で可変できる。この場合にも、
２つの領域の境界領域はオーバラップさせるようにして
もよい。

【００４２】

【発明の効果】以上、詳細説明したように、 （１）第１の発明では、エミッタと引出電極と加速電極
とを備えた電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃から
の電子ビームを集束するためのコンデンサレンズと、対
物レンズと、コンデンサレンズと対物レンズとの間に設
けられた対物レンズ絞りとを備え、コンデンサレンズの
励磁強度を変化させて対物レンズ絞りの開口を通過して
試料に照射される照射電流を変化させるようにした電界
放射型走査電子顕微鏡において、照射電流を指定する手
段と、該指定手段による指定照射電流に基づいて電界放
射型電子銃の引出電圧と前記コンデンサレンズの励磁強
度を設定する設定手段を備えたことにより、試料に照射
される照射電流を指定した場合に、その指定に応じて電
界放射型電子銃の引出電圧とコンデンサレンズの励磁強
度を設定することで、コンデンサレンズを小さくしても
試料に照射される電子ビームの電流量を広範囲に変える
ことができる。

【００４３】（２）第２の発明では、エミッタと引出電
極と加速電極とを備えた電界放射型電子銃と、電界放射
型電子銃からの電子ビームを集束するためのコンデンサ
レンズと、対物レンズと、コンデンサレンズと対物レン
ズとの間に設けられた対物レンズ絞りとを備え、コンデ
ンサレンズの励磁強度を変化させて対物レンズ絞りの開
口を通過して試料に照射される照射電流を変化させるよ
うにした電界放射型走査電子顕微鏡において、照射電流
を指定する手段と、該指定手段による指定照射電流に基
づいて電界放射型電子銃の引出電圧を少なくとも２段階
に切り換える切換手段を備えたことにより、試料に照射
される照射電流を指定した場合に、その指定に応じて電
界放射型電子銃の引出電圧を少なくとも２段階に切り換
えるようにして、コンデンサレンズを小さくしても試料
に照射される電子ビームの電流量を広範囲に変えること
ができる。

【００４４】（３）この場合において、電子銃の下部に
設けたアライメントコイルに供給する補正電流の情報を
引出電圧に応じて記憶する手段を設け、引出電圧が変え
られた場合には、その引出電圧に応じた補正電流情報に
基づいた補正電流を前記アライメントコイルに供給する
ようにしたことにより、電子銃の下部に設けたアライメ
ントコイルに補正電流を供給し、電子ビームのずれを補
正することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の電界放射型走査電子顕微鏡を示す図であ
る。

【図２】従来の電界放射型走査電子顕微鏡における試料
への照射電流量の制御の様子を示す図である。

【図３】本発明に基づく電界放射型走査電子顕微鏡の一
例を示す図である。

【図４】コンデンサレンズを制御した場合の試料への照
射電流量とプローブ径との関係を示す図である。

【図５】コンデンサレンズの制御と引出電圧の制御を組
み合わせた場合の試料への照射電流量とプローブ径との
関係を示す図である。

【符号の説明】

１ 電界放射型電子銃 ２ エミッタ ３ 引出電極 ４ 加速電極 ５ コンデンサレンズ ６ 対物レンズ ７ 試料 ８ 対物レンズ絞り ９ 開き角制御レンズ １０ 高電圧駆動回路 １１ 引出電圧制御回路 １２ ＣＰＵ １３ コンデンサレンズ駆動回路 １４ コンデンサレンズ制御回路 １５ アライメントコイル １６ アライメント回路 １７ メモリー １８ 操作卓

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エミッタと引出電極と加速電極とを備え
   た電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃からの電子ビ
   ームを集束するためのコンデンサレンズと、対物レンズ
   と、コンデンサレンズと対物レンズとの間に設けられた
   対物レンズ絞りとを備え、コンデンサレンズの励磁強度
   を変化させて対物レンズ絞りの開口を通過して試料に照
   射される照射電流を変化させるようにした電界放射型走
   査電子顕微鏡において、 照射電流を指定する手段と、該指定手段による指定照射
   電流に基づいて電界放射型電子銃の引出電圧と前記コン
   デンサレンズの励磁強度を設定する設定手段を備えたこ
   とを特徴とする電界放射型走査電子顕微鏡。
2. 【請求項２】 エミッタと引出電極と加速電極とを備え
   た電界放射型電子銃と、電界放射型電子銃からの電子ビ
   ームを集束するためのコンデンサレンズと、対物レンズ
   と、コンデンサレンズと対物レンズとの間に設けられた
   対物レンズ絞りとを備え、コンデンサレンズの励磁強度
   を変化させて対物レンズ絞りの開口を通過して試料に照
   射される照射電流を変化させるようにした電界放射型走
   査電子顕微鏡において、 照射電流を指定する手段と、該指定手段による指定照射
   電流に基づいて電界放射型電子銃の引出電圧を少なくと
   も２段階に切り換える切換手段を備えたことを特徴とす
   る電界放射型走査電子顕微鏡。
3. 【請求項３】 電子銃の下部に設けたアライメントコイ
   ルに供給する補正電流の情報を引出電圧に応じて記憶す
   る手段を設け、引出電圧が変えられた場合には、その引
   出電圧に応じた補正電流情報に基づいた補正電流を前記
   アライメントコイルに供給するようにした請求項１又は
   ２の何れかに記載の電界放射型走査電子顕微鏡。