JPS59125057U - Ｘ線分析装置を備えた電子顕微鏡 - Google Patents

Ｘ線分析装置を備えた電子顕微鏡

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JPS59125057U
JPS59125057U JP1872883U JP1872883U JPS59125057U JP S59125057 U JPS59125057 U JP S59125057U JP 1872883 U JP1872883 U JP 1872883U JP 1872883 U JP1872883 U JP 1872883U JP S59125057 U JPS59125057 U JP S59125057U
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JP
Japan
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electron microscope
objective lens
ray analyzer
microscope equipped
certain value
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JP1872883U
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JPS6342460Y2 (ja
Inventor
蒔田　吉生
啓介 鈴木
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日本電子株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例装置の概略構成図であり、第
２図は第１図の一実施例装置の要部の拡大図である。 １：電子銃、２：電子線、３．４＝対物レンズ磁極片、
５：試料、７：集束レンズ磁場、８：Ｘ線、９：反射電
子、１０：偏向電源、１３：定電流電源、１４：スイッ
チ制御回路、１６：差動増幅器、１７：Ｌ／ンズ電源、
１８：基準電源、１９：Ｘ線分光器、２０：コリメータ
、２１：シャッタ機構、２２：支持筒、２３：半導体検
出器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズ磁極片の略中夫に挿入される試料から発生す
    るＸ線をエネルギ分散形Ｘ線分光器の検出素子に導くよ
    うに構成した装置において、前記対物レンズの励磁強度
    が一定値以下であることを検出する手段と、該手段から
    の検出信号に基づいて対物レンズに入射する電子線を偏
    向するための偏向コイルヘ一定値以上の偏向信号を供給
    する手段を設けたことを特徴とするＸ線分析装置を備え
    た電子顕微鏡。
JP1872883U 1983-02-10 1983-02-10 Ｘ線分析装置を備えた電子顕微鏡 Granted JPS59125057U (ja)

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JPS59125057U true JPS59125057U (ja) 1984-08-23
JPS6342460Y2 JPS6342460Y2 (ja) 1988-11-07

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