JPH0548356Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0548356Y2 JPH0548356Y2 JP14063588U JP14063588U JPH0548356Y2 JP H0548356 Y2 JPH0548356 Y2 JP H0548356Y2 JP 14063588 U JP14063588 U JP 14063588U JP 14063588 U JP14063588 U JP 14063588U JP H0548356 Y2 JPH0548356 Y2 JP H0548356Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analyzer
- electron beam
- electromagnetic lens
- magnetic
- energy
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は、電子線を分析選別するエネルギーア
ナライザを備えた電子顕微鏡に関し、特にエネル
ギーアナライザを電磁レンズ等の磁場から磁気遮
蔽するように成した電子顕微鏡に関する。
ナライザを備えた電子顕微鏡に関し、特にエネル
ギーアナライザを電磁レンズ等の磁場から磁気遮
蔽するように成した電子顕微鏡に関する。
［従来の技術］
従来、第２図に示すような構成の電子線を分析
選別するエネルギーアナライザを備えた電子顕微
鏡が知られている。第２図において１は電子顕微
鏡筐筒、２，３は電磁レンズ、４はエネルギーア
ナライザ、５ａ，５ｂは電子線通路、６は分析
室、７は環状電気絶縁部材、８は高圧ケーブルで
ある。
選別するエネルギーアナライザを備えた電子顕微
鏡が知られている。第２図において１は電子顕微
鏡筐筒、２，３は電磁レンズ、４はエネルギーア
ナライザ、５ａ，５ｂは電子線通路、６は分析
室、７は環状電気絶縁部材、８は高圧ケーブルで
ある。
電子線源（図示せず）から放出された電子線は
試料を透過した後、電磁レンズ内に形成される電
子線通路５ａを介してエネルギーアナライザ４に
導入される。該アナライザ４は分析室６内におい
て環状電気絶縁部材７によつて挾持されており、
該絶縁部材７の内側は前記電子線通路５ａに続く
電子線通路（真空状態）となつている。電力供給
用の高圧ケーブル８が筐筒１を貫通して分析室６
内に導入され、アナライザ４に接続されている。
また、沿面放電等の防止のために該分析室６内に
は絶縁ガスが封入されている。
試料を透過した後、電磁レンズ内に形成される電
子線通路５ａを介してエネルギーアナライザ４に
導入される。該アナライザ４は分析室６内におい
て環状電気絶縁部材７によつて挾持されており、
該絶縁部材７の内側は前記電子線通路５ａに続く
電子線通路（真空状態）となつている。電力供給
用の高圧ケーブル８が筐筒１を貫通して分析室６
内に導入され、アナライザ４に接続されている。
また、沿面放電等の防止のために該分析室６内に
は絶縁ガスが封入されている。
さて、前記エネルギーアナライザとしては、例
えばＥ×Ｂ型エネルギーアナライザが使用される
が、該Ｅ×Ｂ型エネルギーアナライザは直交する
一定電場Ｅと一定磁場Ｂ内に前記電子線を導入
し、所望のエネルギーを有する電子のみを選択的
に通過させるようにしている。そして、該エネル
ギーアナライザ４を通過した電子線は、電磁レン
ズ３によつて集束されてた後、電子線通路５ｂを
介いて結像系（図示せず）に導入されて電子顕微
鏡像の表示が成される。
えばＥ×Ｂ型エネルギーアナライザが使用される
が、該Ｅ×Ｂ型エネルギーアナライザは直交する
一定電場Ｅと一定磁場Ｂ内に前記電子線を導入
し、所望のエネルギーを有する電子のみを選択的
に通過させるようにしている。そして、該エネル
ギーアナライザ４を通過した電子線は、電磁レン
ズ３によつて集束されてた後、電子線通路５ｂを
介いて結像系（図示せず）に導入されて電子顕微
鏡像の表示が成される。
［考案が解決しようとする課題］
上述したような構成の装置においては、電磁レ
ンズ２及び３の形成する磁界の影響により前記ア
ナライザの入射口付近及び出射口付近の磁場が乱
されることにより、前記アナライザの定電場Ｅと
定磁場Ｂの設定条件が乱れ、エネルギー分析に支
障を来すことが問題とされている。
ンズ２及び３の形成する磁界の影響により前記ア
ナライザの入射口付近及び出射口付近の磁場が乱
されることにより、前記アナライザの定電場Ｅと
定磁場Ｂの設定条件が乱れ、エネルギー分析に支
