JP2009211962A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、帯電や試料傾斜等の存在によらず、装置の状態をモニタするのに好適な走査電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】
上記課題を解決するために、電子ビームを試料に到達させない状態で、得られた情報に基づいて、装置コンディションをモニタする機能を備えた走査電子顕微鏡を提案する。より具体的な一例として、試料に負の電圧を印加することで、電子ビームを試料に到達させないで反射させる状態とすると共に、アライメント用の偏向器に所定の信号を供給したときに得られる上記反射した電子の検出位置の変化をモニタする。上記所定の信号が、アライメントが適正に行われている状態のものであるとすると、上記電子の検出位置の変化は、軸ずれを反映したものとなる。
【選択図】図2
Description
2 等電位面(ミラー面)
3 ミラー電子
11 電界放出陰極
12 引出電極
13 加速電極
14 コンデンサレンズ
15 絞り
17 対物レンズ
18 加速円筒
20 ガイド
21 上走査偏向器
22 下走査偏向器
23 試料
24 ホルダー
29 検出器
40 演算器
41 分析器
42 アライメント偏向器制御系
43 対物レンズ制御系
44 加速電圧制御系
45 記憶装置
46 偏向器制御系
Claims (6)
- 電子を検出する検出器と、
電子ビームの光学条件を調整する光学素子と、
前記電子ビームの軸調整を行う偏向器と、
前記試料、或いは試料台に印加する負電圧を制御する制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、
前記試料から放出された電子の軌道の位置を検出する検出器を備え、
前記制御装置は、前記負電圧を制御して前記電子ビームが試料に到達する前に反射する状態とし、当該状態にて前記偏向器に所定の信号を供給したときの前記検出器によって得られる電子の軌道の位置を予め記憶しておき、当該記憶された位置と、前記所定の信号を検出器に供給することによって得られる前記位置との変化を検出することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記光学素子の条件を変化させたときに得られる当該光学条件と、前記検出器によって得られる前記位置との相関を予め記憶しておくことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項2において、
前記制御装置は、前記偏向器に供給する複数の信号ごとに、複数の相関を記憶しておくことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記制御装置は、前記変化に応じて前記偏向器に供給する信号を変化させることを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 電子ビームを加減速して集束させるレンズと、
当該レンズに対して軸調整を行うアライメント偏向器と、
試料を保持し、試料に電位を与えるステージを備えた走査電子顕微鏡において、
試料に与える電位を加速電子ビームよりも大きく設定して入射電子を試料直上で反射させ、反射した電子の軌道を検出する検出器を備え、当該検出器によって得られる軌道の変化を検出することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項5において、
前記アライメント偏向器に所定の信号を供給したときに、予め記憶された当該所定の信号をアライメント偏向器に供給したときに検出される前記電子の軌道との変化に基づいて、前記アライメント偏向器への信号値を補正することを特徴とする走査電子顕微鏡。
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