障を来すことが問題とされている。
本考案は、上記問題点を考慮し、エネルギーア
ナライザを電磁レンズ等の磁場から磁気遮蔽する
ように成した電子顕微鏡を提供することを目的と
している。
ナライザを電磁レンズ等の磁場から磁気遮蔽する
ように成した電子顕微鏡を提供することを目的と
している。
［課題を解決するための手段］
本考案は、第１の電磁レンズと、該第１の電磁
レンズを通過した電子線を分析選別するエネルギ
ーアナライザと、該アナライザを通過した電子線
を集束する第２の電磁レンズを備えた電子顕微鏡
において、電子線の通路となる部分を除いて前記
アナライザを磁気遮蔽板で包囲し、前記第１の電
磁レンズと前記アナライザ及び前記第２の電磁レ
ンズと前記アナライザの間に中空箱状の磁気遮蔽
体を配置すると共に、該夫々の磁気遮蔽体に電子
線通過用の開口を設けたことを特徴とする。
レンズを通過した電子線を分析選別するエネルギ
ーアナライザと、該アナライザを通過した電子線
を集束する第２の電磁レンズを備えた電子顕微鏡
において、電子線の通路となる部分を除いて前記
アナライザを磁気遮蔽板で包囲し、前記第１の電
磁レンズと前記アナライザ及び前記第２の電磁レ
ンズと前記アナライザの間に中空箱状の磁気遮蔽
体を配置すると共に、該夫々の磁気遮蔽体に電子
線通過用の開口を設けたことを特徴とする。
［作用］
本考案は、電子線の通路となる部分を除いてエ
ネルギーアナライザを磁気遮蔽板で包囲し、第１
の電磁レンズと前記アナライザ及び第２の電磁レ
ンズと前記アナライザの間に中空箱状の磁気遮蔽
体を配置すると共に、該夫々の磁気遮蔽体に電子
線通過用の開口を設け、該アナライザを電磁レン
ズ等の磁場から磁気遮蔽するようにしている。
ネルギーアナライザを磁気遮蔽板で包囲し、第１
の電磁レンズと前記アナライザ及び第２の電磁レ
ンズと前記アナライザの間に中空箱状の磁気遮蔽
体を配置すると共に、該夫々の磁気遮蔽体に電子
線通過用の開口を設け、該アナライザを電磁レン
ズ等の磁場から磁気遮蔽するようにしている。
［実施例］
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。第１図は本考案の一実施例を説明するための
装置構成図である。第１図において第２図と同一
の構成要素には同一番号を付すと共に説明を省略
する。
る。第１図は本考案の一実施例を説明するための
装置構成図である。第１図において第２図と同一
の構成要素には同一番号を付すと共に説明を省略
する。
第１図に示す実施例が従来例と異なるのは、エ
ネルギーアナライザ４が収容される分析室６の外
周の筐筒部分を例えばパーマロイなどの磁気遮蔽
板１０で包囲すると共に、電磁レンズ２と前記ア
ナライザ４及び電磁レンズ３と前記アナライザ４
の間に電子線通過用の開口１２が設けられた中空
箱状の磁気遮蔽体１１を配置した点である。
ネルギーアナライザ４が収容される分析室６の外
周の筐筒部分を例えばパーマロイなどの磁気遮蔽
板１０で包囲すると共に、電磁レンズ２と前記ア
ナライザ４及び電磁レンズ３と前記アナライザ４
の間に電子線通過用の開口１２が設けられた中空
箱状の磁気遮蔽体１１を配置した点である。
まず、前記分析室外周の筐筒部分を磁気遮蔽板
１０で包囲することにより、筐筒外部に存在する
磁場がアナライザ４に侵入することを防いでい
る。そして、電磁レンズ２と前記アナライザ４及
び電磁レンズ３と前記アナライザ４の間に前記パ
ーマロイなどの磁気遮蔽板によつて切れ目なく形
成した中空箱状の磁気遮蔽体１１を配置して、電
磁レンズの発生する磁気を吸収するようにしてい
る。該切れ目なく形成された中空箱状の磁気遮蔽
体１１は所謂磁気閉回路を形成するため、吸収さ
れた磁気が分析室６側へ放出されることはない。
また、該中空箱状の磁気遮蔽体１１には電子線通
過用の開口１２が設けられているが、該開口は遮
蔽体の全面積に比べて極めて小さいため該開口の
端部からの磁気漏洩は無視することができる。
１０で包囲することにより、筐筒外部に存在する
磁場がアナライザ４に侵入することを防いでい
る。そして、電磁レンズ２と前記アナライザ４及
び電磁レンズ３と前記アナライザ４の間に前記パ
ーマロイなどの磁気遮蔽板によつて切れ目なく形
成した中空箱状の磁気遮蔽体１１を配置して、電
磁レンズの発生する磁気を吸収するようにしてい
る。該切れ目なく形成された中空箱状の磁気遮蔽
体１１は所謂磁気閉回路を形成するため、吸収さ
れた磁気が分析室６側へ放出されることはない。
また、該中空箱状の磁気遮蔽体１１には電子線通
過用の開口１２が設けられているが、該開口は遮
蔽体の全面積に比べて極めて小さいため該開口の
端部からの磁気漏洩は無視することができる。
［考案の効果］
以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば電子線の通路となる部分を除いて前記アナライ
ザを磁気遮蔽板で包囲し、第１の電磁レンズと前
記アナライザ及び第２の電磁レンズと前記アナラ
イザの間に中空箱状の磁気遮蔽体を配置すると共
に、該夫々の磁気遮蔽体に電子線通過用の開口を
設けることにより、該アナライザを電磁レンズの
磁場から磁気遮蔽することができるため、アナラ
イザの入射口付近及び出射口付近における磁場が
乱されることがない磁気遮蔽のなされた電子顕微
鏡が実現できる。従つて、Ｅ×Ｂ型等のエネルギ
ーアナライザを用いてエネルギー分析を行う場合
でも、該分析に支障を来すことはない。
ば電子線の通路となる部分を除いて前記アナライ
ザを磁気遮蔽板で包囲し、第１の電磁レンズと前
記アナライザ及び第２の電磁レンズと前記アナラ
イザの間に中空箱状の磁気遮蔽体を配置すると共
に、該夫々の磁気遮蔽体に電子線通過用の開口を
設けることにより、該アナライザを電磁レンズの
磁場から磁気遮蔽することができるため、アナラ
イザの入射口付近及び出射口付近における磁場が
乱されることがない磁気遮蔽のなされた電子顕微
鏡が実現できる。従つて、Ｅ×Ｂ型等のエネルギ
ーアナライザを用いてエネルギー分析を行う場合
でも、該分析に支障を来すことはない。
第１図は本考案の一実施例を説明するための装
置構成図、第２図は従来例を説明するための図で
ある。 １……電子顕微鏡筐筒、２……電磁レンズ、３
……電磁レンズ、４……エネルギーアナライザ、
５ａ，５ｂ……電子線通路、６……分析室、７…
…環状電気絶縁部材、８……高圧ケーブル、１０
……磁気遮蔽板、１１……中空箱状磁気遮蔽体、
１２……開口。
置構成図、第２図は従来例を説明するための図で
ある。 １……電子顕微鏡筐筒、２……電磁レンズ、３
……電磁レンズ、４……エネルギーアナライザ、
５ａ，５ｂ……電子線通路、６……分析室、７…
…環状電気絶縁部材、８……高圧ケーブル、１０
……磁気遮蔽板、１１……中空箱状磁気遮蔽体、
１２……開口。
Claims (1)
- 第１の電磁レンズと、該第１の電磁レンズを通
過した電子線を分析選別するエネルギーアナライ
ザと、該アナライザを通過した電子線を集束する
第２の電磁レンズを備えた電子顕微鏡において、
電子線の通路となる部分を除いて前記アナライザ
を磁気遮蔽板で包囲し、前記第１の電磁レンズと
前記アナライザ及び前記第２の電磁レンズと前記
アナライザの間に中空箱状の磁気遮蔽体を配置す
ると共に、該夫々の磁気遮蔽体に電子線通過用の
開口を設けたことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14063588U JPH0548356Y2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14063588U JPH0548356Y2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0261054U JPH0261054U (ja) | 1990-05-07 |
| JPH0548356Y2 true JPH0548356Y2 (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=31404989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14063588U Expired - Lifetime JPH0548356Y2 (ja) | 1988-10-28 | 1988-10-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0548356Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-10-28 JP JP14063588U patent/JPH0548356Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0261054U (ja) | 1990-05-07 |
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